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[導讀]在黃金價格節(jié)節(jié)高升下,銅打線制程成為近年來半導體產(chǎn)業(yè)備受關注的議題。與金線相較,采用銅線可望節(jié)省10~15%,但銅線因較硬、易氧化等物理化學特性,其所面臨的挑戰(zhàn)不比金線少,封測業(yè)者必須以更為嚴謹?shù)牧鞒踢M行控

在黃金價格節(jié)節(jié)高升下,銅打線制程成為近年來半導體產(chǎn)業(yè)備受關注的議題。與金線相較,采用銅線可望節(jié)省10~15%,但銅線因較硬、易氧化等物理化學特性,其所面臨的挑戰(zhàn)不比金線少,封測業(yè)者必須以更為嚴謹?shù)牧鞒踢M行控管,累積更長期的數(shù)據(jù)庫,建立客戶對銅線信賴度和可靠度的信心,才能營造大量生產(chǎn)的契機。
黃金價格驚驚漲,銅盡管漲跌不一,但2010年以來跌勢均多。以6月底、7月初的黃金價格而言,每盎司達1,240美元,而同期間的銅價換算后每盎司0.1875美元,兩者達天壤之別。
日月光技術推廣處長曾安實表示,以31毫米X31毫米、腳數(shù)624支和BGA封裝型態(tài)的芯片而言,在大小、封裝方式和腳數(shù)相同的條件下,打銅線和打金線后的芯片成品價格相差達17.4%。整體而言,他估計采用銅線的成本應該可以比金線減少10~15%,視線徑、線數(shù)和訂單量多寡而有不同。
黃金高漲確實帶給IC設計、IDM廠和封裝業(yè)者莫大的成本壓力,因而激勵半導體業(yè)者轉(zhuǎn)換到銅打線制程的意愿高漲。其應用范圍從過去只有分離式組件和高功率組件,擴大至消費性產(chǎn)品如數(shù)字相機、LCD TV、鼠標等,PC領域和通訊領域皆有產(chǎn)品線采用銅打線制程,例如基頻IC、WiFi系統(tǒng)? 瘣馱?SoC)等皆在第1季開始改變制程。
為因應? z趨勢,日月光積極擴充銅打線機臺,預計第3季增加700~800臺,屆時累計機臺數(shù)將突破3,000臺。依照目前內(nèi)部的初步計劃,日月光計劃第4季會放緩新增機臺的腳步,增加300~400臺。日月光仍為銅打線機臺規(guī)模最大的封測廠。
曾安實說,銅打線制程的挑戰(zhàn)并不輸金線。銅線和金線最大的差異在于銅易氧化,由于打線過程中,因放電及熱板加熱,會形成氧化銅,已氧化的FAB(Free Air Ball)球形較不圓,容易造成打不黏。銅線在共晶結合上,與金線不同,金線會有擴散現(xiàn)象,但銅線的金屬間共金化合物(IMC)生成較慢,只有表面結合。銅比金的硬度高,如果打線力量或角度不對,則銅線路徑控制就會失準,且焊線參數(shù)也相對變大,因此必須考慮PAD厚度及球的尺寸,否則容易將PAD壓出范圍,或是邊緣未殘留鋁層的狀況。
目前客戶采用銅打線制程意愿確實增加,但仍有其他客戶對銅打線的信賴度存有疑慮。為了降低客戶的疑慮,銅打線業(yè)者必須要一再確認線路設計以及打線方式,并確認打線位置和參數(shù)。在以上因子都確認之后,才能拿實際的晶粒進行打線。這些流程比金線管控還要更為嚴謹。此外,未來需要累積更多數(shù)據(jù)庫,來確保信賴度,以提升? q生產(chǎn)的機會。


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