[導(dǎo)讀]諾發(fā)系統(tǒng)(Novellus)日前宣布,已經(jīng)在VECTOR PECVD平臺(tái)上開發(fā)出具有晶圓對(duì)晶圓間膜厚變異小于2埃的精密抗反射層薄膜(ARL)。新制程采用VECTOR特有的多重平臺(tái)序列式沉積工藝技術(shù)架構(gòu)(MSSP),沉積出的ARL薄膜具有格外
諾發(fā)系統(tǒng)(Novellus)日前宣布,已經(jīng)在VECTOR PECVD平臺(tái)上開發(fā)出具有晶圓對(duì)晶圓間膜厚變異小于2埃的精密抗反射層薄膜(ARL)。新制程采用VECTOR特有的多重平臺(tái)序列式沉積工藝技術(shù)架構(gòu)(MSSP),沉積出的ARL薄膜具有格外均勻的薄膜厚度、折射率(n)和消光系數(shù)(K)。這種新薄膜已超越了次32nm微顯影的要求,且優(yōu)于由平行式單平臺(tái)沉積技術(shù)所制造出來(lái)的薄膜。
成功控制關(guān)鍵尺寸(CD)的變化量是對(duì)32及次32奈米微顯影不可或缺的一環(huán)。2009年國(guó)際半導(dǎo)體技術(shù)藍(lán)圖(ITRS)中建議總關(guān)鍵尺寸(CD)的變異量應(yīng)控制在小于1nm,以確保超高性能電路的功能性。如高端相位偏移遮蔽復(fù)合光學(xué)近端校正的先進(jìn)的微顯影CD控制設(shè)備,已成為極其昂貴的投資,以便達(dá)到32奈米組件制造的嚴(yán)格CD控制需求。
另外有一個(gè)有效且較不昂貴被稱為「劑量補(bǔ)償」的技術(shù)被應(yīng)用來(lái)控制微顯影技術(shù)的變異量,晶圓上特定區(qū)域的照射劑量被軟件運(yùn)算所補(bǔ)償調(diào)整,為了確保適當(dāng)?shù)膭┝垦a(bǔ)償,這個(gè)技術(shù)成功的關(guān)鍵在于需要在每一片晶圓上應(yīng)用可精密控制膜厚及光學(xué)特性的抗反射層薄膜。
諾發(fā)公司的工程師已經(jīng)在VECTOR機(jī)臺(tái)上開發(fā)出一種新的ARL制程技術(shù),且提供了這些需要使用光譜吸收劑量補(bǔ)償控制策略的晶圓間有著更一致的效果。新的制程技術(shù),還連結(jié)了VECTOR機(jī)臺(tái)本身角度精準(zhǔn)度小于0.3毫米,以確保預(yù)期的薄膜性質(zhì)符合32奈米微影技術(shù)的需求。
VECTOR的ARL薄膜無(wú)論是在晶圓本身或是晶圓與晶圓之間都有較低的差異性,且擁有著晶圓分布的可預(yù)測(cè)性。相較之下,使用單站機(jī)臺(tái)沉積的ARL薄膜會(huì)有極大的晶圓間差異,它將會(huì)危及光譜吸收補(bǔ)償控制策略的制程。
此外,諾發(fā)公司的ARL制程只有1.6A的點(diǎn)對(duì)點(diǎn)厚度變化,或0.34%的厚度差異。而類似雙單站沉積ARL薄膜的厚度差異卻達(dá)到了7.3A(或是1.5% 厚度差異),誤差超過(guò)了諾發(fā)公司的制程4倍之大。在這本來(lái)就已經(jīng)是雙單站沉積形式的機(jī)臺(tái)因素中,這種變化可能過(guò)于懸殊去影響到光譜吸收補(bǔ)償制程的CD控制。
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在這篇文章中,小編將對(duì)CPU中央處理器的相關(guān)內(nèi)容和情況加以介紹以幫助大家增進(jìn)對(duì)CPU中央處理器的了解程度,和小編一起來(lái)閱讀以下內(nèi)容吧。
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CPU
中央處理器
晶圓
10月18日消息,據(jù)央視網(wǎng)財(cái)經(jīng)頻道報(bào)道,近日,一顆重達(dá)303.1克拉的黃色梨形鉆石在迪拜蘇富比拍賣行展出。這顆黃鉆被美國(guó)寶石學(xué)院評(píng)定為現(xiàn)今全球最大的無(wú)瑕疵鉆石,市場(chǎng)估價(jià)約為1500萬(wàn)美元(約合人民幣1億多元)。瑕疵,通常...
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反射
智原科技今日宣布其支持三星14納米LPP工藝的IP硅智財(cái)已在三星SAFE? IP平臺(tái)上架,提供三星晶圓廠客戶采用。
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晶圓
芯片
臺(tái)積電(TSMC)公布2022年第三季度業(yè)績(jī)。第三季度合并營(yíng)收為6131.4億元新臺(tái)幣,上年同期為4146.7億元新臺(tái)幣,同比增長(zhǎng)47.9%,環(huán)比增長(zhǎng)14.8%;凈利潤(rùn)2808.7億元新臺(tái)幣,上年同期新臺(tái)幣1562.6億...
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臺(tái)積電
晶圓
先進(jìn)制程
TSMC
據(jù)業(yè)內(nèi)消息,近日中芯國(guó)際投資超75億的12英寸晶圓生產(chǎn)線的項(xiàng)目在天津西青開工建設(shè)。
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中芯國(guó)際
12英寸
晶圓
無(wú)論是手機(jī)端還是PC端,今年上半年都迎來(lái)利潤(rùn)和出貨量的大幅下降。根據(jù)小米聯(lián)想等各家公司的年中財(cái)報(bào)來(lái)說(shuō),主體業(yè)務(wù)和產(chǎn)品出貨量紛紛出現(xiàn)大幅下降,整個(gè)產(chǎn)業(yè)的供應(yīng)鏈元器件市場(chǎng)也是紛紛降價(jià),上下游生存空間均進(jìn)一步變窄,預(yù)計(jì)下半年消...
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消費(fèi)電子
芯片
晶圓
由于金剛砂具有硅基臨界擊穿電場(chǎng)的10倍之多,且同時(shí)有極佳的導(dǎo)熱性、電子密度、遷移率等特點(diǎn),所以使得金剛砂成為晶圓發(fā)展的必經(jīng)之路,而8英寸金剛砂相比于現(xiàn)階段的4~6英寸金剛砂會(huì)有更大的利潤(rùn)和市場(chǎng),所以目前國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體行業(yè)已...
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晶圓
金剛砂
摩爾定律是英特爾創(chuàng)始人之一戈登·摩爾的經(jīng)驗(yàn)之談,其核心內(nèi)容為:集成電路上可以容納的晶體管數(shù)目在大約每經(jīng)過(guò)18個(gè)月到24個(gè)月便會(huì)增加一倍。換言之,處理器的性能大約每?jī)赡攴槐叮瑫r(shí)價(jià)格下降為之前的一半。
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晶圓
代工
成熟制程
(全球TMT2022年8月19日訊)集成電路制造和技術(shù)服務(wù)提供商長(zhǎng)電科技公布了2022年半年度業(yè)績(jī)報(bào)告。財(cái)報(bào)數(shù)據(jù)顯示,上半年長(zhǎng)電科技實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入人民幣155.9億元,同比增長(zhǎng)12.8%;實(shí)現(xiàn)凈利潤(rùn)15.4億元,業(yè)績(jī)表現(xiàn)...
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長(zhǎng)電科技
微電子
手機(jī)芯片
晶圓
(全球TMT2022年8月5日訊)2022年7月25日,泉州三安集成取得IATF16949體系認(rèn)證證書,該證書標(biāo)志著泉州三安集成的質(zhì)量管理體系就射頻前端芯片和濾波器的設(shè)計(jì)和制造符合IATF16949:2016相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)要...
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集成
濾波器
封裝
晶圓
(全球TMT2022年8月1日訊)MPI Corporation的先進(jìn)半導(dǎo)體測(cè)試部門是半導(dǎo)體測(cè)試解決方案的行業(yè)領(lǐng)軍者及創(chuàng)新先鋒,該部門啟動(dòng)了帶有WaferWallet?MAX的TS3500-SE自動(dòng)晶圓探針測(cè)試系統(tǒng)向一...
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RATIO
WAFER
PI
晶圓
國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體發(fā)展在矛盾的市場(chǎng)環(huán)境中踩下了油門。近年半導(dǎo)體國(guó)產(chǎn)替代浪潮刺激著大量玩家蜂擁而入,從半導(dǎo)體材料、設(shè)備一路蔓延到芯片設(shè)計(jì)、晶圓制造及封測(cè),都回響著國(guó)產(chǎn)替代的口號(hào),前景一片大好。
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晶圓
內(nèi)資
芯片
要說(shuō)現(xiàn)在芯片代工廠哪家好,相信絕大部分人都知道是臺(tái)積電。高精度的制程工藝讓其出貨質(zhì)量非常穩(wěn)定,口碑也非常不錯(cuò),近幾年的產(chǎn)能都是拉滿的。
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三星電子
晶圓
代工
在先進(jìn)芯片工藝上,美國(guó)廠商也落后于臺(tái)積電、三星了,這兩家量產(chǎn)或者即將量產(chǎn)的7nm、5nm及3nm遙遙領(lǐng)先,然而美國(guó)還有更多的計(jì)劃,并不一定要在先進(jìn)工藝上超越它們,甚至準(zhǔn)備逆行,復(fù)活90nm工藝,制造出來(lái)的芯片性能是7nm...
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晶圓
三星
臺(tái)積電
SkyWater
(全球TMT2022年7月8日訊)隨著更多的科技公司殺入汽車賽道,智能汽車成為科技行業(yè)公認(rèn)的,繼智能手機(jī)之后的,下一個(gè)變革領(lǐng)域,是全場(chǎng)景智慧生活中的一個(gè)重要切入點(diǎn)。 而想要汽車逐漸走向智能化,激光雷達(dá)在其中發(fā)揮著...
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激光雷達(dá)
脈沖
OV
反射
(全球TMT2022年6月29日訊)專注于工業(yè)4.0制造執(zhí)行系統(tǒng)(MES)的供應(yīng)商凱睿德制造宣布,SwissSEM已選擇他們優(yōu)化其生產(chǎn)流程。SwissSEM成立于2019年,是賽晶科技集團(tuán)的全資子公司,在嘉善擁有生產(chǎn)基...
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SWISS
SE
晶圓
自動(dòng)化
(全球TMT2022年6月28日訊)專門開發(fā)有機(jī)半導(dǎo)體、顯示器材料和零部件的韓國(guó)公司CLAP在6月28日宣布,該公司成功地為OLED顯示器所用的相位差膜進(jìn)行了本地化。CLAP所擁有的整體解決方案,能夠創(chuàng)造定制化的液晶材...
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LED顯示器
相位差
OLED顯示
反射
協(xié)手開發(fā)生產(chǎn)業(yè)界領(lǐng)先的多樣化光電產(chǎn)品
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IQE
半導(dǎo)體
晶圓
6月21日消息,據(jù)商業(yè)和技術(shù)資訊電子材料咨詢機(jī)構(gòu)《TECHCET》報(bào)告顯示,2021 年全球電子特氣市場(chǎng)營(yíng)收達(dá)63 億美元,預(yù)計(jì)2022 年將再成長(zhǎng)8%,到2026 年年復(fù)合成長(zhǎng)率高達(dá)9%。增長(zhǎng)的主要原因歸功于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)...
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晶圓
晶圓制造
特殊氣體
集成電路英語(yǔ):integrated circuit,縮寫作 IC;或稱微電路(microcircuit)、微芯片(microchip)、晶片/芯片(chip)在電子學(xué)中是一種將電路(主要包括半導(dǎo)體設(shè)備,也包括被動(dòng)組件等)...
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晶圓
芯片
半導(dǎo)體