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[導(dǎo)讀]一旦系統(tǒng)建立完畢,就要對其功能進(jìn)行測試,并優(yōu)化儀器建立,以獲得最佳測量。對于開啟狀態(tài)特性分析在當(dāng)今進(jìn)行的大部分開啟狀態(tài)特性分析中,為了實(shí)現(xiàn)最小熱量,都對器件施加脈沖信號(hào)。此外,許多功率半導(dǎo)體器件的最終

一旦系統(tǒng)建立完畢,就要對其功能進(jìn)行測試,并優(yōu)化儀器建立,以獲得最佳測量。

對于開啟狀態(tài)特性分析

在當(dāng)今進(jìn)行的大部分開啟狀態(tài)特性分析中,為了實(shí)現(xiàn)最小熱量,都對器件施加脈沖信號(hào)。此外,許多功率半導(dǎo)體器件的最終應(yīng)用也都是在脈沖條件下工作的。讓源測量單元(SMU)的輸出脈沖通過測試系統(tǒng),并捕獲器件端口響應(yīng),使測試系統(tǒng)具備合格的脈沖信號(hào)能力。吉時(shí)利2651A型大功率系統(tǒng)數(shù)字源表內(nèi)含高速模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC),可以同時(shí)對電流波形和電壓波形進(jìn)行數(shù)字化。這些模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC)對確定系統(tǒng)脈沖性能非常有益。如果脈沖形狀出現(xiàn)異常,要檢查電纜,確保引線電感最小化。盡可能使用吉時(shí)利公司提供的低阻抗同軸電纜,同時(shí)要使其他引線的感應(yīng)環(huán)路面積最小。

對于關(guān)閉狀態(tài)特性分析

了解系統(tǒng)的源和測量建立時(shí)間。進(jìn)行器件關(guān)閉狀態(tài)測量時(shí)通常使用高壓源,其中電流較低,器件處于高阻抗?fàn)顟B(tài)。不過,可能存在無法避免的系統(tǒng)電容,而且器件本身也有一定電容。功率半導(dǎo)體晶體管輸出電容一般在100pF以上。在關(guān)閉狀態(tài),器件電阻可能達(dá)到1GΩ以上,使得單一RC時(shí)間常數(shù)為100毫秒或更長。注意圖1中充電電容器的電壓時(shí)間曲線圖。為了生成設(shè)定的讀數(shù),必須等待至少4~6個(gè)時(shí)間常數(shù)(4個(gè)時(shí)間常數(shù) = 99%)的時(shí)間,這可能意味著需要將近1秒鐘的建立時(shí)間。在估算生產(chǎn)吞吐量或長時(shí)間測試(如器件可靠性測試)所需時(shí)間時(shí),要考慮這個(gè)建立時(shí)間。

圖 1 100pF電容器充電的電壓時(shí)間曲線。讀數(shù)設(shè)置為時(shí)間常數(shù)的4~6倍。T = RC時(shí)間常數(shù)。

如果使用同軸連接取代三軸連接,要清楚:為了獲得精確和可重復(fù)的低電流測量,還需要額外的建立時(shí)間。除了器件的RC,現(xiàn)在建立時(shí)間還包括電纜以及測試臺(tái)或夾具的RC時(shí)間常數(shù)。通過在測試系統(tǒng)輸入端施加電壓階躍,并測試輸出端的電流隨時(shí)間延遲,就可以分析整個(gè)建立時(shí)間。吉時(shí)利2657A型或2651A型數(shù)字源表采用最快的模數(shù)轉(zhuǎn)換器(ADC),為用戶提供迅速而簡易的獲得建立時(shí)間信息的方法。器件測試時(shí),通過觀察電流下降至低于器件預(yù)期本底噪聲的時(shí)間,來選擇測量延遲。

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