目前，主流前道光刻機(jī)主要分為i line光刻機(jī)、KrF光刻機(jī)、ArF光刻機(jī)、ArFi光刻機(jī)和EUV光刻機(jī)，其中技術(shù)含量最高、價(jià)格最貴的當(dāng)屬EUV光刻機(jī)。不同型號(hào)的光刻機(jī)，使用配套的光刻膠。

9月29日早間，晶瑞股份(300655，SH)發(fā)布關(guān)于購(gòu)買(mǎi)設(shè)備的公告，公司為開(kāi)展集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目，與SK Hynix(即SK海力士)簽署設(shè)備進(jìn)口合同，進(jìn)口ASML光刻機(jī)設(shè)備，進(jìn)口代理方為Singtest Technology PTE.LTD。，總價(jià)款為1102.5萬(wàn)美元(約合7500萬(wàn)元人民幣)。

同時(shí)，晶瑞股份也披露了其向不特定對(duì)象發(fā)行可轉(zhuǎn)換公司債券預(yù)案，擬募集資金5.50億元，其中3.13億元用于集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目。

據(jù)悉，晶瑞股份是一家微電子材料的平臺(tái)型高新技術(shù)企業(yè)，圍繞泛半導(dǎo)體材料和新能源材料兩個(gè)方向，主導(dǎo)產(chǎn)品包括超凈高純?cè)噭?、光刻膠、功能性材料、鋰電池材料和基礎(chǔ)化工材料等。

晶瑞股份表示：“合同的順利履行可以保障集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目關(guān)鍵設(shè)備的技術(shù)先進(jìn)性和設(shè)備如期到位并投產(chǎn)，對(duì)加快項(xiàng)目進(jìn)度有積極影響。本次交易有利于進(jìn)一步提升公司光刻膠產(chǎn)品的核心競(jìng)爭(zhēng)力，有助于落實(shí)公司發(fā)展戰(zhàn)略，提高公司抗風(fēng)險(xiǎn)能力和可持續(xù)發(fā)展能力?！?/p>

9月29日上午，每日經(jīng)濟(jì)新聞?dòng)浾咧码娋鸸煞荻剞k公室，公司工作人員對(duì)記者確認(rèn)，所購(gòu)買(mǎi)的光刻機(jī)為二手設(shè)備，主要用途是研究而非生產(chǎn)制造。

對(duì)于晶瑞股份所購(gòu)買(mǎi)的光刻機(jī)，可以產(chǎn)出多少納米制程產(chǎn)品，該工作人員表示需要進(jìn)一步向技術(shù)人員確認(rèn)。待記者下午再度致電，晶瑞股份仍在確認(rèn)之中。

晶瑞股份在可轉(zhuǎn)債發(fā)行可行性分析報(bào)告中披露，“(公司)旨在通過(guò)自主研發(fā)，打通ArF光刻膠用樹(shù)脂的工藝合成路線(xiàn)，完成ArF光刻膠用樹(shù)脂的中試示范線(xiàn)建設(shè)，滿(mǎn)足自身ArF光刻膠的性能要求。實(shí)現(xiàn)批量生產(chǎn)ArF Immersion(即ArFi)光刻膠的成套技術(shù)體系并完成產(chǎn)品定型，技術(shù)指標(biāo)和工藝性能滿(mǎn)足45~14nm集成電路技術(shù)和生產(chǎn)工藝要求”。

即晶瑞股份所研究的光刻膠項(xiàng)目，產(chǎn)品最高可用于14nm芯片生產(chǎn)。

值得一提的是，2020年6月，晶瑞股份子公司蘇州瑞紅與合肥長(zhǎng)鑫于“長(zhǎng)三角一體化發(fā)展重大合作事項(xiàng)簽約儀式”上簽署光刻膠相關(guān)合作協(xié)議，未來(lái)公司將聯(lián)合華虹半導(dǎo)體、長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)等下游客戶(hù)共同推進(jìn)高端光刻膠產(chǎn)品的研發(fā)和應(yīng)用。

存國(guó)產(chǎn)替代空間

據(jù)了解，光刻膠領(lǐng)域長(zhǎng)年被日本、歐美企業(yè)壟斷，目前前五大廠商占據(jù)了全球光刻膠市場(chǎng)87%的份額，行業(yè)集中度較高。國(guó)內(nèi)光刻膠發(fā)展起步較晚，生產(chǎn)能力主要集中于PCB光刻膠、TN/STN-LCD光刻膠等中低端產(chǎn)品，而TFT-LCD、半導(dǎo)體光刻膠等高端產(chǎn)品仍需大量進(jìn)口。

目前，適用于6英寸硅片的g線(xiàn)、i線(xiàn)(即i line)光刻膠的自給率約為20%，適用于8英寸硅片的KrF光刻膠的自給率不足5%，而適用于12寸硅片的ArF光刻膠基本依靠進(jìn)口。

早在2018年，晶瑞股份就已完成承擔(dān)的02國(guó)家重大專(zhuān)項(xiàng)中i線(xiàn)光刻膠子項(xiàng)研發(fā)任務(wù)，順利通過(guò)國(guó)家驗(yàn)收。上市公司表示，i線(xiàn)光刻膠產(chǎn)品已正常供應(yīng)中芯國(guó)際等有代表性的半導(dǎo)體企業(yè)使用。方正證券研報(bào)顯示，i線(xiàn)主要用于800~250nm制程。另外，晶瑞股份完成中試的KrF(248nm)光刻膠也已進(jìn)入客戶(hù)測(cè)試階段，可達(dá)到0.15um的分辨率。

簡(jiǎn)而言之，半導(dǎo)體光刻膠相對(duì)低端的產(chǎn)品中，i線(xiàn)光刻膠已經(jīng)供應(yīng)客戶(hù)，KrF(248nm)光刻膠進(jìn)入客戶(hù)測(cè)試，ArF光刻膠和ArFi光刻膠，晶瑞股份正通過(guò)可轉(zhuǎn)債募集資金，擬投入研發(fā)。目前已向SK海力士購(gòu)買(mǎi)二手光刻機(jī)用于研究。

而面板用光刻膠方面，晶瑞股份在2016年與三菱化學(xué)在蘇州設(shè)立了LCD用彩色光刻膠共同研究所，為三菱化學(xué)的彩色光刻膠在國(guó)內(nèi)的檢測(cè)以及國(guó)內(nèi)客戶(hù)評(píng)定檢測(cè)服務(wù)，并于2019年開(kāi)始批量生產(chǎn)供應(yīng)顯示面板廠家。

9月29日，晶瑞股份大幅高開(kāi)，上午直接漲停，報(bào)收于42.86元/股，上漲19.99%，市值增長(zhǎng)13.5億元，最新市值80.6億元。