本報(bào)訊（記者王碩）辭舊迎新之際，我國(guó)集成電路高端裝備產(chǎn)業(yè)再傳捷報(bào)，由北方微電子公司自主研發(fā)的12英寸28納米等離子硅刻蝕機(jī)全面通過(guò)中芯國(guó)際生產(chǎn)線全流程工藝驗(yàn)證，并獲得客戶訂單，標(biāo)志著中國(guó)集成電路高端裝備國(guó)產(chǎn)化取得新的突破。


集成電路產(chǎn)業(yè)是支撐當(dāng)今科學(xué)技術(shù)發(fā)展的基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，其制造水平是衡量一個(gè)國(guó)家高科技發(fā)展水平的重要標(biāo)志，而用來(lái)加工制造集成電路芯片的工藝設(shè)備更占據(jù)著整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的高端，成為先進(jìn)國(guó)家科技競(jìng)爭(zhēng)能力的標(biāo)志。目前國(guó)際上代工業(yè)進(jìn)入規(guī)模量產(chǎn)的最高水平是28納米技術(shù)，相比40納米技術(shù)，可使集成電路的功耗更小、速度更快、成本更低，主要應(yīng)用于CPU、存儲(chǔ)器、移動(dòng)通信、數(shù)字音視頻等高端芯片產(chǎn)品，目前這類(lèi)高端芯片還主要依賴(lài)進(jìn)口。而目前國(guó)際上也僅有美國(guó)和日本各一家企業(yè)能夠提供滿足28納米生產(chǎn)線的成熟設(shè)備。長(zhǎng)期以來(lái)，高端刻蝕設(shè)備一直是制約我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展的瓶頸， 20納米以下技術(shù)至今仍被西方國(guó)家技術(shù)封鎖和使用限制。此次北方微電子將28納米硅刻蝕設(shè)備推向市場(chǎng)標(biāo)志著我國(guó)在高端集成電路裝備領(lǐng)域第一次實(shí)現(xiàn)與主流生產(chǎn)線的需求同步。