光刻機作為芯片制造最重要的設(shè)備，目前在全球市場上都是稀缺資源。在光刻機設(shè)備市場上，尤其是EUV光刻機設(shè)備，幾乎被ASML壟斷。全球光刻機出貨量99%集中在ASML、尼康和佳能，ASML份額最高。由于美國的技術(shù)封鎖，我國收購ASML技術(shù)幾乎毫無可能，那么同樣有高端EUV光刻機技術(shù)的日本尼康和佳能是否可以合作共贏?

除華為外，國內(nèi)晶圓大廠半導(dǎo)體進口設(shè)備也遭斷供，另據(jù)路透社報道，美國正考慮對半導(dǎo)體制造設(shè)備及相關(guān)軟件、激光器、傳感器等技術(shù)的出口進行新的限制，美對我半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的打壓已有蔓延之勢。而芯片制造始終是我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的薄弱環(huán)節(jié)，唯有突破光刻機技術(shù)，才能掌握芯片自主。

一、自主與合作

光刻機被譽為“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”，要造出造芯片的機器，并不是一件容易的事，它不僅僅是擁有約10萬個零部件般復(fù)雜，也不僅僅是集合了數(shù)學(xué)、光學(xué)、流體力學(xué)、自動化、圖像識別等10余個領(lǐng)域般綜合，還要都是頂級的，一個技術(shù)突破不算突破，全部突破才算整體前進一步，這是最難的。

說阿斯麥光刻機代表西方制造工業(yè)的最高水平并不為過，一臺最先進的EUV光刻機，鏡頭來自德國卡爾蔡司，大功率光源來自美國賽摩，精密加工技術(shù)來自瑞典，浸沒雙工作臺來自荷蘭，特殊復(fù)合材料來自日本等等，在阿斯麥供應(yīng)商中有很多隱形冠軍，它們可能并不太知名，但無法忽視的是，這些幾乎都是同行業(yè)中的佼佼者。

如果說在某一個領(lǐng)域做好或許不是難事，比如中微公司2017年就成功研發(fā)出了世界上第一臺5納米刻蝕機，但這并不代表國內(nèi)芯片制造工藝達(dá)到5納米水平，到目前為止最先進的國產(chǎn)光刻機僅為90納米，最薄弱的環(huán)節(jié)才代表真實的水平，國產(chǎn)光刻機要出頭，勢必要做到與阿斯麥更接近的水平，但也意味著要在細(xì)分領(lǐng)域全部做好。

誰也不是三頭六臂，神通廣大，造好光刻機，除了發(fā)展自主技術(shù)，開放合作是很有必要的。

二、日經(jīng)遞橄欖枝

最近日經(jīng)新聞有一篇關(guān)于中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的報道，文章指出，隨著美國的封鎖和打壓，長遠(yuǎn)來看，美國此舉可能會助推重工半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的自立與發(fā)展，目前中國半導(dǎo)體仍可迂回以對。

文章主要提到幾點：

一是中國有1000多家新興的半導(dǎo)體相關(guān)公司，如果華為和中芯從這些公司購買進口的半導(dǎo)體芯片、設(shè)計軟件以及生產(chǎn)設(shè)備，實際上就可以進行半導(dǎo)體采購并擴充制造設(shè)備;Synopsis共同執(zhí)行長Aart de Geus表示：“在中國有很多半導(dǎo)體相關(guān)企業(yè)(除華為外)都在大量購買，這種情況無法避免國內(nèi)的轉(zhuǎn)售?！?

二是聯(lián)發(fā)科對美國的銷售額很少，該公司雖已停止對華為供貨，但也有可能會繼續(xù)接受華為的訂單并準(zhǔn)備接受美國制裁，聯(lián)發(fā)科可以在不投訴最終用戶詳細(xì)信息的情況下訂單生產(chǎn)，臺積電同樣可以。

對上世紀(jì)70/80年代崛起的日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說，通過不同的方法將技術(shù)從美國帶回日本，從模仿再到超越，成就90年代的半導(dǎo)體霸主是可能的，但時代背景不同，通過規(guī)避限制出口并不是長遠(yuǎn)之計，SWIFT跨國結(jié)算系統(tǒng)掌握在美國手上，所有國際賬戶信息，都在美國的掌控之中，會導(dǎo)致更多的企業(yè)被限制。

文章提到的另一方案或許更有前景，EUV以外的光刻機，日本的尼康和佳能也可以制造，業(yè)界有關(guān)人士表示：“中國企業(yè)擬向兩家日本公司提供資金，要求共同開發(fā)除EUV以外的新型光刻機。”

目前只有荷蘭的阿斯麥能夠制造EUV光刻機，而大部分基礎(chǔ)技術(shù)的知識產(chǎn)權(quán)都由美國掌握，如果走別人的路，知識產(chǎn)權(quán)的約束會很多，當(dāng)芯片制程工藝接近摩爾定律極限，3D堆疊技術(shù)正在成為延續(xù)摩爾定律的主角，研發(fā)新的光刻機或許是彎道超車的機會，就像2000年前后阿斯麥憑借浸入式光刻技術(shù)超越尼康一樣，每一次彎道超車都離不開新技術(shù)、新材料的顛覆。

當(dāng)年美國建立EUV LLC聯(lián)盟搞高端光刻機，幾乎半導(dǎo)體業(yè)界所有的巨頭都被邀請來了，唯獨尼康排除在外，最后單打獨斗的尼康，自然干不過人家聯(lián)盟，不知尼康是否因此耿耿于懷?如今國產(chǎn)光刻機需要合作，尼康正好有技術(shù)積累，尼康是否有心被阿斯麥碾壓二十年后再扳回一城?結(jié)果值得期待。

現(xiàn)在尼康最先進的光刻機是45-22納米，雖然跟阿斯麥有幾代的差距，但在單打獨斗的日子里，技術(shù)幾乎都是自己的，受美國方面的制約更少。

三、結(jié)語

2012年日本存儲芯片企業(yè)爾必達(dá)被美光收購，去年11月，原社長坂本幸雄就任紫光集團高級副總裁，紫光旗下核心企業(yè)長江存儲主打存儲芯片;

曾就職瑞晶總經(jīng)理的陳正坤，后瑞晶被美光收購，陳正坤加入聯(lián)電，后來到大陸協(xié)助福建晉華建存儲芯片廠，當(dāng)被問及為什么加入聯(lián)電和中國大陸DRAM技術(shù)合作研發(fā)計劃，陳感性地說，當(dāng)年瑞晶被兼并對他沖擊很大，且自主開發(fā)DRAM技術(shù)一直是他心中的夢想，希望這個夢想在這里播種開花。

中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)崛起，除了開放合作，還要尋找合適的領(lǐng)頭羊。