據(jù)IHS iSuppli公司預(yù)測，我國2011年MEMS消費增長約10%，銷售額將達到16億美元。到2015年，中國MEMS銷售額將達到26億美元，2010-2015年復(fù)合年度增長率為12.1%，如下圖所示。

圖：預(yù)計2011年中國MEMS銷售額將達到16億美元，2010-2015年復(fù)合年度增長率為12.1%

未來幾年，中國市場上增長最快的MEMS領(lǐng)域?qū)⑹鞘謾C與消費市場的麥克風(fēng)、加速計和陀螺儀。增長第二快的領(lǐng)域?qū)⑹瞧嚺c工業(yè)MEMS市場，預(yù)計2011-2015年復(fù)合年度增長率分別為14%和12%。

ADI近日針對工業(yè)和醫(yī)療等市場推出了第三代iSensor® MEMS IMU（慣性測量單元）ADIS16488，這是一款戰(zhàn)術(shù)級10自由度(DoF)傳感器 ，在單封裝中集成一個三軸陀螺儀、一個三軸加速度計、一個三軸磁力計和一個壓力傳感器。

據(jù)ADI微機械產(chǎn)品線高級應(yīng)用工程師趙延輝介紹，ADIS16488提供最穩(wěn)定、最完整的集成傳感器套件，支持高性能導(dǎo)航和平臺穩(wěn)定控制應(yīng)用的嚴(yán)格要求。除了重要的戰(zhàn)術(shù)級（低于10°/小時）零偏穩(wěn)定度以外，在重力加速度效應(yīng)、溫度系數(shù)和帶寬等一般更重要的特性方面，ADIS16488同樣超過所有其它同類陀螺儀/IMU產(chǎn)品，改善最多可達100倍。此外，在對線性加速度和振動加速度抑制方面，新款 iSensor MEMS IMU甚至超過傳統(tǒng)軍用級 IMU。每個器件均要經(jīng)過獨特而全面的工廠校準(zhǔn)，能夠在最惡劣的環(huán)境下提供無與倫比的精度；相對于典型的運動傳感器開發(fā)，設(shè)計的復(fù)雜度、時間、成本和風(fēng)險大大降低。

ADIS16488的推出揭示了MEMS傳感器的幾大集成趨勢。趙延輝表示，首先，在多軸方案層面，現(xiàn)在已經(jīng)可以看到針對不同應(yīng)用需求提供的單軸、兩軸和三軸器件，使用者可以更靈活的選擇MEMS傳感器。

其次，MEMS領(lǐng)域中已經(jīng)出現(xiàn)了融合趨勢，以ADIS16488為例，該器件同時使用了加速計、陀螺儀和磁力計和壓力傳感器。

據(jù)IHS iSuppli公司預(yù)測，明年9軸組合中使用的運動傳感器的銷售額將達到8.5097億美元，比2011年底預(yù)計達到的5.5001億美元大增55%，而到2015年有望增長到13.5億美元左右，如下圖所示。

圖：9軸運動傳感器的銷售額2015年有望增長到13.5億美元

此外，將處理能力集成也是MEMS傳感器的一個發(fā)展方向。目前已經(jīng)有廠商陸續(xù)推出集成處理能力的MEMS方案，除了ADI新推出的ADIS16488，F(xiàn)reescale的解決方案也將低功耗MCU與加速計組合在同一個封裝之中。