2月2日，證監(jiān)會(huì)發(fā)布公告稱，近日，我會(huì)按法定程序同意芯碁微裝科創(chuàng)板首次公開(kāi)發(fā)行股票注冊(cè)，芯碁微裝及其承銷商將分別與上海證券交易所協(xié)商確定發(fā)行日程，并陸續(xù)刊登招股文件。

芯碁微裝主要從事以微納直寫(xiě)光刻為技術(shù)核心的直接成像設(shè)備及直寫(xiě)光刻設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售以及相應(yīng)的維保服務(wù)，主要產(chǎn)品及服務(wù)包括PCB直接成像設(shè)備及自動(dòng)線系統(tǒng)、泛半導(dǎo)體直寫(xiě)光刻設(shè)備及自動(dòng)線系統(tǒng)、其他激光直接成像設(shè)備以及上述產(chǎn)品的售后維保服務(wù)，產(chǎn)品功能涵蓋微米到納米的多領(lǐng)域光刻環(huán)節(jié)。

申報(bào)稿顯示，芯碁微裝本次擬募集資金4.73億元，在扣除發(fā)行相關(guān)費(fèi)用后擬用于高端PCB激光直接成像（LDI）設(shè)備升級(jí)迭代項(xiàng)目、晶圓級(jí)封裝（WLP）直寫(xiě)光刻設(shè)備產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、平板顯示（FPD）光刻設(shè)備研發(fā)項(xiàng)目和微納制造技術(shù)研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目。?

據(jù)披露，芯碁微裝在微納直寫(xiě)光刻為技術(shù)核心的基礎(chǔ)上，形成直接成像設(shè)備及直寫(xiě)光刻設(shè)備兩大核心系列產(chǎn)品。其中在直寫(xiě)光刻設(shè)備方面，公司目前能提供最小線寬在500nm-10μm的設(shè)備，主要應(yīng)用于下游IC掩膜版制版以及IC制造、OLED顯示面板制造過(guò)程中的直寫(xiě)光刻工藝環(huán)節(jié)。?

招股書(shū)介紹，芯碁微裝已累計(jì)服務(wù)近70家客戶，包括深南電路、健鼎科技、勝宏科技、景旺電子、國(guó)顯光電（維信諾下屬公司）、中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十一研究所、中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)、華中科技大學(xué)、廣東工業(yè)大學(xué)等。?