5月19日消息 上海微電子裝備（集團(tuán)）股份有限公司（簡(jiǎn)稱SMEE）主要致力于半導(dǎo)體裝備、泛半導(dǎo)體裝備、高端智能裝備的開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù)。今天，上海微電子裝備官方表示，其高亮度LED步進(jìn)投影光刻機(jī)最終從1200多個(gè)申報(bào)項(xiàng)目中成功突圍，入選“上海設(shè)計(jì)100+”。

上海微電子裝備自主研發(fā)的高亮度LED步進(jìn)投影光刻機(jī)，是中國(guó)首臺(tái)面向6英寸以下中小基底先進(jìn)光刻應(yīng)用領(lǐng)域的光刻機(jī)產(chǎn)品，可滿足HB-LED等領(lǐng)域單面或雙面的光刻工藝需求，解決了LED產(chǎn)業(yè)大翹曲藍(lán)寶石高分辨率、高拼接精度、大焦深、高產(chǎn)率的光刻需求，且支持藍(lán)寶石鍵合片特殊工藝。

獲悉，上海微電子裝備高亮度LED步進(jìn)投影光刻機(jī)自產(chǎn)品問(wèn)世以來(lái)，先后榮獲“第十五屆中國(guó)國(guó)際工業(yè)博覽會(huì)銅獎(jiǎng)”、“上海市專利新產(chǎn)品”、“第十三屆（2018年度）中國(guó)半導(dǎo)體創(chuàng)新產(chǎn)品和技術(shù)獎(jiǎng)”、工信部第四批“制造業(yè)單項(xiàng)冠軍產(chǎn)品”等榮譽(yù)。