MEMS硅膜電容式氣象壓力傳感器的研制

本文研制了一種高性能、低成本的微型電容氣象壓力傳感器，整個流程工藝簡單標準，薄膜材料選擇單晶硅，采用接觸式結構，利用陽極鍵合形成真空腔，最后由KOH各向異性腐蝕和深刻蝕形成硅薄膜。試驗結果表明，該傳感器適用于氣象壓力測量。

Epcos收購NXP的RF MEMS業(yè)務

德國無源器件供應商Epcos AG宣布收購恩智浦半導體(NXP Semiconductors)的RF MEMS業(yè)務。Epcos希望通過此舉進入一個規(guī)模達300萬歐元的市場。 Epcos在新聞稿中表示，RF MEMS可以幫助把手機的功耗最多降低25%。

FrostSullivan：MEMS測試設備急需低成本、標準化

市場研究機構Frost & Sullivan公司最新報告稱，目前MEMS測試設備價格高昂，低成本標準化成迫切需求。報告稱，2007年全球MEMS測試設備市場額為5650萬美元，而到2014年將增長到1.202億美元。目前MEMS器件制造商必須面對

基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設計

開發(fā)一種生物運動微慣性測量裝置，以基于ARM7的LPC2129為核心處理單元，采用MEMS陀螺和MEMS加速度計為測量傳感器。

基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設計

基于ARM與MEMS器件的微慣性測量裝置設計

高通大舉進軍手機顯示屏領域

專業(yè)芯片廠商高通（Quanlcomm）最近對手機顯示屏領域表現(xiàn)出濃厚興趣，認為這是除手機芯片之外的另一個業(yè)務增長點。高通發(fā)明了可用于手持設備的MEMS顯示屏。MEMS的優(yōu)點在于既能顯著降低掌上設備顯示屏的功耗，又能提高

飛思卡爾建成先進的200-mm MEMS生產(chǎn)線

華飛微電子：國產(chǎn)高檔光刻膠的先行者

光刻膠是集成電路中實現(xiàn)芯片圖形轉移的關鍵基礎化學材料，在光刻膠的高端領域，技術一直為美國、日本廠商等所壟斷;近年來，本土光刻膠供應商開始涉足高檔光刻膠的研發(fā)與生產(chǎn)，蘇州華飛微電子材料有限公司就是其中一家

MEMS振蕩器101(圖)

WTC：RF MEMS開關市場將呈現(xiàn)爆炸性增長

RFMD MEMS技術將在RF應用中實現(xiàn)突破性整合

日前，RF">RF Micro Devices(RF">RFMD">RFMD)宣布推出專有微機電系統(tǒng) (MEMS) - 面向 RF 及其他應用的技術。RFMD 期望其專有的 MEMS 技術將在 RF 及其他應用中實現(xiàn)突破性的性能及空前水平的功能整合。RFMD 推出的第一