以基于MEMS技術(shù)的快門(mén)制造彩色顯示器的風(fēng)險(xiǎn)企業(yè)美國(guó)Pixtronix宣布,計(jì)劃今后將光導(dǎo)出效率提高到80%以上。該公司參展了“FPD International 2008”。
該公司的技術(shù)是以MEMS快門(mén)對(duì)背照燈發(fā)出的光進(jìn)行開(kāi)關(guān)操作,以顯示彩色視頻。能夠在與非晶硅TFT液晶面板生產(chǎn)線基本相同的工廠量產(chǎn)。由于其結(jié)構(gòu)為背照燈上面不重疊彩色濾光片和偏光版等光學(xué)薄膜,因此亮度和對(duì)比度比液晶面板出色。并且耗電量也比液晶面板低。
該公司目前的試制品的開(kāi)口率為12%,對(duì)背照燈發(fā)出的光能導(dǎo)出60%。與開(kāi)口率相比,之所以能夠提高導(dǎo)出效率,是因?yàn)樵诳扉T(mén)和背照燈之間的空間內(nèi)壁上形成了反射膜。在非開(kāi)口部分反射的光再反射,最終大部分從開(kāi)口部分射出。反射膜目前由Cr形成,其反射率為95%。
該公司今后將把光導(dǎo)出效率提高到80%以上。將改進(jìn)快門(mén)結(jié)構(gòu)、將開(kāi)口率提高15%等加以實(shí)現(xiàn)。目前已經(jīng)完成開(kāi)發(fā),并且已對(duì)80%的效率進(jìn)行了驗(yàn)證。
該公司計(jì)劃于2010年初開(kāi)始量產(chǎn)。屆時(shí)將利用液晶面板工廠。MEMS快門(mén)的制造需要追加工藝。但因只需3片掩膜,該部分的制造成本可控制在只上升8%左右??扉T(mén)制造將采用以光刻膠為犧牲層的表面微加工技術(shù),而需要追加的制造裝置只有用來(lái)去除光刻膠的等離子灰化裝置。
(編輯:xiaoyao)
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