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[導(dǎo)讀]光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑、光阻劑,是一種對光敏感的有機混合物,可以阻擋光線照射,用于微細圖形加工。如果把芯片生產(chǎn)比作刻印版畫,光刻膠就是刻印過程中使用的“油墨”,是芯片生產(chǎn)中不可或缺的一環(huán),光刻膠質(zhì)量也將直接影響芯片良率。

光刻膠(Photoresist)又稱光致抗蝕劑、光阻劑,是一種對光敏感的有機混合物,可以阻擋光線照射,用于微細圖形加工。如果把芯片生產(chǎn)比作刻印版畫,光刻膠就是刻印過程中使用的“油墨”,是芯片生產(chǎn)中不可或缺的一環(huán),光刻膠質(zhì)量也將直接影響芯片良率。

在全球芯片缺貨潮的影響下,芯片產(chǎn)業(yè)鏈上游出現(xiàn)原材料供應(yīng)緊張的情況。根據(jù)央視財經(jīng)在3月22日的報道,進口光刻膠不僅價格上漲,而且可采購量也比往年大幅縮水。在這樣的情況下,提高光刻膠的國產(chǎn)化率成為業(yè)界共識,國內(nèi)也涌現(xiàn)出以晶瑞股份為代表的一批優(yōu)秀光刻膠生產(chǎn)企業(yè)。

光刻機對于芯片生產(chǎn)的重要性不言而喻,而與光刻機息息相關(guān)的光刻膠,則被看作推進芯片工藝制程的“燃料”。與光刻機卡脖的情況類似,國內(nèi)的光刻機市場也主要被日本和美國的企業(yè)壟斷,國產(chǎn)光刻膠則主要應(yīng)用于低端生產(chǎn)線,自給率僅10%左右。

在集成電路領(lǐng)域,上游設(shè)備和材料方面的落后,是目前中國被海外卡脖子的關(guān)鍵所在。受起步晚、基礎(chǔ)薄弱的影響,國產(chǎn)芯片設(shè)備和相關(guān)材料的市場占有率極低。即便有些國產(chǎn)產(chǎn)品能夠被規(guī)模應(yīng)用,也僅限于中低端市場,例如光刻機和光刻膠。

有媒體報道,當前制造芯片的材料產(chǎn)能緊缺,企業(yè)進口光刻膠困難。據(jù)了解,此前半導(dǎo)體企業(yè)每次能采購到100多公斤光刻膠,而現(xiàn)在每次只能采購到10-20公斤,同時光刻膠的價格也在上漲。

光刻膠根據(jù)用途主要可分為以下幾類:半導(dǎo)體光刻膠、LCD光刻膠、PCB光刻膠以及其他光刻膠。其中,半導(dǎo)體光刻膠約占27%,LCD光刻膠和PCB光刻膠分別各占24%,其他光刻膠產(chǎn)品占據(jù)25%。

在2019年7月份的時候,日本對韓國半導(dǎo)體進行了打壓,對包括光刻膠在內(nèi)的三種半導(dǎo)體材料對韓國出口進行了限制,一時之間讓韓國產(chǎn)導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)緊張不已。光刻膠是用來干什么的?為何一禁韓國就緊張了?光刻膠是芯片制造過程中必不可少的一種材料,硅晶圓光刻前,都要涂上光刻膠,沒有光刻膠就無法光刻,從而無法實現(xiàn)芯片的生產(chǎn)。

目前市場上的光刻膠,主要被日本、美國企業(yè)壟斷,這兩國的企業(yè)占了全球85%的份額,而日本一家占了70%的份額,可以說全球的芯片制造企業(yè)的脖子,都被日美卡著的。

對于國內(nèi)企業(yè)來說,砸錢購買光刻機來研發(fā)國產(chǎn)光刻膠,成為彎道超車的主要途徑。1月19日,國內(nèi)光刻膠龍頭企業(yè)晶瑞股份發(fā)布公告,表示公司已經(jīng)從ASML購入ArF浸入式光刻機一臺,將主要用于國產(chǎn)高端光刻膠的研發(fā)。

而從光刻膠的分類來看,主要有g(shù)線、i線、KrF、ArF等,前兩種是最常見的,最低端光刻膠。而KrF、ArF等則是比較高端,且光刻分辨率較高的光刻膠,基本被美日壟斷。而高分辨率的光刻膠是半導(dǎo)體化學(xué)品中技術(shù)壁壘最高的材料,有業(yè)內(nèi)人士甚至曾說,日美企業(yè)技術(shù)領(lǐng)先國內(nèi)企業(yè)二十年至三十年。

材料是半導(dǎo)體大廈的地基,不過,目前中國的這一地基對國外依存度還很高。2019年,日韓發(fā)生沖突,日本封鎖了三種關(guān)鍵的半導(dǎo)體材料,分別是氟化氫、聚酰亞胺和光刻膠。這三種材料韓國,中國都可以制造,但關(guān)鍵在于能造是一回事,能用是另一回事,這其實也是半導(dǎo)體材料產(chǎn)業(yè)的核心問題所在。

如今的光刻技術(shù)已經(jīng)進入EUV時代,臺積電、英特爾和三星紛紛積極導(dǎo)入EUV技術(shù),與之對應(yīng)的是EUV光刻膠的需求上升,與ArF浸沒式光刻相比,EUV光刻技術(shù)有很高的圖形保真度和設(shè)計靈活性,所需的光掩模數(shù)量很少,顯示出明顯的優(yōu)勢。但國產(chǎn)光刻膠企業(yè)想要突破它,不僅面臨原材料、純度等難題,還面臨強大的專利壁壘。從全球EUV光刻膠專利的申請量上來看,1998年EUV光刻膠專利的申請量只有6件,此后十年間,大多數(shù)時候都是年平均兩位數(shù)的申請量。

從2010年開始的四年間,申請數(shù)量破百,并且持續(xù)增長,到2013年到達頂峰。當年的申請量有164件,此后又逐步回落至兩位數(shù),到2017年,EUV光刻膠專利的申請量只有15件。這一趨勢說明,在本世紀前13年里,EUV光刻膠的技術(shù)在不斷的進步,各大廠商都在積極探索EUV光刻膠技術(shù),所以專利數(shù)才會不斷上升,而在2013年之后,該項技術(shù)走向成熟,由此專利數(shù)量開始急劇減少。

此外,出于戰(zhàn)略層面的考慮,中國政府的大力支持和中國企業(yè)、人才的家國情懷,也是促進光刻膠國產(chǎn)化的一大動力。據(jù)中信證券的研報預(yù)測,中國LCD光刻膠市場規(guī)模,在2019到2023年將從40以增殖69億元,國產(chǎn)化率也有望從5%提升至40%。

總而言之,在全國上下的共同努力下,包括光刻膠在內(nèi)的,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)核心技術(shù)的自主化、核心設(shè)備和材料的國產(chǎn)化勢在必行。

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