微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)組件制造商MEMSCAP SA(法國(guó)格勒諾布爾)表示，它已經(jīng)與罕王集團(tuán)建立了合作伙伴關(guān)系，來(lái)擴(kuò)展其MUMPS多項(xiàng)目晶圓服務(wù)在中國(guó)的銷售。(見(jiàn)相關(guān)報(bào)道：鐵礦集團(tuán)玩跨界？罕王揮金30億要填補(bǔ)中國(guó)MEMS空白)
主營(yíng)采礦和冶煉處理的沈陽(yáng)罕王集團(tuán)，在2010年成立了罕王電子子公司生產(chǎn)MEMS，進(jìn)入到半導(dǎo)體領(lǐng)域。罕王電子在沈陽(yáng)以東40公里的撫順市建立一造MEMS的晶圓廠。

然而，該工廠預(yù)計(jì)在2014年以前都不會(huì)正式運(yùn)營(yíng)。在那之前，罕王集團(tuán)將會(huì)為MUMPS多項(xiàng)目晶圓服務(wù)的中國(guó)工程師提供提供培訓(xùn)與銷售支持。罕王集團(tuán)同樣將重點(diǎn)放在MUMPS項(xiàng)目上，允許工程師對(duì)MEMS的標(biāo)準(zhǔn)工藝進(jìn)行調(diào)整來(lái)發(fā)掘市場(chǎng)中的機(jī)會(huì)。

MUMPS的意思是多用戶MEMS處理技術(shù)(Multi-User MEMS Processes）。該工藝最初于上世紀(jì)80年代由加州加州伯克利大學(xué)開(kāi)發(fā)開(kāi)發(fā)，后來(lái)轉(zhuǎn)移到北卡羅萊納州微電子公司，并作為MEMS原型技術(shù)的學(xué)術(shù)發(fā)展起來(lái)。后來(lái)該技術(shù)被移動(dòng)到了克洛諾斯集成微系統(tǒng)公司(Cronos Integrated Microsystems Inc.），包括了北卡羅萊納州的Research Triangle Park的一座晶圓廠?？寺逯Z斯集成微系統(tǒng)公在2003年被Memscap公司收購(gòu)。

從2003年起，Memscap提供了三種標(biāo)準(zhǔn)MEMS工藝，分別被命名為：PolyMUMPs, SOIMUMPs, and MetalMUMPs。Memscap的MUMPS工藝剛剛起步，并聲稱已經(jīng)為學(xué)院、商業(yè)和政府的不同的用戶群提供了數(shù)千個(gè)MUMP設(shè)備。