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[導(dǎo)讀]“半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,離不開(kāi)歷史上幾個(gè)重要節(jié)點(diǎn)。1947年貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明了晶體管,大約十年后,集成電路的發(fā)明讓產(chǎn)業(yè)進(jìn)入下一個(gè)時(shí)代,并出現(xiàn)了諸如收音機(jī)、電話等應(yīng)用,人們生活開(kāi)始改觀。喬布斯也掀起了PC發(fā)展熱潮,但隨著計(jì)算機(jī)尺寸的縮小,能耗的減小,從機(jī)械角度來(lái)看,這尺寸和能耗的發(fā)展趨勢(shì)似乎遇到了瓶頸。于是,我們開(kāi)始用化學(xué)、材料的角度分析,光刻技術(shù)就出現(xiàn)了。當(dāng)光刻走到1微米,光刻機(jī)也遇到了瓶頸。那么,Brewer Science的登場(chǎng)恰到好處?!?

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,離不開(kāi)歷史上幾個(gè)重要節(jié)點(diǎn)。1947年貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明了晶體管,大約十年后,集成電路的發(fā)明讓產(chǎn)業(yè)進(jìn)入下一個(gè)時(shí)代,并出現(xiàn)了諸如收音機(jī)、電話等應(yīng)用,人們生活開(kāi)始改觀。喬布斯也掀起了PC發(fā)展熱潮,但隨著計(jì)算機(jī)尺寸的縮小,能耗的減小,從機(jī)械角度來(lái)看,這尺寸和能耗的發(fā)展趨勢(shì)似乎遇到了瓶頸。于是,我們開(kāi)始用化學(xué)、材料的角度分析,光刻技術(shù)就出現(xiàn)了。當(dāng)光刻走到1微米,光刻機(jī)也遇到了瓶頸。那么,Brewer Science的登場(chǎng)恰到好處。”

這段話出自Brewer Science策略關(guān)系總監(jiān)Doyle Edwards,在半導(dǎo)體發(fā)展歷史中,我們看到了屬于Brewer Science的濃墨一筆:“上個(gè)世紀(jì)80年代初Brewer Science發(fā)明了Anti-Reflective Coatings(防反射涂層,簡(jiǎn)稱“ARC®”)材料,革新了光刻工藝,一直致力于通過(guò)技術(shù)創(chuàng)新不斷推動(dòng)摩爾定律向前發(fā)展。


Brewer Science策略關(guān)系總監(jiān)Doyle Edwards


此后,Brewer Science的產(chǎn)品組合不斷擴(kuò)大,目前囊括了可實(shí)現(xiàn)先進(jìn)光刻、薄晶圓處理、3D 集成、化學(xué)和機(jī)械器件保護(hù)的產(chǎn)品以及基于納米技術(shù)的產(chǎn)品,其主營(yíng)業(yè)務(wù)主要覆蓋高級(jí)光刻、晶圓級(jí)封裝與打印電子類新興市場(chǎng)三大塊。作為一家半導(dǎo)體廠商,Brewer Science觸及各行各業(yè),3D產(chǎn)品、汽車電子、物聯(lián)網(wǎng)、AI等等。


正如Doyle Edwards介紹那樣,Brewer Science作為材料供應(yīng)商,會(huì)從材料設(shè)計(jì)角度,根據(jù)不同時(shí)段不同市場(chǎng)的需求進(jìn)行預(yù)測(cè),并作出相關(guān)布局。從時(shí)間軸來(lái)看,Brewer Science一直不斷為業(yè)界提供工藝解決方案,化學(xué)解鍵合、熱滑動(dòng)解鍵合、機(jī)械解鍵合、激光解鍵合等?!拔磥?lái)Brewer Science繼續(xù)會(huì)不斷提供適應(yīng)工藝需求的材料?!?


據(jù)Brewer Science晶圓級(jí)封裝材料事業(yè)部商務(wù)發(fā)展副總監(jiān)Dongshun Bai介紹,在晶圓級(jí)封裝領(lǐng)域,Brewer Science提供三種材料: 臨時(shí)鍵合/解鍵合材料、重分布層增層材料(redistribution layer build-up materials)、晶圓級(jí)蝕刻保護(hù)和平坦化材料(etch protection & planarization material)。


為什么需要臨時(shí)鍵合/解鍵合呢?一般晶圓厚度大約為700微米,當(dāng)被打薄到100微米左右便失去了自我支撐的能力,并且易碎。所以就得引進(jìn)臨時(shí)鍵合/解鍵合材料,除了提供機(jī)械支撐和正面保護(hù)的作用外,還可以協(xié)助完成下游工藝步驟。在封裝技術(shù)快速發(fā)展的當(dāng)下,對(duì)晶圓打薄的要求會(huì)越來(lái)越高,甚至?xí)虮〉綆孜⒚?,市?chǎng)也在不斷追求更薄和尺寸更小。臨時(shí)鍵合/解鍵合已經(jīng)得到大力發(fā)展并廣泛運(yùn)用到了晶圓級(jí)封裝(WLP)領(lǐng)域,比如PoP層疊封裝、扇出型(Fan-out)封裝、硅通孔(TSV)技術(shù)下的2.5D/3D封裝。


此外,Dongshun Bai依次介紹了化學(xué)、熱滑動(dòng)、機(jī)械、激光解鍵合的概念。幾種解鍵合的策略如同其命名一般,各有各的適用范圍和優(yōu)勢(shì)。


化學(xué)解鍵合——適合小規(guī)模試產(chǎn),化學(xué)試劑通過(guò)載片上的小孔將材料溶解,便可解開(kāi)。適合科研機(jī)構(gòu)。


熱滑動(dòng)解鍵合——當(dāng)溫度達(dá)到一個(gè)閾值(150℃甚至200℃),所用的鍵合材料便會(huì)流動(dòng),隨后便可進(jìn)行滑動(dòng)解鍵合。其中的解開(kāi)速度與材料厚度、性能都有關(guān)系。從材料商的角度來(lái)看,更注重安全快速的解鍵合材料。


機(jī)械解鍵合——不需要加熱,在室溫情況下就能發(fā)生,目前Brewer Science已經(jīng)能做到20片Wafer/h。


激光解鍵合——速度更快,目前能做到50片wafer/h,該方法也不會(huì)產(chǎn)生更多余熱,在業(yè)內(nèi)此方法越來(lái)越流行,不過(guò)如何能在低能量的情況下,能夠在無(wú)殘留或盡可能較少殘留的情況下進(jìn)行解鍵,就必須要對(duì)材料和激光有非常好的了解。


目前來(lái)看,超薄晶圓級(jí)封裝對(duì)于材料的需求包括可耐溫達(dá)350℃以上、卓越的黏著力、兼容晶圓與面板制程、滿足打薄厚度可小于50微米、耐化學(xué)性、出色的總厚度變化(TTV)、兼容于后段制程(Downstream Process)、高產(chǎn)率易于加工,以及低成本。


這些需求對(duì)材料商而言也帶來(lái)了新挑戰(zhàn),如臨時(shí)接合材料需耐高溫、容易分離不殘留、更廣泛的熱循環(huán)等,因此專注于協(xié)助客戶進(jìn)入更新制程與封裝技術(shù)的Brewer Science,推出Dual-Layer一代的BrewerBOND® T1100/C1300系列材料,作為因應(yīng)。



關(guān)于Dual-Layer,Dongshun Bai表示,改變了臨時(shí)鍵合/解鍵合的路線,以前都使用熱塑性材料,需要較高溫度進(jìn)行鍵合。而Dual-Layer一代在借助UV光照的條件下,室溫就能進(jìn)行鍵合和固化,非常適合于熱敏感和高應(yīng)力器件。  該系統(tǒng)并能實(shí)現(xiàn)高于300℃甚至400℃的熱穩(wěn)定性。這種材料也表明臨時(shí)鍵合/解鍵合材料達(dá)到了一個(gè)新的高度。從下表中的一個(gè)例子也可以看出,在高溫處理后并不會(huì)產(chǎn)生很多翹曲(只有28.4微米)。



在應(yīng)用領(lǐng)域方面,Dongshun Bai表示,不管在MEMS、CIS、存儲(chǔ)器、傳感器還是RF,我們都看到了客戶的需求。如下圖所示,服務(wù)于不同產(chǎn)品領(lǐng)域,Brewer Science提供了不同的技術(shù)與產(chǎn)品組合。



雖然Brewer Science總部在美國(guó),但其在亞洲的布局也非常的早,2004年就在上海設(shè)立了技術(shù)與服務(wù)中心,而且從各地區(qū)的晶圓產(chǎn)能來(lái)看(如下圖)。不管是晶圓領(lǐng)域還是封裝產(chǎn)業(yè),全球最大的亮點(diǎn)在亞洲,而亞洲的重點(diǎn)在中國(guó)。


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