【導(dǎo)讀】臺(tái)灣Semicon：Entegris晶圓輸送洗凈設(shè)備已獲訂單  
    Entegris公司日前在臺(tái)北舉辦的Semicon Taiwan展覽會(huì)上，展示了其用于洗凈晶圓輸送產(chǎn)品的最新科技創(chuàng)新設(shè)備，Process One NU-6000系列洗凈設(shè)備采用了新型科技、占用空間更小、產(chǎn)出量高、而且成本更低。 

    該系統(tǒng)透過(guò)移動(dòng)空氣吹管，并在干燥過(guò)程中使對(duì)象保持靜止，使得占用空間更小。由于移動(dòng)吹管，干燥時(shí)間更快，每小時(shí)最多可處理14個(gè)FOUP或FOSB(12寸晶圓傳送盒或12寸晶圓運(yùn)輸盒)。該系統(tǒng)還具有靈活的設(shè)定選擇，并且能處理各種不同12寸晶圓輸送產(chǎn)品，使用極其簡(jiǎn)便。Entegris數(shù)月前將這種新型洗凈系統(tǒng)推向市場(chǎng)，已經(jīng)獲得首批訂單。 

    Entegris的副總裁兼晶圓輸送產(chǎn)品部門總經(jīng)理Patrick McKinney表示：“Process One NU-6000洗凈系統(tǒng)的靈活設(shè)定以及嵌入其中的干燥科技，顯然是圓輸送洗凈設(shè)備的一大進(jìn)步。此產(chǎn)品瞄準(zhǔn)了100納米以下的半導(dǎo)體制造需要，同時(shí)滿足了顧客減小空間和降低成本的需求。我們相信這項(xiàng)科技非常適合臺(tái)灣地區(qū)客戶的需求?！?nbsp;