現(xiàn)在智能家居中的傳感器基本都是集成傳感器，集成傳感器是利用集成電路工藝將半導(dǎo)體敏感元件、測(cè)量處理電路集成在一個(gè)芯片上制成的性?xún)r(jià)比高、使用方便的小型化傳感器。

而利用集成電路技術(shù)工藝和微機(jī)械加工方法，可將基于各種物理效應(yīng)的機(jī)電敏感元器件和處理電路集成在一個(gè)芯片上，從而制成微機(jī)電系統(tǒng)（Micro－Electro－MechanicalSystems，MEMS）傳感器。

這種傳感器敏感結(jié)構(gòu)的尺寸可達(dá)到微米、亞微米級(jí)，并可以批量生產(chǎn)，具有體積小、質(zhì)量輕、響應(yīng)快、靈敏度高、成本低等優(yōu)勢(shì)。

我國(guó)的MEMS產(chǎn)業(yè)在世界處在領(lǐng)先地位，包括美國(guó)登錄火星的火車(chē)車(chē)上都有我們中國(guó)人發(fā)明的傳感器，像MEMS加速度計(jì)、壓力傳感器已廣泛應(yīng)用于汽車(chē)工業(yè)，像智能家居里的多合一檢測(cè)傳感器就是MEMS的典型應(yīng)用。

MEMS不僅僅靠電子工藝，還得靠機(jī)械加工技術(shù)。

集成電路技術(shù)、微機(jī)械加工技術(shù)等新技術(shù)新工藝的發(fā)展為傳感器的集成和微型化提供了可能。采用微機(jī)械加工技術(shù)制作的敏感元件的尺寸一般為微米級(jí)，利用各向異性腐蝕、犧牲層技術(shù)和LIGA工藝（即光刻、電鑄和注塑），可以制造出層與層之間有很大差別的三維微結(jié)構(gòu)，包括可活動(dòng)的膜片、懸臂梁、橋以及凹槽、孔隙、錐體等。

采用敏感結(jié)構(gòu)和檢測(cè)電路的單芯片集成技術(shù)，能夠避免多芯片組裝時(shí)引腳引線引入的寄生效應(yīng)，改善了器件的性能，提高了抗干擾能力。微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的微型傳感器由于采用了系統(tǒng)級(jí)封裝方式，與傳統(tǒng)傳感器相比，具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗小、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)，在智能家居中已經(jīng)起到?jīng)Q定系統(tǒng)的部分。