晶圓代工龍頭臺積電5日宣布加入微影設備大廠荷商艾司摩爾（ASML）的「客戶聯(lián)合投資專案」（CustomerCo-InvestmentProgram），總投資金額高達11.14億歐元（約新臺幣407億元），包括取得ASML的5％股權，并加入極紫外光（EUV）及18寸晶圓設備的研發(fā)計畫。

根據(jù)臺積電及ASML達成協(xié)議，臺積電將投資ASML約8.38億歐元，在ASML第2階段釋股中，取得該公司5％股權，每股認購價格與英特爾相同。臺積電承諾未來5年共投入2.76億歐元，加入ASML發(fā)起的18寸晶圓設備及EUV微影技術研發(fā)基金，占該基金出資額約2成。

英特爾7月宣布參與ASML研發(fā)基金及股權投資計畫，總投資額高達33億歐元（約41億美元），臺積電此次僅投入11.14億歐元，亦即只用英特爾總投資額的三分之一，就獲得與英特爾相同效益。

臺積電執(zhí)行副總經理暨共同營運長蔣尚義表示，縮小集成電路尺寸目前所面臨的最大挑戰(zhàn)之一，在于如何有效控制日益攀升的晶圓制造成本。臺積電相信挹注ASML研發(fā)經費，將確保并加快EUV微影技術的開發(fā)，同時也能提高既有光學微影工具的效能，促進18寸（450mm）晶圓制造技術的快速發(fā)展。

蔣尚義強調，這項投資及合作開發(fā)，有助半導體產業(yè)控制晶圓成本，保障摩爾定律持續(xù)演進及可帶來的經濟效益。

根據(jù)臺積電的規(guī)劃，預計在2015～2016年間，位于中科的Fab15廠第5期工程，將首度引入18寸晶圓生產線，至于EUV制程若順利開發(fā)，最快將在14納米世代投入量產。

ASML執(zhí)行長EricMeurice指出，臺積電加入「客戶聯(lián)合投資專案」，目的是為了讓關鍵微影技術的發(fā)展順利且加速進行，這些技術不僅將使投資伙伴受益，整個半導體產業(yè)也得以受惠。