我國(guó)大規(guī)模IC制造重大專項(xiàng)進(jìn)入實(shí)施階段
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據(jù)介紹,“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)旨在開發(fā)集成電路關(guān)鍵制造裝備,掌握具有自主"知識(shí)產(chǎn)權(quán)" 的成套先進(jìn)工藝及相關(guān)新材料技術(shù),打破我國(guó)高端集成電路制造裝備與工藝完全依賴進(jìn)口的狀況,帶動(dòng)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)提升和結(jié)構(gòu)調(diào)整｡
重大專項(xiàng)是實(shí)現(xiàn)我國(guó)中長(zhǎng)期科技發(fā)展規(guī)劃的一項(xiàng)重要內(nèi)容,黨中央､國(guó)務(wù)院高度重視重大專項(xiàng)的實(shí)施工作,多次召開專門會(huì)議研究部署｡為此,“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)領(lǐng)導(dǎo)小組成立了專項(xiàng)咨詢委員會(huì)､專項(xiàng)總體專家組和專項(xiàng)實(shí)施管理辦公室等機(jī)構(gòu),規(guī)范了實(shí)施管理辦法｡
據(jù)了解,該重大專項(xiàng)面向全國(guó)廣泛征集項(xiàng)目,經(jīng)過嚴(yán)格的篩選及“三評(píng)兩審”立項(xiàng)程序,目前擬啟動(dòng)54個(gè)項(xiàng)目,其中裝備整機(jī)15項(xiàng)､成套工藝11項(xiàng)､關(guān)鍵材料9項(xiàng)､關(guān)鍵技術(shù)與零部件11項(xiàng)､前瞻性研究等8項(xiàng),總投資180多億元｡
科技部部長(zhǎng)萬(wàn)鋼指出,啟動(dòng)“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”重大專項(xiàng)是發(fā)揮科技支撐作用,促進(jìn)經(jīng)濟(jì)平穩(wěn)較快發(fā)展的重大行動(dòng),同時(shí)也是充分發(fā)揮科技的重要作用,體現(xiàn)“治本”要求的重要舉措,對(duì)提高“擴(kuò)內(nèi)需､保增長(zhǎng)”的科技含量,從根本上實(shí)現(xiàn)“調(diào)結(jié)構(gòu)､上水平”的目標(biāo),推動(dòng)我國(guó)經(jīng)濟(jì)盡快走上創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)的發(fā)展軌道,具有重要意義｡
據(jù)介紹,該重大專項(xiàng)將陸續(xù)發(fā)布項(xiàng)目指南,以“公開､公平､公正”為原則,有序推進(jìn)立項(xiàng)評(píng)審及實(shí)施管理工作｡
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