[導(dǎo)讀]今年以來幾乎也沒有聽到有關(guān)任何450mm硅片進展的報道,雖然有些純?nèi)皇菆蟮?,也可能是傳聞,但是可以相信從技術(shù)上450mm仍在進步。在近期舉行的美國半導(dǎo)體展覽會上,大部分設(shè)備制造商仍是表示由于技術(shù)太貴,所以過渡到
今年以來幾乎也沒有聽到有關(guān)任何450mm硅片進展的報道,雖然有些純?nèi)皇菆蟮溃部赡苁莻髀?,但是可以相信從技術(shù)上450mm仍在進步。在近期舉行的美國半導(dǎo)體展覽會上,大部分設(shè)備制造商仍是表示由于技術(shù)太貴,所以過渡到下一代450mm硅片還不是時候。
除了那些不切實際的報道之外,在450mm進展中也有一些突破。一種在產(chǎn)業(yè)與設(shè)備制造商之間新的成本分擔計劃開始呈現(xiàn),它可能加快 450mm硅片推向市場。其中如SEMI近期又公布一些新的450mm標準。
產(chǎn)業(yè)界的目標是建立一套450mm硅片的供應(yīng)鏈,這是領(lǐng)導(dǎo)450mm硅片的國際Sematech協(xié)會中芯片制造部副總裁ScottKramer的說法。一家從事設(shè)備自動化的公司CrossingAutomationInc的執(zhí)行總裁BobMacKnight認為,從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)整體上考慮,450mm硅片有一定必要性。KLATencor的市場部總經(jīng)理BrainTrafas認為,盡管至此還未收到450mm設(shè)備的訂單,但是從它的感覺在未來1-2個季度內(nèi)會有大的突破。
Trafas還不能透露所謂真正的突破究竟是什么?有人懷疑可能是intel,它要公布它的450mm引導(dǎo)線項目計劃。而有些人認為這僅是另一個迷人的謊言,450mm硅片可能要繼續(xù)推遲。
近時期來,由于研發(fā)費用太高,設(shè)備制造商實際上已經(jīng)停止該項目的進展?,F(xiàn)在大多數(shù)人確信有三家公司,Intel、TSMC及Samsung 正在努力推動設(shè)備制造商向下一代設(shè)備過渡。對于這些設(shè)備制造商似乎別無選擇,因為這三家是全球最大的投資商。
三家公司曾表示在2012年將推進450mm引導(dǎo)線的建設(shè),有些人認為450mm量產(chǎn)在2015年,甚至有人認為在2018年。但也有部分人相信由于研發(fā)成本太高,450mm生產(chǎn)線根本不可能會發(fā)生。
無人愿意負擔高額的設(shè)備研發(fā)費用,到今天甚至連抬轎子的也不多見,然而國際Sematech正在推動與設(shè)備制造商共同發(fā)起的新的成本分擔計劃,目的是加快450mm硅片的進程。
按芯片制造部的報道,囯際Sematech(ISMI)正接受來自工藝和計量設(shè)備制造商關(guān)于450mm設(shè)備過渡計劃的建議書,它將作為 ISMI的成本分擔計劃中的一部分。我們要理解這些公司為實現(xiàn)向450mm過渡而帶來的標準,技術(shù)及商業(yè)上的挑戰(zhàn)。
近年來Sematech已經(jīng)對于450mm設(shè)備及生產(chǎn)線方面作了許多工作,并清晰的給予它們定義。緊迫的事如何讓設(shè)備制造商能參與進來。在 SEMICONWest 上與Kramer談到,目前協(xié)會的芯片制造部并未透露那些設(shè)備與材料供應(yīng)商已經(jīng)加入450mm計劃,其中有些即便參與也可能是比較勉強。
國際Sematech的450mm項目經(jīng)理TomJefferson談到,之前所謂的450mm設(shè)備開發(fā)實際上近乎“零”,從現(xiàn)在起可能才會有人加入。
KLATencor的Trafas認為,目前有關(guān)450mm的標準公布的很少,只有當那一家芯片制造商宣布開始450mm引導(dǎo)線及準備采用那類工藝技術(shù)時才可認為是真正的啟步。因為只有如此作為設(shè)備制造商才能落實設(shè)備的要求及指標。
按Semico分析師最新的報告,在任何情況下爭論可能來自技術(shù)方面。目前來看半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)總有一天會釆用450mm的可能性越來越大。盡管離開初時曾制定的目標在2012年開始量產(chǎn)的目標尚比較遙遠。
按照VLSI研究公司的說法,也坦誠存在另一種觀點,認為由于成本等因素未來向450mm芯片生產(chǎn)線過渡仍是沒有時間表。按公司估計至少目前為發(fā)展450mm設(shè)備需要10億美元來開發(fā)早期設(shè)備樣品的資金,對于協(xié)會來說尚無法落實。
國際Sematech正積極地采取各種方法希望在2012年能加快實現(xiàn)450mm硅片的引導(dǎo)線項目。近期協(xié)會中的芯片制造部在德州 Austin的450mm引導(dǎo)線的潔凈廠房中正在安裝部分最先能提供的450mm設(shè)備,包括一些測量及濕法清洗設(shè)備,并希望盡快的進入測試硅片階段。
Sematech首次披露,450mm試制線中利用BrooksAutomation的傳輸設(shè)備handlers及EntegrisInc 的片盒。日本的礦業(yè)&金屬公司宣稱己能提供450mm多晶硅片。
在今年的設(shè)備制造商會上,Sematech作了報告,并重申要實現(xiàn)450mm的目標。
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