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[導讀]據(jù)日經(jīng)BP社報道,透明非結晶氧化物半導體(TAOS)作為“后非結晶硅(Post Amorphous Si)”備受期待。使用TAOS的氧化物半導體TFT顯示器究竟能否成為現(xiàn)實?在2月23日舉行的“FPD International 2009預備研討會”上,非

據(jù)日經(jīng)BP社報道,透明非結晶氧化物半導體(TAOS)作為“后非結晶硅(Post Amorphous Si)”備受期待。使用TAOS的氧化物半導體TFT顯示器究竟能否成為現(xiàn)實?在2月23日舉行的“FPD International 2009預備研討會”上,非結晶IGZO(In、Ga、Zn、O)發(fā)明人——東京工業(yè)大學教授細野秀雄與與會者進行了交流。

        與非結晶硅相比,TAOS能夠通過大量電流,因此業(yè)界最初考慮將其應用于作為電流驅動裝置的有機EL顯示器所使用的底板中。不過,有機EL顯示器要達到實用水平,“與當初的設想相比,還需等上更長的時間”(細野)。細野表示,除了有機EL以外,TAOS還有望實現(xiàn)其他應用。

        細野列舉了兩例充分利用TAOS特點的顯示器應用實例。一是在彩色電子紙領域中的應用。使用TAOS,便可在彩色濾光片上直接形成TFT陣列,省去使彩色濾光片與TFT對準位置的麻煩。凸版印刷正在開發(fā)采用這一概念的彩色電子紙。

        另一個是在液晶顯示中的應用。液晶顯示屏支持120Hz驅動及240Hz驅動已經(jīng)成為必備條件,并且朝著超越全高清向4K×2K及8K×4K的多像素化發(fā)展,這時100英寸級大屏幕液晶再由非結晶Si-TFT來驅動就會變得很困難。此時TAOS就派上了用場。而且,與非結晶硅不同,因堿離子混入而影響特性的情況較少,因此可使用廉價的鈉鈣玻璃作為底板材料。至于鈉鈣玻璃的熱收縮問題,使用在彩色濾光片上直接形成TFT陣列的上述技術即可避免。

        盡管有如此豐富的應用提案,但Oana咨詢公司的小穴保久根據(jù)其在非結晶硅TFT液晶技術等領域的經(jīng)驗指出,“要培育TAOS并使之取得飛躍,還有一些事情必須要做”。“在材料、裝置乃至應用領域,建立起包括產(chǎn)官學在內(nèi)的雄厚基礎,形成合作機制將十分重要”(小穴)。因此,小穴指出,“說到使用TAOS的產(chǎn)品這一‘夢想’,眼下要意識到的是將所有領域的研究人員吸引到這一看似不賺錢的市場中來”。
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