三強(qiáng)聯(lián)手高端的光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化可期?
北京國(guó)望光學(xué)科技有限公司增資項(xiàng)目在北京產(chǎn)權(quán)交易所完成。
通過(guò)此次增資,國(guó)望光學(xué)引入中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所(簡(jiǎn)稱“長(zhǎng)春光機(jī)所”)和中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所(簡(jiǎn)稱:上海光機(jī)所)作為戰(zhàn)略投資者,兩家機(jī)構(gòu)以無(wú)形資產(chǎn)作價(jià)10億元入股。據(jù)北京商報(bào)報(bào)道,這意味著亦莊在推動(dòng)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)核心部件研發(fā)和生產(chǎn)方面邁出實(shí)質(zhì)性步伐。
本次涉及的三家機(jī)構(gòu)國(guó)望光學(xué)、長(zhǎng)春光機(jī)所、上海光機(jī)所在光刻機(jī)研發(fā)上都不是“泛泛之輩”,而國(guó)望光學(xué)通過(guò)此次增資壯大了公司的技術(shù)實(shí)力。
國(guó)望光學(xué)
國(guó)望光學(xué)2018年6月落戶亦莊北京經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū),是北京亦莊國(guó)際投資發(fā)展有限公司的全資子公司,注冊(cè)資本20億元。公司定位為光刻機(jī)核心部件生產(chǎn)商,開(kāi)展光刻機(jī)曝光光學(xué)系統(tǒng)、高端鏡頭、光電儀器、光學(xué)加工與檢測(cè)設(shè)備的研發(fā)生產(chǎn)。
通過(guò)北交所增資就是要尋找技術(shù)實(shí)力一流的戰(zhàn)略投資方,推動(dòng)完成國(guó)家重大專項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造技術(shù)及成套工藝》項(xiàng)目中高端光刻機(jī)整機(jī)研發(fā)和量產(chǎn)。
長(zhǎng)春光機(jī)所
長(zhǎng)春光機(jī)所始建于1952年,由中科院長(zhǎng)春光機(jī)所與中科院長(zhǎng)春物理所于1999年整合而成,是新中國(guó)在光學(xué)領(lǐng)域建立的第一個(gè)研究所,主要從事發(fā)光學(xué)、應(yīng)用光學(xué)、光學(xué)工程、精密機(jī)械與儀器的研發(fā)生產(chǎn)。長(zhǎng)春光機(jī)所也是牽頭承擔(dān)的國(guó)家科技重大專項(xiàng)02專項(xiàng)——“極紫外光刻關(guān)鍵技術(shù)研究”項(xiàng)目的單位。
極紫外光刻是一種以13.5nm的EUV光為工作波長(zhǎng)的投影光刻技術(shù),是傳統(tǒng)投影光刻技術(shù)向更短波長(zhǎng)的延伸,正處于產(chǎn)業(yè)化的臨界點(diǎn)。
上海光機(jī)所
上海光機(jī)所成立于1964年5月,是我國(guó)建立最早、規(guī)模最大的激光科學(xué)技術(shù)專業(yè)研究所。
作為國(guó)望光學(xué)所引入的戰(zhàn)略投資方之一,其聯(lián)合參與研發(fā)的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)已于2017年首次曝光成功,且曝光光學(xué)系統(tǒng)在整機(jī)環(huán)境下已通過(guò)驗(yàn)收測(cè)試,目前90納米國(guó)產(chǎn)高端光刻機(jī)已順利驗(yàn)收交付。
據(jù)悉,國(guó)望光學(xué)此次增資在實(shí)現(xiàn)優(yōu)化股權(quán)結(jié)構(gòu)的同時(shí),通過(guò)無(wú)形資產(chǎn)作價(jià)入股引進(jìn)技術(shù)實(shí)力強(qiáng)勁的新股東,有利于充分發(fā)揮投融雙方的優(yōu)勢(shì),進(jìn)一步推進(jìn)自主中高端光刻機(jī)研發(fā)和生產(chǎn)。





