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IBM將與法國LETI聯(lián)手開發(fā)22nm制程技術(shù)

時間：2009-04-13 10:00:19

關(guān)鍵字： IBM 制程技術(shù) TI CE

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[導(dǎo)讀]IBM與法國原子能署下屬的電子資訊科技實驗室(CEA/LETI)近日宣布將合作研究開發(fā)半導(dǎo)體與納米電子相關(guān)技術(shù)。雙方將就22nm制程工藝有關(guān)的高級材料，設(shè)備及制造工藝方面進行合作，合約期為5年。研究工作將在IBM公司在東

IBM與法國原子能署下屬的電子資訊科技實驗室(CEA/LETI)近日宣布將合作研究開發(fā)半導(dǎo)體與納米電子相關(guān)技術(shù)。雙方將就22nm制程工藝有關(guān)的高級材料，設(shè)備及制造工藝方面進行合作，合約期為5年。

研究工作將在IBM公司在東Fishkill的300mm工廠，Nanotech/意法半導(dǎo)體公司在法國Crolles的工廠以及CEA/LETI位于Grenoble的300mm設(shè)施中展開。而來自CEA/LETI的一支研究團隊則將在Albany Nanotech公司開展這項研究工作。CEA/LETI將不會加入IBM的“制造廠俱樂部”（fab club）聯(lián)盟，而只會加入IBM的“聯(lián)合開發(fā)共同體”聯(lián)盟進行技術(shù)合作。

本次合作將主要涉及三個領(lǐng)域：22nm制程用高級光刻技術(shù)；22nm制程CMOS技術(shù)以及低功耗技術(shù)；以及納米級成型工藝（nanoscale characterization）技術(shù)。

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