據(jù)國(guó)外媒體報(bào)道，IBM日前宣布，已成功開(kāi)發(fā)全球首款晶圓級(jí)石墨集成電路，由于操作頻率可達(dá)10千兆赫，將能提升目前無(wú)線設(shè)備的效能，并開(kāi)創(chuàng)新的應(yīng)用可能性。
這項(xiàng)研究成果已刊登于這一期的科學(xué)雜志中。IBM表示，這項(xiàng)新技術(shù)除了可在傳統(tǒng)頻段提升手機(jī)和收發(fā)器訊號(hào)的效能外，更能讓移動(dòng)設(shè)備執(zhí)行更高頻率的全新應(yīng)用。而對(duì)國(guó)防和醫(yī)療研究人員來(lái)說(shuō)，可運(yùn)用它來(lái)開(kāi)發(fā)隱形武器或無(wú)輻射風(fēng)險(xiǎn)的醫(yī)療影像技術(shù)。
IBM的這次成功開(kāi)發(fā)的石墨芯片包含了一個(gè)石墨電晶體以及一對(duì)電感器，并將其緊密整合在碳化硅(SiC)的晶圓上，克服了傳統(tǒng)以來(lái)晶圓級(jí)石墨集成電路的制造難題。
IBM表示，石墨集成電路的制造過(guò)程，首先是先對(duì)碳化硅晶圓施以加溫退火處理，在晶圓上生成厚度一致的石墨層，然后再通過(guò)四個(gè)金屬層和兩個(gè)氧化層，制作出芯片上石墨電晶體，電感器和其互連。