愛(ài)思強(qiáng)股份有限公司(AIXTRON SE)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)領(lǐng)先的沉積系統(tǒng)供應(yīng)商。其已將一個(gè)新的研發(fā)用集簇設(shè)備投入運(yùn)營(yíng)，該集簇設(shè)備可展示用于生產(chǎn)有機(jī)半導(dǎo)體的核心制程。生產(chǎn)有機(jī)發(fā)光二極管OLED及柔性電子元件需要進(jìn)行有機(jī)薄膜沉積的各種不同制程，而此集簇設(shè)備將有助于實(shí)現(xiàn)工業(yè)制造條件下有效展示有關(guān)生產(chǎn)流程。

該集簇設(shè)備已經(jīng)安裝在AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)的潔凈室，包括用于在200x200mm2基材有機(jī)材料沉積的若干工藝模塊(“Gen1一代”)。該規(guī)格有助于AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)在成本及布局允許范圍內(nèi)、在元件層面上為潛在客戶展示其沉積技術(shù)的優(yōu)勢(shì)。該展示設(shè)備的核心是AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)的三個(gè)OVPD (有機(jī)氣相沉積)模組及一個(gè)PVPD(聚合物氣相沉積)模組。這些模組嵌在自動(dòng)化的集簇環(huán)境中，并通過(guò)多個(gè)處理模塊及有關(guān)基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)進(jìn)行增補(bǔ)。

負(fù)責(zé)有機(jī)半導(dǎo)體部門的進(jìn)一步拓展的AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)業(yè)務(wù)發(fā)展總監(jiān)Juergen Kreis解釋道：“我們的研發(fā)用集簇設(shè)備將為工業(yè)客戶及研究伙伴提供在元件層面上全面展示各種制程的集成環(huán)境。完美整合前期及后期生產(chǎn)流程，以及進(jìn)一步檢測(cè)元件的特征值延展性將可快速及全面展示我們的核心技術(shù)有機(jī)氣相沉積及PVPD所提供的具體優(yōu)勢(shì)?！?/p>

AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)首席執(zhí)行官M(fèi)artin Goetzeler表示：“有機(jī)半導(dǎo)體對(duì)于AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)具有重大的戰(zhàn)略意義。有機(jī)發(fā)光二極管OLED在未來(lái)尤其是有潛力被廣泛應(yīng)用于顯示器及一般照明用途。因此，我們已經(jīng)顯著提高對(duì)該領(lǐng)域的投資(如對(duì)研發(fā)用集簇設(shè)備的投資)并且推進(jìn)研發(fā)速度。通過(guò)這種方式，我們能夠滿足客戶對(duì)提高測(cè)試及展示可能性的廣泛需求，特別是協(xié)助我們客戶做出未來(lái)投資決定。我堅(jiān)信我們的有機(jī)半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)將在未來(lái)的市場(chǎng)中扮演關(guān)鍵角色?！?/p>

AIXTRON愛(ài)思強(qiáng)專有的有機(jī)氣相沉積及PVPD流程技術(shù)能夠以高材料效率及高沉積率生產(chǎn)高質(zhì)量的有機(jī)薄膜，用于有機(jī)發(fā)光二極管OLED、有機(jī)電子產(chǎn)品及其他功能元件。高效率、大規(guī)模生產(chǎn)有機(jī)薄膜被視為進(jìn)一步提高有機(jī)發(fā)光二極管OLED市場(chǎng)滲透率的關(guān)鍵。