該款反射高能電子衍射儀是專注于PCB抄板等反向研發(fā)的深圳世紀(jì)芯在破解原樣機的基礎(chǔ)上二次開發(fā)而研制的，較原機毫不遜色，同時可根據(jù)客戶的個性化需求做相應(yīng)的設(shè)計及功能參數(shù)修改。

技術(shù)參數(shù)

1. 電子槍部分

RHEED電子槍是專門為進行衍射研究所設(shè)計的電子光學(xué)系統(tǒng)，其能量范圍從10到30keV。通過結(jié)合靜電和磁部件，保證了電子槍具有高亮度、小斑點、低分散和極低放氣率的特征。電子槍可以完全安裝在腔體外面，可以原位保養(yǎng)，可以烘烤。如果配備了差分抽氣系統(tǒng)，還可以在高壓環(huán)境下使用。

2. 控制電源部分

設(shè)計緊湊的提供30KeV能量的電子槍電源控制部分，由最先進的電子元件制造。電子槍的設(shè)置參數(shù)，如能量、燈絲電流、束流強度等都可以數(shù)字形式在顯示器上顯示，而且可以通過一個簡潔的控制面板遠(yuǎn)程控制調(diào)節(jié)束流強度、聚焦位置等。系統(tǒng)具有自我診斷能力，可以快速全面地對RHEED系統(tǒng)進行檢查。

3．電子束光闌

通過電子束光闌可以控制束流的開關(guān)，這樣可以保證樣品上極低的電子負(fù)荷。光闌開關(guān)信號也可同時被外部信號觸發(fā)，這樣就使得RHEED可以在有干擾磁場下使用，并可以用來研究旋轉(zhuǎn)樣品。

4. 電子束搖擺

為了做RHEED分析，電子束必須以掠角方式入射樣品。 獨特的電子束搖擺特征，允許精確調(diào)節(jié)和變化電子束入射角度，而不用移動樣品。這個特征在對固定位置的樣品進行分析測試時是非常有用的

5．差分抽氣系統(tǒng)

通常的電子槍是為在如10-4 torr 這樣較高壓力條件下工作設(shè)計的，但是這樣必然導(dǎo)致燈絲壽命的縮短。帶有差分抽氣系統(tǒng)選項的RHEED系統(tǒng)， 保證了可以在高壓和有反應(yīng)氣體存在的環(huán)境下進行日常的操作。對燈絲部分的高效抽氣，使得RHEED系統(tǒng)同其他系統(tǒng)相比有無與倫比的靈活性。

6. 計算機控制

RHEED系統(tǒng)可以完全由計算機來控制。電子槍控制部分包括一個界面模塊和一個軟件包，這保證了RHEED的使用靈活性，和可重復(fù)性。 用戶自己設(shè)定的參數(shù)可以被保存并調(diào)入，通過電子束光闌可以控制電子束的開關(guān)，使用電子束搖擺特征可以調(diào)節(jié)電子束入射角度。

7. 熒光屏

提供各種尺寸的熒光屏，它們有非常高的空間分辨率和極好的對比度。熒光屏上的鍍鋁保護涂層確保熒光屏有非常好的電接觸特性，并可以屏蔽掉從真空腔來的一些游離光線，從而提高RHEED圖像的對比度。

8．?dāng)?shù)據(jù)采集和分析系統(tǒng)

RHEED Vision 是一套可以同現(xiàn)存的各種RHEED系統(tǒng)配套使用的功能非常強大的數(shù)據(jù)采集軟件， 它可以同時進行圖像處理和實時數(shù)據(jù)分析。并且有很多可選的數(shù)據(jù)縮減程序。另外還提供其它的硬件控制模塊，如鎖相外延生長，快門控制，激光脈沖觸發(fā)器等。