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[導(dǎo)讀]“硅CMOS技術(shù)完全可以擴(kuò)展至10nm以下。如果能夠充分導(dǎo)入三維NAND閃存技術(shù)、可變電阻式存儲(chǔ)器(ReRAM)以及EUV曝光技術(shù)等新構(gòu)造、新材料和新工藝,硅CMOS技術(shù)將繼續(xù)保持其主導(dǎo)地位”。半導(dǎo)體制造技術(shù)國際會(huì)議

“硅CMOS技術(shù)完全可以擴(kuò)展至10nm以下。如果能夠充分導(dǎo)入三維NAND閃存技術(shù)、可變電阻式存儲(chǔ)器(ReRAM)以及EUV曝光技術(shù)等新構(gòu)造、新材料和新工藝,硅CMOS技術(shù)將繼續(xù)保持其主導(dǎo)地位”。

半導(dǎo)體制造技術(shù)國際會(huì)議“2010 IEEE InternatiONal Electron Devices Meeting(IEDM 2010)”于2010年12月6日在美國舊金山開幕,韓國三星尖端技術(shù)研究所(SAMSung Advanced Institute of Technology,SAIT)所長Kinam Kim在整場演講中率先上臺(tái),充滿自信地發(fā)表了本文開篇那番話。

在DRAM和NAND閃存等方面,目前正在探討伴隨制造技術(shù)微細(xì)化而出現(xiàn)的多種技術(shù)課題。Kim呼吁與會(huì)人士必須勇敢面對這些課題,并在今后通過導(dǎo)入多種新技術(shù)來加以克服。

在不少人認(rèn)為難以微細(xì)化至20nm以下工藝的DRAM方面,Kim表示2010~2015年,在4F2構(gòu)造存儲(chǔ)器單元、硅貫通電極(TSV)以及DRAM芯片上集成光輸入輸出電路等將取得進(jìn)展。并預(yù)計(jì)接下來在2020年以后,通過自旋存儲(chǔ)器(Spin-Based Memory)技術(shù)的實(shí)用化,大容量隨機(jī)存儲(chǔ)器將繼續(xù)取得進(jìn)步。

在有人認(rèn)為現(xiàn)有浮柵構(gòu)造同樣會(huì)在20nm工藝前后出現(xiàn)微細(xì)化極限的NAND閃存方面,Kim介紹了旨在打破極限的技術(shù)開發(fā)工作。首先,要想實(shí)現(xiàn)相當(dāng)于20nm以下工藝的高集成化,就必須導(dǎo)入三維單元積層技術(shù)。Kim表示,由此“可以利用舊幾代的制造技術(shù),實(shí)現(xiàn)與普通二維單元微細(xì)化至10nm以下工藝范圍時(shí)相當(dāng)?shù)母呒啥?rdquo;。

Kim指出,2015年以后作為三維NAND閃存的后續(xù)產(chǎn)品,主角將有可能轉(zhuǎn)為采用氧化物材料等的新型非易失性存儲(chǔ)器。Kim高度評(píng)價(jià)了ReRAM的前景,認(rèn)為“后NAND閃存的最有力候補(bǔ)是ReRAM。另外,在新一代通用存儲(chǔ)器(Universal Mmemory)中最有希望的估計(jì)還是ReRAM”。

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