表面聲聲波濾波器（SAW Filter，Surface Acoustic Wave Filter）對于手機的天線（收發(fā)）轉換開關而言，可說是個重要支柱。2005年，美國安捷倫（Agilent）科技推出了BAW（Bulk Acoustic Wave）濾波器，不僅足足節(jié)省了3/4的電路板空間，更為MEMS微機電（micro-electro-mechanical systems）硬體開辟一條前往行動世界之路。BAW元件因不具有可移動的內部零件，與其他的MEMS元件是有所區(qū)隔的，但業(yè)界專家仍將它歸在MEMS類別，因為就制程而言，BAW采用了和MEMS類似的概念。


附圖 : iPhone 5S內建M7動作協(xié)同處理器 BigPic:602x350
MEMS微機電應用在智慧手機領域，進而獲得重大突破之時機點，是在蘋果透過模仿人類在真實世界工作的形式，進一步將MEMS硬體導入動作元素到使用者介面之后的幾年才真正發(fā)揚光大。蘋果在iPhone裝設了加速度計，賦予觸控螢幕擁有自動切換橫、直向顯示的功能，造就了導入MEMS感測器的智慧手機開啟了新的應用平臺并進一步強化連接的魔力。

蘋果在iPhone5使用4顆MEMS感測器以及三星在Galaxy S4智慧手機使用高達8顆MEMS感測器。業(yè)界專家預測，未來新型智慧手機想要進一步實現(xiàn)室內/室外導航、定位、虛擬實境游戲、增強真實功能等應用，將會采用高達30顆的MEMS元件。同時，MEMS硬體也將成為擔任LTE手機天線及數(shù)位調諧電容器，在不同頻段與多個蜂窩技術之間頻繁交換的重要亮點。

隨著裝置整合的需求不斷持續(xù)升溫，以加速度計與陀螺儀為例，開始出現(xiàn)將兩者整合到單一封裝中，其次，感測器與處理能力亦走向整合的趨勢。從蘋果近期推出的iPhone 5S便可窺知端倪，iPhone 5S內建的M7動作協(xié)同處理器（motion co-processor）便是為可攜式電子產品的MEMS創(chuàng)新技術開啟新的一扇門。M7動作協(xié)同處理器能夠用于集中控制多種動態(tài)感測資訊，包括加速感應器、陀螺儀和羅盤，并能持續(xù)監(jiān)控這些感測器的變化。在行動裝置上運行動作處理演算法，再從應用處理器卸載感測器模組，整個過程僅消耗1%的電力。

智慧手機與平板電腦的相繼問世，進而帶動MEMS硬體呈現(xiàn)倍數(shù)成長，透過MEMS加速度計與陀螺儀，能夠提供觸控螢幕具有辨識方向的能力以及協(xié)助用于加速位置定位與導航相關應用程式；此外，MEMS麥克風、指南針、壓力感測器等亦能提供行動裝置進一步實現(xiàn)更多功能與應用。根據(jù)市調機構Yole Developement報告指出，2012年，基于MEMS的行動零組件市場價值超過20億美金，除此之外，Yole Developement更透漏意法半導體在2012年MEMS銷售總額直逼10億美金。

那么，MEMS除了讓行動市場蓬勃發(fā)展，還有其他更多的延伸應用嗎？舉凡像是智慧手表的穿戴式以及物聯(lián)網(wǎng)相關的消費裝置，看起來確實像是MEMS生態(tài)系的下一波大市場。除此之外，醫(yī)療保健以及健康相關亦是MEMS元件另一個發(fā)展方向，透過MEMS能夠開發(fā)出新一代醫(yī)療裝置藉以應用在診斷、治療、監(jiān)測、醫(yī)療器材、保健計劃管理等領域。

(本文作者Majeed Ahmad，具有電子工程師背景，擔任技術與貿易領域之記者一職資歷超過17年，并著有一本以行動裝置設備世代演進與經(jīng)濟周期為主題的個人著作。)