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[導(dǎo)讀]在相關(guān)半導(dǎo)體業(yè)者共同努力下,先進(jìn)制程與立體芯片(3D IC)的商用進(jìn)展迭有突破,不僅將有助延長(zhǎng)摩爾定律為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所帶來(lái)的龐大經(jīng)濟(jì)效益,亦成為今年國(guó)際半導(dǎo)體展(SEMICON Taiwan)上備受矚目的發(fā)展焦點(diǎn)。 日月光集團(tuán)

在相關(guān)半導(dǎo)體業(yè)者共同努力下,先進(jìn)制程與立體芯片(3D IC)的商用進(jìn)展迭有突破,不僅將有助延長(zhǎng)摩爾定律為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)所帶來(lái)的龐大經(jīng)濟(jì)效益,亦成為今年國(guó)際半導(dǎo)體展(SEMICON Taiwan)上備受矚目的發(fā)展焦點(diǎn)。 日月光集團(tuán)總經(jīng)理唐和明有信心3D IC三年內(nèi)量產(chǎn),2.5D IC率先登場(chǎng)補(bǔ)足過(guò)度期。日月光集團(tuán)總經(jīng)理唐和明表示,使用硅基板(Silicon Interposer)的2.5D IC封裝技術(shù)供應(yīng)鏈已大致完備,最快可在2年內(nèi)大量生產(chǎn),將以整合內(nèi)存IC和邏輯IC為主要發(fā)展方向,屆時(shí)將有助半導(dǎo)體技術(shù)順利從40奈米進(jìn)入到28奈米及其以下制程節(jié)點(diǎn)。至于3D IC則可望在3~5年內(nèi)發(fā)生。
唐和明指出,在3D IC正式亮相之前,仍須克服價(jià)格、測(cè)試、制造、供應(yīng)鏈和電子設(shè)計(jì)自動(dòng)化(EDA)工具等多重困難,加上制作門(mén)坎高,屬于高風(fēng)險(xiǎn)技術(shù)。3D IC雖可適用于市場(chǎng)上各種組件,但由于供應(yīng)鏈目前仍未勾勒出清晰的藍(lán)圖,目前市場(chǎng)發(fā)展仍以2.5D IC為優(yōu)先,以目前市場(chǎng)條件而言,2.5D IC已可導(dǎo)入可觀的應(yīng)用領(lǐng)域。
由于行動(dòng)裝置在終端市場(chǎng)炙手可熱,市場(chǎng)對(duì)于體積小、功能多的要求迫使系統(tǒng)級(jí)封裝與3D IC被視為制程微縮的替代方案。
與此同時(shí),臺(tái)積電等半導(dǎo)體制造與設(shè)備供貨商,也不斷朝向20奈米及其以下制程世代邁進(jìn)。由于投入先進(jìn)制程需要相當(dāng)大的成本,加上20奈米制程世代中,許多舊有技術(shù)已無(wú)法支持高階制程的進(jìn)展,因而也蘊(yùn)藏著可觀的設(shè)備商機(jī)。
臺(tái)積電奈米制像技術(shù)發(fā)展處資深處長(zhǎng)林本堅(jiān)指出,在克服20奈米等先進(jìn)制程挑戰(zhàn)的過(guò)程背后,也創(chuàng)造出為數(shù)可觀的設(shè)備商機(jī)。以微影機(jī)臺(tái)為例,不論是極紫外光(EUV)或無(wú)光罩(Maskless)微影技術(shù),均有許多新的發(fā)展契機(jī)。
唐和明強(qiáng)調(diào),3D IC與先進(jìn)制程的發(fā)展并不會(huì)互相抵觸,反倒是相輔相成,因?yàn)樵?D IC中,將須高度仰賴先進(jìn)制程技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)尺寸的微縮,因此,兩者在延續(xù)摩爾定律的發(fā)展上同等重要。


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