肖特FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃，在實(shí)現(xiàn)玻璃和晶圓創(chuàng)新結(jié)合的同時(shí)，實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的批量化生產(chǎn)，為高新技術(shù)的發(fā)展注入能量。

中國(guó)汽車電子、消費(fèi)電子、智能家居、醫(yī)療設(shè)備等行業(yè)的迅猛發(fā)展，無疑也使得上游的MEMS傳感器行業(yè)進(jìn)入快車道。據(jù)統(tǒng)計(jì)，在2016年-2019年間，中國(guó)MEMS行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模以穩(wěn)定增速持續(xù)擴(kuò)張。截至2019年，中國(guó)MEMS市場(chǎng)規(guī)模已經(jīng)達(dá)到了600億元，而該數(shù)字預(yù)計(jì)將在2021年將達(dá)到810億元。（數(shù)據(jù)源自中商產(chǎn)業(yè)研究院）

MEMS傳感器市場(chǎng)規(guī)模大、種類繁多，涉及壓力傳感器、光學(xué)MEMS、生物MEMS等，各個(gè)行業(yè)應(yīng)用功能各異，因而對(duì)于材料的需求也不盡相同。可否有某種解決方案，既能滿足不同行業(yè)需求，實(shí)現(xiàn)更加精準(zhǔn)、更微型的設(shè)備性能，又能提供多元、自由的設(shè)計(jì)空間？

深耕特種玻璃制造的德國(guó)肖特，于2018年給市場(chǎng)交出了一份答卷——FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃。肖特通過創(chuàng)新的晶圓和超薄玻璃結(jié)構(gòu)組合，來為用戶提供高精度和多功能的結(jié)構(gòu)化玻璃基片。

2020年，F(xiàn)LEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃實(shí)現(xiàn)全面升級(jí)，可以為不同行業(yè)用戶提供從產(chǎn)品開發(fā)到大規(guī)模生產(chǎn)的全方位服務(wù)。

賦能創(chuàng)意，推動(dòng)行業(yè)變革

受材料的公差和制造能力的限制，傳統(tǒng)玻璃晶圓的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)技術(shù)已經(jīng)達(dá)到瓶頸。肖特的FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃成為一種折中方案：在保證高精度的前提下，為不同行業(yè)客戶提供靈活定制化的解決方案；同時(shí)FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃可批量生產(chǎn)的能力，也使得客戶實(shí)現(xiàn)行業(yè)變革成為可能。

±10公差，匠人匠心

（高精密公差：±10μm，實(shí)現(xiàn)部件精準(zhǔn)匹配）

在高科技應(yīng)用中，精確定位和對(duì)準(zhǔn)至關(guān)重要。肖特FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃突破性的結(jié)構(gòu)，能夠達(dá)到極高的精準(zhǔn)度，從而實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品與合作部件的完美匹配。

就參數(shù)而言，肖特FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃可以實(shí)現(xiàn)：

◆ 微米位置公差<20 μm（equiv. ±10 μm）

◆ 外形尺寸公差<20 μm（equiv. ±10 μm）

◆ 結(jié)構(gòu)半徑≥100 μm

除了高精度的性能之外，特種玻璃自身結(jié)構(gòu)元素所具備的高強(qiáng)度和高可靠性，也能夠使得FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃在具體應(yīng)用整合的過程中實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品的高效能和高產(chǎn)能。

凡能所想，皆可定制

玻璃尺寸可選：玻璃晶圓的厚度、結(jié)構(gòu)半徑、最大寬度等，均可定制；

玻璃種類可選：硼硅玻璃、無堿平板玻璃等，可根據(jù)具體行業(yè)需求選擇玻璃種類；

通孔方案定制：幾乎可以滿足客戶任何形狀的通孔需求。

全面升級(jí)后，肖特FLEXINITY^®的產(chǎn)品范圍得到了進(jìn)一步延伸，可以為不同行業(yè)的客戶提供定制化的解決方案。從玻璃類型到通孔方案，F(xiàn)LEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃能在充分滿足客戶需求的同時(shí)，為客戶提供更多自由設(shè)計(jì)的空間。

FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃解決方案中，客戶可對(duì)玻璃的厚度和寬度進(jìn)行定制。最薄的玻璃晶圓厚度低至0.1mm，最小結(jié)構(gòu)半徑僅100μm，滿足了電子設(shè)備微型化的需求。此外，F(xiàn)LEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃可以提供直徑達(dá)到300mm甚至更大的超大玻璃晶圓。

除了物理形態(tài)的選擇，肖特還提供了多元的玻璃類型，包括中硼硅玻璃D 263^®系列、MEMpax^®、BOROFLOAT 33^®，以及無堿平板玻璃AF 32^® eco。用戶可以根據(jù)需求選擇不同的玻璃型號(hào)，以生產(chǎn)出符合期望的產(chǎn)品。

與此同時(shí)，SCHOTT依照玻璃基片中的通孔提供定制解決方案，在數(shù)量和幾何要求上，幾乎滿足無限的設(shè)計(jì)可能。

無論用戶的產(chǎn)品應(yīng)用是什么，需要什么樣的物理特性、微結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、大小、表面或強(qiáng)度要求，肖特FLEXINITY^®都能夠提供適合的解決方案。

MEMS傳感器，大顯身手

FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃解決方案誕生以來，已經(jīng)在MEMS傳感器中的壓力傳感器、光學(xué)傳感器、微流體傳感器等領(lǐng)域提供了可行且極具競(jìng)爭(zhēng)力等解決方案，推動(dòng)了汽車電子行業(yè)、消費(fèi)電子行業(yè)以及醫(yī)療行業(yè)發(fā)展。

在汽車壓力傳感器應(yīng)用上，肖特結(jié)構(gòu)玻璃晶圓具有火拋光表面，與硅的鍵合質(zhì)量能夠達(dá)到更高，并且肖特還能提供比發(fā)絲還薄的玻璃晶圓，適用于超小型傳感器的設(shè)計(jì)與生產(chǎn)。

FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃精準(zhǔn)的幾何尺寸、優(yōu)異的光學(xué)性質(zhì)和極高的表面質(zhì)量，使得其在3D成像及傳感領(lǐng)域同樣大有建樹。根據(jù)結(jié)構(gòu)化玻璃材料不同的厚度，F(xiàn)LEXINITY^®可以針對(duì)3D成像和傳感的飛行時(shí)間（ToF）、結(jié)構(gòu)光、立體視覺等眾多應(yīng)用提供定制解決方案。

（FLEXINITY^®結(jié)構(gòu)化玻璃可作為玻璃墊片）

在微流控領(lǐng)域，F(xiàn)LEXINITY^®也能夠更好地幫助客戶實(shí)現(xiàn)更精準(zhǔn)、更薄和更小的微流控解決方案。

具體而言，肖特提供的D 263^® bio可被加工成具有各種結(jié)構(gòu)的玻片或晶圓，此外還能夠進(jìn)行化學(xué)強(qiáng)化從而具有較高的機(jī)械強(qiáng)度，這些優(yōu)點(diǎn)使其成為對(duì)光學(xué)質(zhì)量和化學(xué)穩(wěn)定性要求較高產(chǎn)品的理想選擇。

批量生產(chǎn)，助力技術(shù)革命

2020年，位于馬來西亞的工廠已投入量產(chǎn)，為全球客戶提供樣本以及量產(chǎn)。從產(chǎn)品開發(fā)到最終量產(chǎn)，肖特FLEXINITY^®都可以是高新科技行業(yè)理想的合作伙伴

“電子元器件生產(chǎn)商急需更精準(zhǔn)的定制化解決方案。在肖特，我們具有領(lǐng)先的科研能力，并熟悉終端應(yīng)用的需求，因此我們深刻理解客戶的不同需要。我們的聯(lián)合團(tuán)隊(duì)包括R&D和技術(shù)服務(wù)的同事，能夠找到符合客戶需要的解決方案，實(shí)現(xiàn)客戶在科技創(chuàng)新的愿景。我們能夠成為客戶產(chǎn)品開發(fā)路線圖的一部分，幫助提升產(chǎn)品，助力革命性的未來新產(chǎn)品?！?/span>

——Dr. Ulrich Peuchert，肖特玻璃晶圓業(yè)務(wù)全球業(yè)務(wù)開發(fā)和產(chǎn)品經(jīng)理

百年熱忱，#Glasslovers#貫穿始終

從1884到2020，#Glasslovers精神#貫穿在130余年的發(fā)展進(jìn)程中，成為無數(shù)肖特人秉承始終的信條。憑借一份熱愛，肖特人一次次打破了技術(shù)與創(chuàng)造力的邊界，擴(kuò)大了想象的疆土，探索了玻璃的無限可能。

從居家生活到醫(yī)療健康，從工業(yè)能源到航空航天……玻璃的用途隨處可見，而今天，迎著消費(fèi)電子與互聯(lián)網(wǎng)的風(fēng)口，玻璃已經(jīng)與硅一樣，成為了高薪技術(shù)產(chǎn)業(yè)中不可或缺的一部分。

What is your next milestone？

所有過往，皆為序章，所有將來，皆是可盼。

肖特FLEXINITY^®將不斷創(chuàng)新并探索玻璃晶圓在未來科技革命中的可能性。