日本出臺對韓限制出口政策引發(fā)韓國企業(yè)跳腳,《媒體》更進一步指出,由日本獨占市場的光罩基底(Mask Blank)可能成為下一個犧牲品,外界擔憂,三星電子EUV工程(極紫外光)可能因此受沖擊。
據《媒體》報道,日本可能增加的限制品項包含集成電路(IC)、電源管理IC(PMIC)、光刻設備、離子注入機、晶圓、光罩基底等。如果日本增加出口限制項目,新增的項目也得取得個別許可,需耗費90天左右的審查時間。
值得注意的是,除EUV制程用的光刻膠沒有其他替代品,日本企業(yè)在晶圓、光罩基底市場中,市占率非常高。光罩基底是曝光工程中光掩模的原料,在半導體微細化工程中極具重要性。業(yè)界認為,三星電子主力的EUV工程屬于微細工程的新一代技術,韓國生產的光罩基底仍無法取代日本制的產品。
NH投資證券研究員都賢宇(音譯)分析,EUV工程用的光罩基底目前由豪雅(HOYA)獨家生產,韓國企業(yè)S-Tech雖然也有生產光罩基底,但技術力仍有些不足。
以光刻膠來說,雖然工程中有許多種類和層次,但核心部分是使用技術領先的日本制產品。EUV用光刻膠由JSR、信越化學工業(yè)等日本企業(yè)提供,韓國Dongjin Semichem等企業(yè)仍在開發(fā)相關產品中。
都賢宇指出,目前EUV工程中的原料,只有光刻膠被限制出口,但EUV工程尚未進入量產階段。這也代表,即使原料中斷供應,短期也只會影響示范生產線,問題是,華城的EUV生產線將于明年1月進入量產。
業(yè)界相關人士認為,三星電子核心產業(yè)之一是系統(tǒng)半導體,EUV則是引領該產業(yè)的技術,若日韓關系持續(xù)惡化,韓國半導體的未來堪憂。除此之外,臺積電、英特爾等競爭企業(yè)也在積極發(fā)展EUV工程,外界擔憂,情況若惡化,三星電子恐怕要讓出業(yè)界領頭羊的位置。





