超聲波電機(USM)具有能夠直接輸出低轉(zhuǎn)速大力矩，瞬態(tài)響應(yīng)快(可達ms量級)、定位精度高(可達nm量級)，無電磁干擾等諸多優(yōu)點。USM的運行需要有兩路具有一定幅值，相位上正交(或可調(diào))，頻率在20 kHz以上的高頻交流電源。驅(qū)動信號源的幅值、頻率及相位直接影響USM的性能。為便于USM的性能測試及研究，需要提供一種在幅值、頻率、相位上均可調(diào)的測試電源。以往的超聲波驅(qū)動器多采用分立器件構(gòu)成如文獻，其電路結(jié)構(gòu)復(fù)雜。文獻雖然改用FPGA或CPLD生成，但所生成的信號頻率變化是不連續(xù)的。文獻是用單片機和專用的DDS芯片，存在抗干擾性差，可靠性低的弊端。

本文介紹了基于DLL數(shù)字頻率直接合成技術(shù)(DDS)用ALTERA公司的FPGA器件和VHDL語言編程，按相位累加的方法產(chǎn)生兩相四路頻率相位可調(diào)的高頻PWM信號，經(jīng)過驅(qū)動電路、光耦隔離電路作為外部功率控制電路H橋的四個閘門驅(qū)動信號，H橋主回路接入的是對市電經(jīng)調(diào)壓、隔離、整流及濾波后的直流電。由閘門驅(qū)動信號對該直流電進行通斷控制，形成可調(diào)幅值、頻率、相位差的兩相高頻PWM波的交流信號，再經(jīng)外加電感平滑，將PWM波信號變成類正弦波信號，實現(xiàn)對USM的性能測試。

1 功率控制電路

如圖1所示，加于USM的A、B兩相交流信號是由FPGA產(chǎn)生的四路脈沖信號控制MOS管開關(guān)對整流濾波后直流電進行通斷控制，在圖1所示H橋逆變器的作用下，將直流電逆變?yōu)榕c逆變器開關(guān)頻率相同的矩形波交流電，經(jīng)串聯(lián)電感平滑，就得到了USM所需的兩相高頻類正弦波信號。該信號可由主回路的調(diào)壓器調(diào)節(jié)幅值，A、B兩相的相位差取決于H橋兩側(cè)閘門驅(qū)動信號的相位差，即閘門S1與S2(或S3與S4)驅(qū)動信號的相位差。同側(cè)橋臂不能同時導(dǎo)通，以避免大電流通過MOS開關(guān)管而損壞開關(guān)管，理論上同側(cè)的兩個控制信號應(yīng)該相位互補，實現(xiàn)推挽輸出，考慮到開關(guān)器件的延時特性，該信號開啟閘門時要有一定的延時，即死區(qū)時間。鑒于以上分析及USM性能測試的需求，閘門控制信號應(yīng)具有頻率、相位、死區(qū)時間均可調(diào)的占空比大于50％的PWM高頻波。

2 PWM調(diào)頻調(diào)相高頻信號的產(chǎn)生

參考文獻的DDS設(shè)計，將一個周期的矩形波幅值進行2n等分后按順序存于一個表格中，用高頻時鐘fclk依次按表中地址順序讀取其數(shù)據(jù)(幅值)。利用相位累加器可以每隔M個地址，讀一個幅值信息。矩形波頻率正比于輸入時鐘頻率和相位增量M之積，即為基頻時鐘fclk／2n的M倍。通過調(diào)節(jié)步距M(頻率控制字)可調(diào)節(jié)信號的頻率。調(diào)節(jié)首次所讀ROM表的地址，可調(diào)節(jié)矩形波的相位，稱該調(diào)節(jié)參數(shù)為相位控制字。若ROM查找表中0，1各占一半則可得到頻率、相位連續(xù)可調(diào)的方波信號；改變表中1的比例，就會得到不同脈寬的矩形波。若能從外部調(diào)節(jié)1的比例，就生成了一路頻率、相位、占空比可調(diào)的PWM信號。由于表中只有兩種數(shù)O和1，且均連續(xù)出現(xiàn)，因而可用比較器替換ROM表，將原來的地址發(fā)生計數(shù)器的計數(shù)值劃分為2部分，一部分對輸出信號清零，另一部分對其置1。2種方案相比，后者大大節(jié)約了FPGA資源。RTL級原理圖如圖2所示。