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[導讀]本文為對利用MEMS技術制造加速度傳感器和陀螺儀傳感器等的美國模擬器件公司(Analog Devices)日本法人的采訪。(采訪者:根津禎) 目前,我們通過致力于追求更高性能的領域來開展MEMS傳感器業(yè)務。比如汽車、產(chǎn)

本文為對利用MEMS技術制造加速度傳感器和陀螺儀傳感器等的美國模擬器件公司(Analog Devices)日本法人的采訪。(采訪者:根津禎)

目前,我們通過致力于追求更高性能的領域來開展MEMS傳感器業(yè)務。比如汽車、產(chǎn)業(yè)設備以及醫(yī)療器械等。這些均是今后有望實現(xiàn)高度成長的領域。

在檢測汽車、產(chǎn)業(yè)設備以及洗衣機等使用的馬達的振動情況,以判斷是否發(fā)生異常的用途中,利用3軸加速度傳感器。通過利用FFT分析發(fā)生的振動的頻率成 分,來推測振動發(fā)生的位置。例如,如果在低頻帶寬發(fā)現(xiàn)異常振動,可推斷是馬達外側(cè)的盒子發(fā)生異常,如果在中頻帶寬,可推斷是軸承部分發(fā)生了異常。

我們面向這類用途銷售“ADXL001”和“ADIS16227”。ADXL001的特點是,可檢測的頻率帶寬高達22kHz。由此,還可以檢測 8kHz的高頻率帯的振動。其特點還包括,檢測范圍達到±70g~500g。ADIS16227在可檢測的頻率帶寬高達22kHz的基礎之上,還具有 FFT信號解析功能。

我們的加速度傳感器除了檢測振動之外,還可用于檢測汽車的行李架、醫(yī)療器械的床體以及飛機等的傾斜角。在這類用途中,主要用來檢測±20g以下的相對 比較緩慢的動作。例如,3軸產(chǎn)品“ADXL345”、2軸產(chǎn)品“ADXL203”和“ADIS16209”等用來檢測傾斜角。其中ADXL203由于溫度特性出色,上市已經(jīng)過了約7年,仍在繼續(xù)銷售。ADXL203具備0g時的“偏置(Offset)溫度系數(shù)”為0.1mg/℃的溫度特性。

另一方面,陀螺儀傳感器用于檢測直升機、船舶以及無人駕駛飛機等的旋轉(zhuǎn)動作和方向變化。例如,1軸產(chǎn)品“ADXRS450”和“ADIS16265”。ADXRS450的特點是,對線性加速度的敏感度只有0.03度/秒/g,提高了沖擊時的測量精度。

采用MEMS技術的陀螺儀傳感器利用振動的物體上的“科氏力”來測量角速度。因此,會受到外部沖擊的影響。所以,ADXRS450以兩個傳感器電路為一組,共計利用了兩組四個傳感器電路,從而消除了外部沖擊的影響(圖1)。

ADXRS450可提供采用16端子SOIC封裝和名為“VMP”的自主封裝的兩款產(chǎn)品(圖2)。VMP支持縱橫兩面的表面安裝,以其中一個面為下進 行安裝時,可檢測首搖(Yaw,z軸)的動作,以另一面為下安裝時可檢測橫搖(Roll)或縱搖(Pitch,x軸/y軸)的動作。也就是說,通過改變安 裝面,可以檢測到想要檢測的旋轉(zhuǎn)動作。


圖1:ADXRS450的內(nèi)部(點擊放大)

圖2:VMP封裝(點擊放大)




    
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