11月1日，MEMS與智能傳感器技術(shù)專場活動在鄭州國際會展中心成功召開。本次論壇邀請了眾多權(quán)威學(xué)者，他們針對智能傳感器行業(yè)發(fā)展存在的突出問題及薄弱環(huán)節(jié)，還有我國MEMS與智能傳感器技術(shù)的核心競爭力進(jìn)行了深度探討。

會議現(xiàn)場照片

本次會議由中國科學(xué)技術(shù)協(xié)會、河南省人民政府作為主辦單位，中國儀器儀表學(xué)會、河南省工業(yè)和信息化廳、智能傳感器創(chuàng)新聯(lián)盟、智能微系統(tǒng)教育部重點實驗室、北京未來芯片技術(shù)高精尖創(chuàng)新中心、清華大學(xué)微米納米技術(shù)研究中心承辦，鄭州市工業(yè)和信息化局、鄭州高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會、漢威科技集團股份有限公司協(xié)辦。

清華大學(xué)精儀系副系主任、研究員張高飛主持

加拿大工程院院士、加拿大西安大略大學(xué)機械工程、材料工程及生物醫(yī)學(xué)工程專業(yè)教授楊軍通過視頻致辭

河南省工業(yè)和信息化廳總經(jīng)濟師毛鄭建致辭

中科院上海微系統(tǒng)所研究員，重點實驗室副主任李鐵

中科院上海微系統(tǒng)所研究員，重點實驗室副主任李鐵作了《仿生生物微納傳感器》主題報告。他首先介紹了仿生生物微納傳感器的研究背景，并且以蜘蛛為例，講述了狹縫傳感器的研發(fā)經(jīng)過，指出仿生感知技術(shù)進(jìn)入微納、分子尺度階段，并且涉及到了仿生學(xué)、材料學(xué)、傳感器、微電子、計算機、人工智能、無線通信等學(xué)科技術(shù)領(lǐng)域。報告中主要介紹了仿生嗅覺傳感器的硅納米線材料，還分享了嗅覺生物敏感材料的選擇方法、仿生光探測器機理及檢測原理、石墨烯探測器的檢測方法，報告內(nèi)容環(huán)環(huán)相扣，全面清晰。

國防科技大學(xué)，智能科學(xué)學(xué)院教授肖定邦

國防科技大學(xué)，智能科學(xué)學(xué)院教授肖定邦先生作了《高性能微機電陀螺研究進(jìn)展》主題報告。由于疫情原因，肖教授本人無法到場，但是他的線上分享也可謂是精彩絕倫，他先講述了國外高性能微機電陀螺的研究進(jìn)展情況，接下來就是核心內(nèi)容蜂巢式微機電陀螺研究內(nèi)容，報告中分享了蜂巢式MEMS敏感結(jié)構(gòu)的優(yōu)勢、微半球諧振陀螺研究的結(jié)構(gòu)創(chuàng)新設(shè)計和加工工藝創(chuàng)新，最后肖教授展示了微機電陀螺技術(shù)的發(fā)展趨勢圖，說明了微機電陀螺技術(shù)可能向環(huán)形、半環(huán)形發(fā)展的方向。

清華大學(xué)副教授趙曉光

清華大學(xué)副教授趙曉光先生作了《基于超材料的微機電傳感器》主題報告。他先對超材料微機電的背景進(jìn)行介紹，介紹中說到了超材料的單元結(jié)構(gòu)設(shè)計及應(yīng)用，他指出超材料對電磁場進(jìn)場和光的調(diào)控，在醫(yī)學(xué)成像中的應(yīng)用有實際意義，并且指出量子學(xué)的進(jìn)展也啟發(fā)了超材料發(fā)展的進(jìn)展。報告中還分享了超材料mems傳感器的工作原理，介紹了基于超材料的太赫茲探測器、基于雙層超表面的mem太赫茲調(diào)控器、單元結(jié)構(gòu)獨立可調(diào)的超材料、基于連續(xù)區(qū)束縛態(tài)的超高Q值、基于非線性超材料的非線性隔離器、智慧型超材料、可變性超材料，在報告最后，他還說到，超材料是一個比較新的概念、超材料模糊了材料與器械的邊界，mems與超材料的結(jié)合支撐微系統(tǒng)及傳感器相關(guān)領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展。

東南大學(xué)教授，實驗室常務(wù)副主任周再發(fā)

東南大學(xué)教授，實驗室常務(wù)副主任周再發(fā)先生作了《面向MEMS制造的薄膜材料和工藝參數(shù)在線測試技術(shù)》主題報告。他的報告主要從電學(xué)、熱學(xué)、力學(xué)三個方面介紹了薄膜材料和工藝參數(shù)的測試內(nèi)容，并且介紹了薄膜材料和工藝參數(shù)在線測試的兩種方法，報告結(jié)尾詳細(xì)闡述了二氧化硅薄膜介電伸縮系統(tǒng)測試方法及壓力傳感器設(shè)計的應(yīng)用，這些內(nèi)容對實際生產(chǎn)及應(yīng)用都有很重要，而現(xiàn)場針對周教授的講解也提出問題，周教授的回答給出了滿意的答復(fù)。

重慶大學(xué)教授溫泉

重慶大學(xué)溫泉教授作了《微型集成掃描光柵微鏡發(fā)展與應(yīng)用》主題報告。報告首先講述的是微光學(xué)器件的發(fā)展歷史及應(yīng)用，簡單介紹了三種類型的光學(xué)器件，重點介紹了集成掃描光柵微鏡系統(tǒng)，通過國外案例介紹集成掃描光柵微鏡系統(tǒng)發(fā)展過程中存在的問題以及集成掃描光柵微鏡系統(tǒng)的階段性進(jìn)展與成果，溫教授介紹到微型集成掃描光柵微鏡具有體積小、低耗能、低成本的優(yōu)勢，報告最后介紹了潛在應(yīng)用，主要分享了高光譜成像的應(yīng)用，溫教授還總結(jié)說到微型集成掃描光柵微鏡是現(xiàn)代光譜分析檢測設(shè)備新形勢核心公共部件。

漢威科技集團傳感器研究院副院長劉建鋼

漢威科技集團傳感器研究院副院長劉建鋼先生作了《傳感器列陣及智能傳感器發(fā)展與應(yīng)用》主題報告。他指出傳感器的發(fā)展速度已經(jīng)遠(yuǎn)高于世界發(fā)展速度，詳細(xì)分析了當(dāng)下傳感器的行業(yè)現(xiàn)狀，介紹了傳感器的分類方式及發(fā)展方向，指出智能最為熱點。報告中展示了漢威集團的智能氣體傳感器成果、智能光學(xué)傳感器成果及環(huán)境溫濕度成果，最后，劉副院長對漢威集團公司簡介、發(fā)展歷程進(jìn)行了簡短的介紹。

此次會議的成功召開，首先有利于突破相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的技術(shù)瓶頸和體制約束，其次有利于提升我國MEMS與智能傳感器產(chǎn)業(yè)技術(shù)的核心競爭力，還有利于促進(jìn)企業(yè)、高等院校和科研院所在戰(zhàn)略層面有效結(jié)合，進(jìn)而促進(jìn)學(xué)術(shù)界與企業(yè)界的深度合作，最后有利于推進(jìn)基礎(chǔ)研究的成果轉(zhuǎn)化，建立并完善我國傳感器領(lǐng)域的創(chuàng)新體系。這次會議讓更多的企業(yè)家和研究人員在今后的道路上堅定了信心，認(rèn)清了方向。