用創(chuàng)新方法跨越1x-nm晶片微縮挑戰(zhàn)
Soitec剛剛也宣布,該公司已經能夠為28nm到10nm,甚至更小尺寸電晶體的微縮提供一種低風險過渡方案。該公司是在已經出貨的完全耗盡型(FD)晶圓中,預先加入了一層埋入式氧化層,能讓晶片制造商保留原有的設計,但卻能減少數個制程步驟,因而降低成本──這也是Soitec強調能抵銷FD晶圓較高成本的主要原因。
[!--empirenews.page--]Soitec是憑借著核心的Smart Cut 轉層技術,來制造均勻的超薄覆蓋層,該技術憑借著可在晶圓結構內集成電晶體的特點,能讓晶片制造商更快速地量產。這種晶圓在氧化絕緣埋層上有一層高品質的頂層矽──這兩層材料都已根據電晶體的幾何參數及電絕緣標準進行了最佳化,不僅簡化CMOS制程,并可減少一些生產步驟,開辟新用途并提供降低成本的解決方案。
看來,Soitec所提出的解決方案,似乎能為最近動蕩的半導體產業(yè),提供一個邁向次20nm及1x-nm過程中,遭遇挑戰(zhàn)時的一個思考方向。
半導體產業(yè)最近頗不平靜。稍早前,高通(Qualcomm)因臺積電(TSMC) 28nm產能不足而另尋伙伴,并宣布僅提供一種20nm制程。這隨后引發(fā)了英特爾高層Mark Bohr發(fā)言指稱無晶圓廠代工模式即將崩潰。美國版《EE Times》資深記者也撰文呼吁,大型無晶圓廠應該考慮合資設立專用晶圓廠的可能性。
事實上,現在要去談晶圓專工模式是否難以為繼,或是Fabless們是否應該集資成立自有晶??圓廠,都還太早了。從歷史經驗來看,在轉向每一個新制程節(jié)點時,都會歷經一段時間的陣痛期,然后才會趨于穩(wěn)定。
但這些聲音也凸顯出一個事實,即面對1x-nm甚至更加微縮的幾何尺寸時,所有參與這場競賽的業(yè)者,必須擁有十足的技術實力才能勝出。[!--empirenews.page--]事實上,整個半導體制造業(yè)為了邁向14nm及以下制程節(jié)點,都大力投入各種新技術的研究,以FinFET為例,除了英特爾,臺積電也長久投入研發(fā),而且也打算自14nm起從基于塊狀矽(bulk CMOS)的平面制程正式轉向FinFET。因此,現在要下定論誰贏誰輸,都還為之過早。
Soitec企業(yè)行銷策略部資深副總裁王碩仁指出,晶片制造轉向FinFET是必然趨勢,所有主流晶片制造商都會去做,但重點是最終勝出的廠商是否仍會堅持使用原有技術?
王碩仁并未透露除了合作伙伴ST和IBM以外,究竟遇有哪些IDM或晶圓代工廠采用或有意愿采用其FD晶圓方案,但表示該公司正積極與所有的晶片制造業(yè)者接觸中。而且,“我們的3D FD方案預計也能讓FinFET比業(yè)界預估時程提早一年實現量產,”他表示。
與2D FD方案相同,3D FD方案也能減少至少約4~5個制程步驟,而且在1x-nm節(jié)點還有助于減少patterning數量,他指出。
Soitec已經開始提供針對2D平面和3D FinFET電晶體的FD晶圓產品,目前意法半導體(ST)已開始在新的NovaThor應用處理器采用其平面FD晶圓;而IBM則是為下一代伺服器晶片采用其最新的3D方案。





