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美研制可自我校準的微機電系統(tǒng)

時間：2010-08-19 07:56:00

關鍵字：微機電系統(tǒng) BSP 器件電子

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[導讀]微機電系統(tǒng)在未來的高科技領域有很大的應用潛力，但目前它們也有一個難以克服的缺陷，那就是計量結果不夠精確，彼此之間存在偏差。據(jù)報道，美國普渡大學的研究人員現(xiàn)已找到了一種方法，可以讓微機電系統(tǒng)進行自我校準

微機電系統(tǒng)在未來的高科技領域有很大的應用潛力，但目前它們也有一個難以克服的缺陷，那就是計量結果不夠精確，彼此之間存在偏差。據(jù)報道，美國普渡大學的研究人員現(xiàn)已找到了一種方法，可以讓微機電系統(tǒng)進行自我校準，這一研究成果有望打開研發(fā)各類超高精度的傳感器和設備的大門，可在醫(yī)學、工程以及國防領域發(fā)揮作用。

普渡大學開發(fā)的這項被稱為微電計量的新技術，可幫助工程師確定施加于微機電系統(tǒng)器件上的力的大小。微電計量技術通過測量微機電系統(tǒng)的電子特性來定義其機械特性，因為在這樣的微觀尺度上，電子特性比物理力更易測量。一旦獲得了微機電系統(tǒng)器件的電容數(shù)據(jù)，研究人員就能精確計算出其形狀、硬度和受力大小。

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