IC表面可進行傳感？ChipSensors展示IC“電介質傳感器”技術
[導讀]無晶圓芯片公司ChipSensors聲稱已研制出一種新技術允許IC的表面進行溫度，濕度，某些氣體和微生物的傳感。 該專利技術利用了在標準的亞微米CMOS制程中采用了低K層介質材料作為金屬連線間的絕緣體。這種材料是多孔的，
無晶圓芯片公司ChipSensors聲稱已研制出一種新技術允許IC的表面進行溫度，濕度，某些氣體和微生物的傳感。
該專利技術利用了在標準的亞微米CMOS制程中采用了低K層介質材料作為金屬連線間的絕緣體。這種材料是多孔的，通過被感應的介質的選擇性滲透和阻塞進入，材料的介電常數(shù)發(fā)生變化，形成傳感器。通常IC的表面是被環(huán)境條件所影響，相似的，低K層介質材料的氣孔是進行表面處理的。然而，ChipSensors指出通過讓環(huán)境影響特定的區(qū)域導致電特性可以同多片上電路被準確檢測到。
該技術同時還可以讓單芯片的無線傳感器通過無線電路在相同的芯片上傳輸測量信號。目前，該公司的基于芯片的傳感器和無芯片的無線連接到膝上電腦進行實時測量的演示。
潮氣的侵入通常被認為是決定IC長期穩(wěn)定性的因素。ChipSensors在用之前沒有考慮是否需要防止環(huán)境影響而進行封裝，或者是它的傳感器壽命的長度。
該公司演示了在130納米CMOS制程中的IC制造技術，并表示該技術可以作為一種在管理建立和環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)中替代電機恒溫器和濕度器的一種全電子化器件。ChipSensors現(xiàn)今也開發(fā)出這種傳感器超低能耗無線版本——可以整合所有的信號情況，微控制器，存儲器等等作為傳感器在同一芯片上。
ChipSensors在2006年成立，專于無線傳感器產品，第一個傳感器原型開發(fā)在0.18微米和0.13微米上。
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