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大日本網(wǎng)屏制造投產(chǎn)150mm晶圓外觀檢測(cè)裝置

時(shí)間：2010-12-07 06:14:00

關(guān)鍵字：晶圓 DNS 器件功率半導(dǎo)體

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[導(dǎo)讀]大日本網(wǎng)屏制造（DNS）開(kāi)發(fā)出了晶圓外觀檢測(cè)裝置“ZI-2000”。在“SEMICON Japan 2010”（2010年12月1～3日，幕張Messe會(huì)展中心）上展出的同時(shí)，還將從2010年12月開(kāi)始銷(xiāo)售。 DNS為了強(qiáng)化LED、太陽(yáng)能電池、充電電

大日本網(wǎng)屏制造（DNS）開(kāi)發(fā)出了晶圓外觀檢測(cè)裝置“ZI-2000”。在“SEMICON Japan 2010”（2010年12月1～3日，幕張Messe會(huì)展中心）上展出的同時(shí)，還將從2010年12月開(kāi)始銷(xiāo)售。

DNS為了強(qiáng)化LED、太陽(yáng)能電池、充電電池和功率半導(dǎo)體等“綠色器件”領(lǐng)域，強(qiáng)化了制造這些器件的裝置開(kāi)發(fā)項(xiàng)目“FRONTIER”。作為其中的一環(huán)，該公司曾于2010年6月發(fā)布了適合制造LED和功率半導(dǎo)體使用的小口徑晶圓的批量晶圓清洗裝置“Compact Wet Station CW-1500”。

作為第二款產(chǎn)品，DNS此次又推出了晶圓外觀檢測(cè)裝置“ZI-2000”。該裝置主要面向多用于綠色器件的150mm晶圓。特點(diǎn)是，無(wú)論芯片面積和每枚晶圓的芯片數(shù)是多少，每枚晶圓的檢測(cè)時(shí)間可以控制在1分鐘以內(nèi)。檢測(cè)方式方面，采用對(duì)比晶圓上的圖案的方式。該方式采用了已用于該公司的印刷基板檢測(cè)裝置“PI系列”的比較算法。另外，采用減少了功能的簡(jiǎn)單裝置設(shè)計(jì)，提高了性價(jià)比。（記者：長(zhǎng)廣恭明）

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