據(jù)中國(guó)科學(xué)院微電子研究所消息，目前，微電子所韋亞一研究員團(tuán)隊(duì)已幫助積塔半導(dǎo)體完成5輪OPC工作并順利流片，直接支撐了積塔半導(dǎo)體在0.18納米技術(shù)節(jié)點(diǎn)的量產(chǎn)工藝研發(fā)，同時(shí)幫助積塔半導(dǎo)體建立OPC研發(fā)團(tuán)隊(duì)。

2018-2019年度，微電子所韋亞一研究員率領(lǐng)先導(dǎo)中心計(jì)算光刻研發(fā)中心團(tuán)隊(duì)與上海積塔半導(dǎo)體有限公司，圍繞集成電路先進(jìn)光刻制造光學(xué)鄰近效應(yīng)修正開展了深度合作。

合作中，韋亞一團(tuán)隊(duì)與上海積塔半導(dǎo)體就實(shí)際生產(chǎn)面臨的光學(xué)臨近修正問題，根據(jù)其工藝和產(chǎn)品特征，開展了光源優(yōu)化、OPC建模、版圖優(yōu)化以及硅驗(yàn)證等工作。

本次合作是微電子韋亞一團(tuán)隊(duì)繼與中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等國(guó)內(nèi)集成電路制造企業(yè)合作之后，再次對(duì)實(shí)際制造產(chǎn)業(yè)企業(yè)進(jìn)行指導(dǎo)，幫助企業(yè)建立光學(xué)臨近效應(yīng)的修正流程，助其突破關(guān)鍵技術(shù)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)。

上海積塔半導(dǎo)體項(xiàng)目位于臨港重裝備產(chǎn)業(yè)區(qū)，總投資359億元，是上海市政府與中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)集團(tuán)合作協(xié)議的重要內(nèi)容，也是其中第一個(gè)落地的重大產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目。項(xiàng)目目標(biāo)是建設(shè)月產(chǎn)能6萬片的8英寸生產(chǎn)線和5萬片12英寸特色工藝生產(chǎn)線，將打造面向工業(yè)控制和汽車電子等高端應(yīng)用的特色工藝生產(chǎn)線。