新日鐵的SiC基板產(chǎn)品群（點(diǎn)擊放大）

基板質(zhì)量出色（點(diǎn)擊放大）
新日本制鐵（新日鐵）計(jì)劃在2012年3月底之前，將新一代功率半導(dǎo)體用4英寸（100mm）以下口徑的SiC基板產(chǎn)能增至目前約3倍的1000枚/月。為滿足SiC基板的需求擴(kuò)大，“打算將原計(jì)劃提前約一年進(jìn)行增產(chǎn)”（新日鐵材料常務(wù)董事SiC晶圓部部長伊藤睿）。

據(jù)新日鐵介紹，目前該公司的SiC基板產(chǎn)能為300～400枚/月。其中大部分不是用于最終產(chǎn)品的，而是作為評(píng)測樣品提供。全球整體的產(chǎn)能目前為2000枚/月左右，預(yù)計(jì)2014～2015年將達(dá)到6000枚/月。為了應(yīng)對(duì)需求增加，“新日鐵打算首先建立1000枚/月的穩(wěn)定供應(yīng)體制”（伊藤）。

此外,新日鐵還宣布，計(jì)劃2011年內(nèi)上市在SiC塊體基板上生長外延薄膜的SiC外延基板?！皩⒃?011年內(nèi)建立只要客戶要求就能銷售的體制”（伊藤）。預(yù)計(jì)將支持4英寸（100mm）以內(nèi)的口徑。

關(guān)于6英寸（150mm）口徑SiC基板的產(chǎn)品化計(jì)劃，“計(jì)劃在2011年度內(nèi)供貨樣品”（新日鐵技術(shù)開發(fā)本部尖端技術(shù)研究所新材料研究部長大橋渡）。預(yù)計(jì)量產(chǎn)開始時(shí)間在2012年以后?！靶氯砧F將趕在SiC功率半導(dǎo)體市場全面啟動(dòng)的2015年前后量產(chǎn)6英寸基板。在汽車和鐵路領(lǐng)域，采用SiC基板的好處尤其大”（伊藤）。（記者：大下 淳一）