靜電一直以來就是半導體和面板行業(yè)關注的問題，由于其產(chǎn)生的靜電釋放和吸附會造成的元件損傷進而影響生產(chǎn)產(chǎn)品良率。

以面板行業(yè)為例，玻璃面板在制造工藝過程中不斷被摩擦、移動、吸附、加壓、分離、加熱、冷卻等而持續(xù)產(chǎn)生靜電，在特定的情況下就會發(fā)生靜電放電現(xiàn)象。由于面板大尺寸、高集成度、靜電分布不均勻、測試空間狹小、測試距離遠，所以傳統(tǒng)手持式靜電場測試儀難以量測到準確的靜電電壓數(shù)值，不能滿足當前面板工藝的檢測要求。

因此，美商衛(wèi)利引進了日本Hanwa公司全新的在線靜電檢測設備(如圖1所示)，它采用多點檢測探頭，利用數(shù)值、視覺、圖表三種模式切換實時顯示靜電數(shù)據(jù)，是最新在線、功能測試解決方案。

圖1 在線靜電測試設備

使用這種設備我們在面板行業(yè)不同工藝段進行了相關測試，利用配套的軟件得到了原始數(shù)據(jù)和視覺圖像(如圖2、3所示)。

圖2 原始Excel數(shù)據(jù)(顯示不同測試點所對應靜電量)

圖3 視覺圖像(不同測試點借由顏色深淺顯示靜電量大小)

在整個面板轉運過程中，通過后期數(shù)據(jù)和圖像分析，能夠發(fā)現(xiàn)不同環(huán)節(jié)面板表面靜電量變化情況，針對特定變化規(guī)律及數(shù)據(jù)對比使我們有了更多手段去發(fā)現(xiàn)并改善生產(chǎn)潛在的危險(如圖4所示)。

圖4后期數(shù)據(jù)分析(顯示面板在轉運過程中整片玻璃靜電量變化)

我們可以利用這套新的系統(tǒng)所產(chǎn)生的信息來分析制程中機臺接地是否良好，滾輪及頂針防靜電效果是否達到預期，離子棒安裝位置以及角度、高度是否合適等來確定采取的各種防靜電手段是否有效。