當(dāng)前位置：首頁 > 模擬 > 模擬

諾發(fā)系統(tǒng)售出第1000臺化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

時間：2010-03-02 09:40:00

關(guān)鍵字： VECTOR GLOBALFOUNDRIES FAB SEMICONDUCTOR

手機(jī)看文章

掃描二維碼
隨時隨地手機(jī)看文章

[導(dǎo)讀]陳妍蓁諾發(fā)系統(tǒng)日前宣布賣出第1000臺化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(Vector)給新加坡GLOBALFOUNDRIES Fab 7， GLOBALFOUNDRIES為擁有先進(jìn)半導(dǎo)體制造技術(shù)之主要供應(yīng)者，近期更與Chartered Semiconductor Manufacturing進(jìn)行整合，F(xiàn)

陳妍蓁諾發(fā)系統(tǒng)日前宣布賣出第1000臺化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(Vector)給新加坡GLOBALFOUNDRIES Fab 7， GLOBALFOUNDRIES為擁有先進(jìn)半導(dǎo)體制造技術(shù)之主要供應(yīng)者，近期更與Chartered Semiconductor Manufacturing進(jìn)行整合，F(xiàn)ab 7亦會將12吋VECTOR Express?應(yīng)用于65奈米及更先進(jìn)技術(shù)的大量生產(chǎn)。

VECTOR系統(tǒng)最初于公元2000年7月引進(jìn)，是可沉積各種介電層應(yīng)用的量產(chǎn)機(jī)臺。在前段制程中， VECTOR應(yīng)用于沉積閘極spacer與襯層、應(yīng)變硅之高應(yīng)力薄膜、非結(jié)晶碳與抗反射層、硬質(zhì)遮蔽膜及蝕刻終止層；后段制程應(yīng)用則包括于inter-metal與inter-layer之介電層、銅擴(kuò)散阻障層、低介電常數(shù)覆蓋層與最終保護(hù)層。而近期， VECTOR則被采用于新的介電層應(yīng)用，如：超低介電常數(shù)(ULK)薄膜與TSV封裝技術(shù)之介電層。

VECTOR之所以在半導(dǎo)體制造市場被廣泛接受的主因，來自于產(chǎn)品的高生產(chǎn)率、低裝設(shè)與營運(yùn)成本，設(shè)備體積小、高芯片與芯片間的再現(xiàn)能力與極佳的100奈米以下缺陷能力。

在Fab 7中，諾發(fā)系統(tǒng)VECTOR平臺被使用于65奈米及先進(jìn)4= 40奈米技術(shù)節(jié)點(diǎn)之前后段制程的介電層應(yīng)用，GLOBALFOUNDRIES Fab 7營運(yùn)長Peter Benyon表示：「我們期盼與諾發(fā)繼續(xù)于開發(fā)有成本效益，及先進(jìn)技術(shù)解決方案層面的合作關(guān)系，以持續(xù)協(xié)助我們的客戶快速將創(chuàng)新的設(shè)計(jì)導(dǎo)入市場」。

諾發(fā)系統(tǒng)公司 PECVD事業(yè)單位資深副總Kevin Jennings也表示：「隨著新合作伙伴Chartered Semiconductor加入GLOBALFOUNDRIES，我們非常開心慶祝賣出第1000臺機(jī)臺，邁向新的里程碑，Chartered Semiconductor自2004年購入第一臺VECTOR系統(tǒng)后，便長期成為諾發(fā)系統(tǒng)的重要客戶之一，我們也希望能與GLOBALFOUNDRIES發(fā)展出相同的緊密關(guān)系」。

本站聲明：本文章由作者或相關(guān)機(jī)構(gòu)授權(quán)發(fā)布，目的在于傳遞更多信息，并不代表本站贊同其觀點(diǎn)，本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實(shí)性等。需要轉(zhuǎn)載請聯(lián)系該專欄作者，如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益，請及時聯(lián)系本站刪除。

換一批

PMQ創(chuàng)意企劃《FabriX》首個結(jié)合創(chuàng)作、制作至元宇宙營銷多維度虛擬時裝先導(dǎo)企劃

即日至9月11日《FabriX》一系列展覽及設(shè)計(jì)講座分段舉行一場嶄新互動虛擬時裝體驗(yàn)：讓大家以AR濾鏡“穿戴上身”了解如何制作虛擬時裝 #PMQ #PMQhk #FabriX #FashionMeets...

關(guān)鍵字： FAB BSP PS 數(shù)碼

[產(chǎn)業(yè)新聞]

安集科技2022一季度主營增長95.41%，打造半導(dǎo)體關(guān)鍵材料"元宇宙"

上海2022年6月30日 /美通社/ -- 作為首批科創(chuàng)板上市企業(yè)，安集科技始終致力于"以共贏謀發(fā)展"。 2022一季報顯示，安集科技主營收入2.33億元，同比上升95.41%，持續(xù)多元合...

關(guān)鍵字：半導(dǎo)體安集科技半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) FAB

[美通社全球TMT]

德州儀器全新12英寸半導(dǎo)體晶圓制造基地破土動工

（全球TMT2022年5月19日訊）德州儀器宣布其位于德克薩斯州謝爾曼（Sherman）的全新12英寸半導(dǎo)體晶圓制造基地正式破土動工。此項(xiàng)目投資約300億美元，計(jì)劃建造四座工廠以滿足長期的市場需求。這些新工廠每天將制造...

關(guān)鍵字：半導(dǎo)體德州儀器晶圓制造 FAB

[貿(mào)澤電子]

貿(mào)澤電子即日起開售Fujitsu Semiconductor Memory Solution產(chǎn)品

2021年12月13日 – 專注于引入新品并提供海量庫存的電子元器件分銷商貿(mào)澤電子 (Mouser Electronics) 宣布即日起開售Fujitsu Semiconductor Memory Solution的鐵電...

關(guān)鍵字： FUJITSU MEMORY SOLUTION SEMICONDUCTOR

[全棧芯片工程師]

下一個名譽(yù)全球的國產(chǎn)SoC接班人會是你嗎？

隨著大數(shù)據(jù)AI處理和智能交互需求的提升，部分設(shè)備智能化升級過程中，原MCU方案將被SoC代替，或者SoC與MCU配合使用，其中SoC運(yùn)算處理數(shù)據(jù)，MCU負(fù)責(zé)收集數(shù)據(jù)與簡單控制。市場規(guī)模和結(jié)構(gòu)：2017年全球SoC市場規(guī)模...

關(guān)鍵字： SoC MCU BLE FAB

[芯電路芯資訊]

RISC-V聯(lián)盟批準(zhǔn)了15項(xiàng)新規(guī)范、40多個擴(kuò)展

本文來源：由半導(dǎo)體行業(yè)觀察編譯自網(wǎng)絡(luò)近日，全球開放硬件標(biāo)準(zhǔn)組織RISC-VInternational宣布，RISC-V成員已經(jīng)批準(zhǔn)了15項(xiàng)新規(guī)范（代表40多個擴(kuò)展），用于免費(fèi)開放的RISC-V指令集架構(gòu)(ISA)。最值得...

關(guān)鍵字： RISC-V VECTOR 數(shù)據(jù)中心虛擬機(jī)

[電源-能源動力]

Littelfuse宣布投資碳化硅技術(shù)

Littelfuse公司日前宣布作為公司強(qiáng)力進(jìn)軍工業(yè)和汽車用功率半導(dǎo)體元件市場戰(zhàn)略的一項(xiàng)舉措，Littelfuse對碳化硅技術(shù)研發(fā)領(lǐng)域的初創(chuàng)公司Monolith Semiconductor公司進(jìn)行了投資。碳化硅是一種發(fā)...

關(guān)鍵字：碳化硅 LITTELFUSE 元件 SEMICONDUCTOR

[汽車電子]

Littelfuse宣布投資碳化硅技術(shù)

21ic訊 Littelfuse公司是全球電路保護(hù)領(lǐng)域的領(lǐng)先企業(yè)，日前宣布作為公司強(qiáng)力進(jìn)軍工業(yè)和汽車用功率半導(dǎo)體元件市場戰(zhàn)略的一項(xiàng)舉措，Littelfuse對碳化硅技術(shù)研發(fā)領(lǐng)域的初創(chuàng)公司

關(guān)鍵字：碳化硅 LITTELFUSE 元件 SEMICONDUCTOR

[測試測量]