2014年1月18-19日，由國家三部委（科技部、財政部、發(fā)改委）和北京市聯(lián)合組織，02專項實施管理辦公室牽頭，對北京中科信公司承擔的“90-65納米大角度離子注入機研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目進行驗收，來自裝備、工藝、集成電路制造、財務等領域的國家層面的專家和各級領導40余人參加了項目驗收工作。

驗收組首先聽取了項目、各課題的任務及財務完成情況匯報，然后進行現(xiàn)場檢查、測試、資料審查、質(zhì)詢與討論。驗收組一致認為：中科信公司全面完成了合同書規(guī)定的研發(fā)內(nèi)容，成功開發(fā)出適用極大規(guī)模集成電路12英寸生產(chǎn)線90-65納米工藝溝道工程和阱注入制程的大角度（中束流）離子注入機，設備的各項技術指標達到合同任務書的考核要求。驗收組同意該項目通過驗收。

“90-65納米大角度離子注入機研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目在實施過程中，以技術突破和產(chǎn)業(yè)化為核心，以人才隊伍培育為重點，以國內(nèi)先進的集成電路生產(chǎn)線為工藝平臺，注重知識產(chǎn)權體系的建立與完善，建立了集設計、研發(fā)、制造、調(diào)試、服務于一體的裝備開發(fā)體系，實現(xiàn)了核心零部件國產(chǎn)化與整機制造工程化，同時工藝超合同要求延伸了兩個技術代（到55納米與28納米），該項目以高分通過驗收，標志著我國離子注入裝備從關鍵技術到系統(tǒng)設計均實現(xiàn)了自主創(chuàng)新，并從消化吸收階段跨越到正向設計階段。彰顯了中國電科在集成電路裝備領域占領戰(zhàn)略制高點的決心與實力。