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Veeco發(fā)表生產(chǎn)HB LED的MaxBright™ GaN MOCVD

時(shí)間：2011-02-11 00:33:34

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[導(dǎo)讀]日前，Veeco宣布，其引進(jìn)的TurboDisc®MaxBright™氮化鎵（GaN）有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法（MOCVD）多反應(yīng)器系統(tǒng)，用于生產(chǎn)HBled。 Veeco介紹，MaxBright利用Veeco的FlowFlange®集群架構(gòu)自動(dòng)化技術(shù)和專

日前，Veeco宣布，其引進(jìn)的TurboDisc®MaxBright™氮化鎵（GaN）有機(jī)金屬化學(xué)氣相沉積法（MOCVD）多反應(yīng)器系統(tǒng)，用于生產(chǎn)HBled。

Veeco介紹，MaxBright利用Veeco的FlowFlange®集群架構(gòu)自動(dòng)化技術(shù)和專業(yè)知識(shí)在一個(gè)模塊化的兩個(gè)或四個(gè)反應(yīng)器通過(guò)組合多個(gè)、新、高通量金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)器。

該MaxBright反應(yīng)堆，在K465i的基礎(chǔ)上經(jīng)過(guò)生產(chǎn)驗(yàn)證，既要擴(kuò)大晶圓的生產(chǎn)能力和先進(jìn)、專有的、封閉循環(huán)熱控技術(shù)，同時(shí)擴(kuò)大-均勻性、重復(fù)性和材料的質(zhì)量。MaxBrightMOCVD系統(tǒng)可提供生產(chǎn)能力達(dá)216×2，56×4，24×6或12×8晶圓。此外，無(wú)縫轉(zhuǎn)移K465i配方MaxBright能使客戶實(shí)現(xiàn)快速生產(chǎn)。

同時(shí)，Veeco相關(guān)人士指出，“MaxBright的價(jià)值主張是明確的：它是最高的生產(chǎn)力MOCVD系統(tǒng)制造高亮度LED市場(chǎng)上。該架構(gòu)支持單腔或多腔層的生長(zhǎng)能力，提高LED結(jié)構(gòu)過(guò)程的靈活性高要求。MaxBright的緊湊型架構(gòu)還允許一個(gè)獨(dú)立的金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)足跡效率增益高達(dá)2.5倍。總體而言，MaxBright提供了500％的增值比較緊湊封裝的K465i以靈活的。”

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