Molecular Imprints 將為半導(dǎo)體大批量制造提供先進(jìn)光刻設(shè)備
[導(dǎo)讀]德克薩斯州奧斯丁2012年9月24日電 /美通社/ -- 奈米圖案成形( http://www.molecularimprints.com )系統(tǒng)與解決方案的市場(chǎng)與技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)商Molecular Imprints, Inc. (MII) 今天宣布,該公司已經(jīng)獲得一份包含多個(gè)壓印( htt
德克薩斯州奧斯丁2012年9月24日電 /美通社/ -- 奈米圖案成形( http://www.molecularimprints.com )系統(tǒng)與解決方案的市場(chǎng)與技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)商Molecular Imprints, Inc. (MII) 今天宣布,該公司已經(jīng)獲得一份包含多個(gè)壓印( http://www.molecularimprints.com )范本的采購(gòu)訂單。這些范本將被整合進(jìn)某半導(dǎo)體設(shè)備公司的光刻機(jī)中,包括 MII 專有的最新 Jet and Flash(TM) 壓印光刻( http://www.molecularimprints.com ) (J-FIL(TM)) 技術(shù),這項(xiàng)技術(shù)具備先進(jìn)半導(dǎo)體儲(chǔ)存設(shè)備大批量生產(chǎn)所需的性能。
(圖示:http://photos.prnewswire.com/prnh/20100504/MILOGO)
Molecular Imprints 總裁兼首席執(zhí)行官 Mark Melliar-Smith 表示:「這份多范本訂單是我們的客戶為 J-FIL在生產(chǎn)前最后準(zhǔn)備階段的使用所投上的信任的一票。我們的設(shè)備和商用面具合作夥伴與內(nèi)部團(tuán)隊(duì)已經(jīng)對(duì)開(kāi)發(fā)活動(dòng)進(jìn)行了成功協(xié)調(diào),并在去年取得了巨大的進(jìn)步,特別是在減少不合格和降低整體擁有成本( http://www.molecularimprints.com ) (CoO) 方面有了很大的改善。我們期待著J-FIL 技術(shù)下一步的商業(yè)化進(jìn)程,希望能為這個(gè)半導(dǎo)體儲(chǔ)存器接下來(lái)幾年的發(fā)展提供支援?!?br>
該公司的 J-FIL(TM) 技術(shù)已經(jīng)展示了24奈米圖案結(jié)構(gòu),其刻線邊緣粗糙度小于2奈米(3西格瑪),臨界尺寸均勻性為1.2奈米(3西格瑪),可擴(kuò)展至10奈米,使用的是簡(jiǎn)單的單一圖案工藝。J-FIL 避免了功率受限的遠(yuǎn)紫外線( http://www.molecularimprints.com ) (EUV) 光源、復(fù)雜的光學(xué)透鏡和鏡面以及利用超靈敏光致抗蝕劑讓圖案成形的難度,這些固有的擁有成本優(yōu)勢(shì)使其非常適合用于半導(dǎo)體儲(chǔ)存器的制造。
Molecular Imprints, Inc. 簡(jiǎn)介
Molecular Imprints, Inc. (MII) 是高解析度與低擁有成本奈米圖案成形系統(tǒng)和解決方案的技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)商。MII 將利用其創(chuàng)新的 Jet and Flash(TM) 壓印光刻 (J-FIL(TM)) 技術(shù)成為半導(dǎo)體儲(chǔ)存設(shè)備大批量圖案成形解決方案的全球市場(chǎng)和技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)商,并為新興市場(chǎng)顯示器、清潔能源、生物技術(shù)等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供支援。MII 透過(guò)提供價(jià)格適中、可相容且可擴(kuò)展至小于10奈米規(guī)格的全方位奈米圖案成形解決方案來(lái)支援奈米刻度圖案的形成。諮詢?cè)斍榛蜿P(guān)注該公司的推特,請(qǐng)閱覽:www.molecularimprints.com。
(圖示:http://photos.prnewswire.com/prnh/20100504/MILOGO)
Molecular Imprints 總裁兼首席執(zhí)行官 Mark Melliar-Smith 表示:「這份多范本訂單是我們的客戶為 J-FIL在生產(chǎn)前最后準(zhǔn)備階段的使用所投上的信任的一票。我們的設(shè)備和商用面具合作夥伴與內(nèi)部團(tuán)隊(duì)已經(jīng)對(duì)開(kāi)發(fā)活動(dòng)進(jìn)行了成功協(xié)調(diào),并在去年取得了巨大的進(jìn)步,特別是在減少不合格和降低整體擁有成本( http://www.molecularimprints.com ) (CoO) 方面有了很大的改善。我們期待著J-FIL 技術(shù)下一步的商業(yè)化進(jìn)程,希望能為這個(gè)半導(dǎo)體儲(chǔ)存器接下來(lái)幾年的發(fā)展提供支援?!?br>
該公司的 J-FIL(TM) 技術(shù)已經(jīng)展示了24奈米圖案結(jié)構(gòu),其刻線邊緣粗糙度小于2奈米(3西格瑪),臨界尺寸均勻性為1.2奈米(3西格瑪),可擴(kuò)展至10奈米,使用的是簡(jiǎn)單的單一圖案工藝。J-FIL 避免了功率受限的遠(yuǎn)紫外線( http://www.molecularimprints.com ) (EUV) 光源、復(fù)雜的光學(xué)透鏡和鏡面以及利用超靈敏光致抗蝕劑讓圖案成形的難度,這些固有的擁有成本優(yōu)勢(shì)使其非常適合用于半導(dǎo)體儲(chǔ)存器的制造。
Molecular Imprints, Inc. 簡(jiǎn)介
Molecular Imprints, Inc. (MII) 是高解析度與低擁有成本奈米圖案成形系統(tǒng)和解決方案的技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)商。MII 將利用其創(chuàng)新的 Jet and Flash(TM) 壓印光刻 (J-FIL(TM)) 技術(shù)成為半導(dǎo)體儲(chǔ)存設(shè)備大批量圖案成形解決方案的全球市場(chǎng)和技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)商,并為新興市場(chǎng)顯示器、清潔能源、生物技術(shù)等產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供支援。MII 透過(guò)提供價(jià)格適中、可相容且可擴(kuò)展至小于10奈米規(guī)格的全方位奈米圖案成形解決方案來(lái)支援奈米刻度圖案的形成。諮詢?cè)斍榛蜿P(guān)注該公司的推特,請(qǐng)閱覽:www.molecularimprints.com。





