3月7日,中芯國際集成電路制造(深圳)有限公司從從荷蘭進口的一臺大型光刻機順利通過出口加工區(qū)場站兩道閘口進入廠區(qū)。根據(jù)中芯國際近期發(fā)布的公告,其已經花費17億美元分別向泛林團體、應用材料、以及東京電子購買半導體設備。
其中,向泛林團體發(fā)出的購買單總金額約6億美元;應用材料購買單的總金額為5.43億美元,東京電子購買單總金額應用材料購買單的總代價為5.43億美元。
據(jù)悉,這臺機器主要用于企業(yè)復工復產后的生產線擴容。內部人士認為,中芯國際生產線擴容后全年預計可為企業(yè)增加10%左右的營收。
從中芯國際的表態(tài)來看,他們持續(xù)采購設備的目的就是“繼續(xù)擴大產能”,目前中芯國際急迫的產能除了8英寸之外就是14nm這樣的先進工藝。根據(jù)中芯國際聯(lián)席CEO梁孟松的說法,14nm(包含改進型的12nm工藝)月產能將在今年3月達到4K,7月達到9K,12月達到15K。中芯國際的14nm產能在15K晶圓/月之后應該不會繼續(xù)提升了,還有更新的工藝。除了14nm及改進型的12nm工藝之外,中芯國際的N+1、N+2代工藝也會陸續(xù)在今年底開始試產,相當于臺積電7nm低功耗、7nm高性能工藝級別,未來一兩年也會是產能建設的重點。
方正證券分析師認為,光刻機陸續(xù)搬入, 下半年收入增長值得期待。光刻機搬入廠區(qū)后,預計大約5個月后開始貢獻營收。我們判斷本次搬入的機臺將在大約5個月后投入生產(實際投入生產時間根據(jù)裝機進度而定),擴產完成后深圳廠區(qū)8寸產能有望達到60k wpm(4Q19 財報中為55k wpm),屆時將為中芯國際深圳廠區(qū)增加約10%的營收。分析師認為半導體行業(yè)已處于上行周期,中芯國際2020年將重啟增長,同時先進制程研發(fā)進展順利。
目前國內重大晶圓制造廠主要有中芯國際、華虹半導體、長江儲存、合肥長鑫。中芯國際是我國第一大晶圓制造廠,2019年3Q實現(xiàn)799百萬美元營業(yè)收入,在全球位居第5位。據(jù)官網(wǎng)介紹,中芯國際集成電路制造有限公司及其控股子公司是世界領先的集成電路晶圓代工企業(yè)之一,也是中國內地技術最先進、配套最完善、規(guī)模最大、跨國經營的集成電路制造企業(yè)集團,提供0.35微米到14納米不同技術節(jié)點的晶圓代工與技術服務。
中芯國際總部位于上海,擁有全球化的制造和服務基地。在上海建有一座300mm晶圓廠和一座200mm晶圓廠,以及一座控股的300mm先進制程晶圓廠在建設中;在北京建有一座300mm晶圓廠和一座控股的300mm先進制程晶圓廠;在天津和深圳各建有一座200mm晶圓廠;在江陰有一座控股的300mm凸塊加工合資廠。中芯國際還在美國、歐洲、日本和中國臺灣設立營銷辦事處、提供客戶服務,同時在中國香港設立了代表處。
中芯國際是世界領先的集成電路芯片代工企業(yè)之一,屬于集成電路制造企業(yè),要確保全年365天*24小時工廠不間斷生產。目前,中芯國際已經實現(xiàn)90%以上的復工率,各條生產線、研發(fā)線實現(xiàn)100%運行,產能預計于一季度實現(xiàn)滿載。春節(jié)期間,生產線上的工作人員采取四班二輪的輪崗制度繼續(xù)生產,研發(fā)部門采取各級值班制度,輔助部門維持部分后勤保安和餐廳廠商在崗,保證了廠研發(fā)與運營的持續(xù)進行。
中芯國際四季度也向市場交出了一份相對不錯的答卷。作為14納米工藝量產后的首份財報,其可圈可點之處不單單只體現(xiàn)在一點上。根據(jù)中芯國際2月14日發(fā)布的四季度財報,本季度的營收達到8.39億美元,同環(huán)比均有增長。同時,由于產能有所提高,毛利同比增長了48.7%,毛利率上升6.8個百分點。
根據(jù)財報,在接下來的一段時間內,中芯國際將持續(xù)推動14nm產能和訂單的增加,這次的FinFET14納米作為第一代產品成效初顯,營收占比達到1%,在后續(xù)會推出第二代。
2000年,張汝京在上海創(chuàng)立集成電路芯片代工企業(yè)中芯國際,大約有300多名半導體工程師隨其北上,其中不少是他在德州儀器和世大時的舊部。在坐穩(wěn)內地代工老大哥的位置后,2017年年底,中芯挖來了梁孟松,他的加入,被業(yè)界認為“對中國半導體行業(yè)具有劃時代意義”。
梁孟松其人,在臺積電任職時期個人參與發(fā)明的專利半導體技術就有181件,且全是最重要先進工藝的技術研發(fā)。出走到三星后,更是帶領三星晶圓代工直接從28nm制程升級到14nm,還領先臺積電半年實現(xiàn)了量產。到中芯后,梁孟松手腳大開,在迅速提升中芯28nm芯片良品率的同時,還主導從荷蘭買來了最先進的光刻機,將14nm芯片良品率瞬間提升至95%。
另外,眾人關心的是,2018年5月,中芯國際曾向荷蘭阿斯麥爾(ASML)訂購了一臺最新型的EUV光刻機,價值高達1.5億美元。在全球光刻機生產廠商中,荷蘭的ASML(阿斯麥)是唯一一家能夠生產EUV光刻機的廠商。EUV光刻機原計劃在2019年初交付。不過,由于美國方面阻擾,這項交易至今仍未完成。
那么,光刻機是生產大規(guī)模集成電路的核心設備,為世界上最尖端的技術之一,目前只有少量國家掌握。此外,光刻機的價格非常昂貴,一臺高端的光刻機甚至可以賣到6億元左右,光刻機是半導體行業(yè)之母。
目前市場上提供量產商用的光刻機廠商有三家:ASML、尼康(Nikon)和佳能(Canon)。 根據(jù)2007年的統(tǒng)計數(shù)據(jù),在中高端光刻機市場,ASML占據(jù)大約60%的市場份額。而最高端市場(例如沉浸式光刻機),ASML大約目前占據(jù)80%的市場份額。荷蘭的ASML(阿斯麥)是一家總部設在荷蘭艾恩德霍芬(Veldhoven)的全球最大的半導體設備制造商之一,向全球復雜集成電路生產企業(yè)提供領先的綜合性關鍵設備。ASML的股票分別在阿姆斯特丹及紐約上市。
中芯國際為什么非得買荷蘭阿斯麥公司的EUV光刻機呢?因為在進入7nm節(jié)點之后,光刻機也需要升級到EUV光刻機,目前僅有荷蘭ASML公司能造,該公司CEO表示EUV光刻機非常復雜,沒有可能被復制,全球只有ASML能生產。
日前韓媒報道稱,ASML公司正積極投資研發(fā)下一代EUV光刻機,與現(xiàn)有的光刻機相比,二代EUV光刻機最大的變化就是High NA(高數(shù)值孔徑)透鏡,通過提升透鏡規(guī)格使得新一代光刻機的微縮分辨率、套準精度兩大光刻機核心指標提升70%,達到業(yè)界對幾何式芯片微縮的要求。





