靜電一直以來(lái)就是半導(dǎo)體和面板行業(yè)關(guān)注的問(wèn)題，由于其產(chǎn)生的靜電釋放和吸附會(huì)造成的元件損傷進(jìn)而影響生產(chǎn)產(chǎn)品良率。

以面板行業(yè)為例，玻璃面板在制造工藝過(guò)程中不斷被摩擦、移動(dòng)、吸附、加壓、分離、加熱、冷卻等而持續(xù)產(chǎn)生靜電，在特定的情況下就會(huì)發(fā)生靜電放電現(xiàn)象。由于面板大尺寸、高集成度、靜電分布不均勻、測(cè)試空間狹小、測(cè)試距離遠(yuǎn)，所以傳統(tǒng)手持式靜電場(chǎng)測(cè)試儀難以量測(cè)到準(zhǔn)確的靜電電壓數(shù)值，不能滿足當(dāng)前面板工藝的檢測(cè)要求。

因此，美商衛(wèi)利引進(jìn)了日本Hanwa公司全新的在線靜電檢測(cè)設(shè)備(如圖1所示)，它采用多點(diǎn)檢測(cè)探頭，利用數(shù)值、視覺(jué)、圖表三種模式切換實(shí)時(shí)顯示靜電數(shù)據(jù)，是最新在線、功能測(cè)試解決方案。

圖1 在線靜電測(cè)試設(shè)備

使用這種設(shè)備我們?cè)诿姘逍袠I(yè)不同工藝段進(jìn)行了相關(guān)測(cè)試，利用配套的軟件得到了原始數(shù)據(jù)和視覺(jué)圖像(如圖2、3所示)。

圖2 原始Excel數(shù)據(jù)(顯示不同測(cè)試點(diǎn)所對(duì)應(yīng)靜電量)

圖3 視覺(jué)圖像(不同測(cè)試點(diǎn)借由顏色深淺顯示靜電量大小)

在整個(gè)面板轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中，通過(guò)后期數(shù)據(jù)和圖像分析，能夠發(fā)現(xiàn)不同環(huán)節(jié)面板表面靜電量變化情況，針對(duì)特定變化規(guī)律及數(shù)據(jù)對(duì)比使我們有了更多手段去發(fā)現(xiàn)并改善生產(chǎn)潛在的危險(xiǎn)(如圖4所示)。

圖4后期數(shù)據(jù)分析(顯示面板在轉(zhuǎn)運(yùn)過(guò)程中整片玻璃靜電量變化)

我們可以利用這套新的系統(tǒng)所產(chǎn)生的信息來(lái)分析制程中機(jī)臺(tái)接地是否良好，滾輪及頂針?lè)漓o電效果是否達(dá)到預(yù)期，離子棒安裝位置以及角度、高度是否合適等來(lái)確定采取的各種防靜電手段是否有效。