目前，主流前道光刻機主要分為i line光刻機、KrF光刻機、ArF光刻機、ArFi光刻機和EUV光刻機，其中技術含量最高、價格最貴的當屬EUV光刻機。不同型號的光刻機，使用配套的光刻膠。

9月29日早間，晶瑞股份(300655，SH)發(fā)布關于購買設備的公告，公司為開展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目，與SK Hynix(即SK海力士)簽署設備進口合同，進口ASML光刻機設備，進口代理方為Singtest Technology PTE.LTD。，總價款為1102.5萬美元(約合7500萬元人民幣)。

同時，晶瑞股份也披露了其向不特定對象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券預案，擬募集資金5.50億元，其中3.13億元用于集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目。

據(jù)悉，晶瑞股份是一家微電子材料的平臺型高新技術企業(yè)，圍繞泛半導體材料和新能源材料兩個方向，主導產(chǎn)品包括超凈高純試劑、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎化工材料等。

晶瑞股份表示：“合同的順利履行可以保障集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項目關鍵設備的技術先進性和設備如期到位并投產(chǎn)，對加快項目進度有積極影響。本次交易有利于進一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競爭力，有助于落實公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風險能力和可持續(xù)發(fā)展能力。”

9月29日上午，每日經(jīng)濟新聞記者致電晶瑞股份董秘辦公室，公司工作人員對記者確認，所購買的光刻機為二手設備，主要用途是研究而非生產(chǎn)制造。

對于晶瑞股份所購買的光刻機，可以產(chǎn)出多少納米制程產(chǎn)品，該工作人員表示需要進一步向技術人員確認。待記者下午再度致電，晶瑞股份仍在確認之中。

晶瑞股份在可轉(zhuǎn)債發(fā)行可行性分析報告中披露，“(公司)旨在通過自主研發(fā)，打通ArF光刻膠用樹脂的工藝合成路線，完成ArF光刻膠用樹脂的中試示范線建設，滿足自身ArF光刻膠的性能要求。實現(xiàn)批量生產(chǎn)ArF Immersion(即ArFi)光刻膠的成套技術體系并完成產(chǎn)品定型，技術指標和工藝性能滿足45~14nm集成電路技術和生產(chǎn)工藝要求”。

即晶瑞股份所研究的光刻膠項目，產(chǎn)品最高可用于14nm芯片生產(chǎn)。

值得一提的是，2020年6月，晶瑞股份子公司蘇州瑞紅與合肥長鑫于“長三角一體化發(fā)展重大合作事項簽約儀式”上簽署光刻膠相關合作協(xié)議，未來公司將聯(lián)合華虹半導體、長鑫存儲等下游客戶共同推進高端光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)和應用。

存國產(chǎn)替代空間

據(jù)了解，光刻膠領域長年被日本、歐美企業(yè)壟斷，目前前五大廠商占據(jù)了全球光刻膠市場87%的份額，行業(yè)集中度較高。國內(nèi)光刻膠發(fā)展起步較晚，生產(chǎn)能力主要集中于PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等中低端產(chǎn)品，而TFT-LCD、半導體光刻膠等高端產(chǎn)品仍需大量進口。

目前，適用于6英寸硅片的g線、i線(即i line)光刻膠的自給率約為20%，適用于8英寸硅片的KrF光刻膠的自給率不足5%，而適用于12寸硅片的ArF光刻膠基本依靠進口。

早在2018年，晶瑞股份就已完成承擔的02國家重大專項中i線光刻膠子項研發(fā)任務，順利通過國家驗收。上市公司表示，i線光刻膠產(chǎn)品已正常供應中芯國際等有代表性的半導體企業(yè)使用。方正證券研報顯示，i線主要用于800~250nm制程。另外，晶瑞股份完成中試的KrF(248nm)光刻膠也已進入客戶測試階段，可達到0.15um的分辨率。

簡而言之，半導體光刻膠相對低端的產(chǎn)品中，i線光刻膠已經(jīng)供應客戶，KrF(248nm)光刻膠進入客戶測試，ArF光刻膠和ArFi光刻膠，晶瑞股份正通過可轉(zhuǎn)債募集資金，擬投入研發(fā)。目前已向SK海力士購買二手光刻機用于研究。

而面板用光刻膠方面，晶瑞股份在2016年與三菱化學在蘇州設立了LCD用彩色光刻膠共同研究所，為三菱化學的彩色光刻膠在國內(nèi)的檢測以及國內(nèi)客戶評定檢測服務，并于2019年開始批量生產(chǎn)供應顯示面板廠家。

9月29日，晶瑞股份大幅高開，上午直接漲停，報收于42.86元/股，上漲19.99%，市值增長13.5億元，最新市值80.6億元。