科學家研制出可自我校準的微機電系統(tǒng)
[導讀]微機電系統(tǒng)在未來的高科技領域有很大的應用潛力，但目前它們也有一個難以克服的缺陷，那
就是計量結果不夠精確，彼此之間存在偏差。據(jù)《大眾科學》雜志網(wǎng)站8月10日報道，美國普渡大學的研究人員現(xiàn)已找到了一種方法，
微機電系統(tǒng)在未來的高科技領域有很大的應用潛力，但目前它們也有一個難以克服的缺陷，那
就是計量結果不夠精確，彼此之間存在偏差。據(jù)《大眾科學》雜志網(wǎng)站8月10日報道，美國普渡大學的研究人員現(xiàn)已找到了一種方法，可以讓微機電系統(tǒng)進行自我
校準，這一研究成果有望打開研發(fā)各類超高精度的傳感器和設備的大門，可在醫(yī)學、工程以及國防領域發(fā)揮作用。
微機電系統(tǒng)的尺寸不到十億分之一米，在如此微小的尺度上制造這種設備難免會存在誤差，要
保證生產(chǎn)出的微機電系統(tǒng)完全一致是不太可能的。既然沒有可靠的方法來制造兩個一模一樣的微機電系統(tǒng)，就必須采用一些校準手段來盡量避免或者減小它們在計量
時彼此之間的誤差。然而，要想在這種微觀尺度上進行距離或者力的測量同樣非常困難，因此，到目前為止，還沒有確定一套標準來校準兩個微機電系統(tǒng)的功能，以
使它們的性能和計量方式完全一樣。
而普渡大學開發(fā)的這項被稱為微電計量的新技術，可幫助工程師確定施加于微機電系統(tǒng)器件上
的力的大小。微電計量技術通過測量微機電系統(tǒng)的電子特性來定義其機械特性，因為在這樣的微觀尺度上，電子特性比物理力更易測量。一旦獲得了微機電系統(tǒng)器件
的電容數(shù)據(jù)，研究人員就能精確計算出其形狀、硬度和受力大小。
更準確地說，可自我校準的微機電系統(tǒng)意味著性能更優(yōu)、更便宜的原子力顯微鏡，能夠開展更有效的生物技術和納米技術研究的高功率實驗室工具，可嗅探出化學威脅的超靈敏傳感器，甚至可用于追蹤或確定犯罪嫌疑人的超靈敏“芯片鼻”。
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