肖特FLEXINITY^®結構化玻璃，在實現(xiàn)玻璃和晶圓創(chuàng)新結合的同時，實現(xiàn)了產品的批量化生產，為高新技術的發(fā)展注入能量。

中國汽車電子、消費電子、智能家居、醫(yī)療設備等行業(yè)的迅猛發(fā)展，無疑也使得上游的MEMS傳感器行業(yè)進入快車道。據(jù)統(tǒng)計，在2016年-2019年間，中國MEMS行業(yè)市場規(guī)模以穩(wěn)定增速持續(xù)擴張。截至2019年，中國MEMS市場規(guī)模已經達到了600億元，而該數(shù)字預計將在2021年將達到810億元。（數(shù)據(jù)源自中商產業(yè)研究院）

MEMS傳感器市場規(guī)模大、種類繁多，涉及壓力傳感器、光學MEMS、生物MEMS等，各個行業(yè)應用功能各異，因而對于材料的需求也不盡相同。可否有某種解決方案，既能滿足不同行業(yè)需求，實現(xiàn)更加精準、更微型的設備性能，又能提供多元、自由的設計空間？

深耕特種玻璃制造的德國肖特，于2018年給市場交出了一份答卷——FLEXINITY^®結構化玻璃。肖特通過創(chuàng)新的晶圓和超薄玻璃結構組合，來為用戶提供高精度和多功能的結構化玻璃基片。

2020年，F(xiàn)LEXINITY^®結構化玻璃實現(xiàn)全面升級，可以為不同行業(yè)用戶提供從產品開發(fā)到大規(guī)模生產的全方位服務。

賦能創(chuàng)意，推動行業(yè)變革

受材料的公差和制造能力的限制，傳統(tǒng)玻璃晶圓的標準生產技術已經達到瓶頸。肖特的FLEXINITY^®結構化玻璃成為一種折中方案：在保證高精度的前提下，為不同行業(yè)客戶提供靈活定制化的解決方案；同時FLEXINITY^®結構化玻璃可批量生產的能力，也使得客戶實現(xiàn)行業(yè)變革成為可能。

±10公差，匠人匠心

（高精密公差：±10μm，實現(xiàn)部件精準匹配）

在高科技應用中，精確定位和對準至關重要。肖特FLEXINITY^®結構化玻璃突破性的結構，能夠達到極高的精準度，從而實現(xiàn)產品與合作部件的完美匹配。

就參數(shù)而言，肖特FLEXINITY^®結構化玻璃可以實現(xiàn)：

◆ 微米位置公差<20 μm（equiv. ±10 μm）

◆ 外形尺寸公差<20 μm（equiv. ±10 μm）

◆ 結構半徑≥100 μm

除了高精度的性能之外，特種玻璃自身結構元素所具備的高強度和高可靠性，也能夠使得FLEXINITY^®結構化玻璃在具體應用整合的過程中實現(xiàn)產品的高效能和高產能。

凡能所想，皆可定制

玻璃尺寸可選：玻璃晶圓的厚度、結構半徑、最大寬度等，均可定制；

玻璃種類可選：硼硅玻璃、無堿平板玻璃等，可根據(jù)具體行業(yè)需求選擇玻璃種類；

通孔方案定制：幾乎可以滿足客戶任何形狀的通孔需求。

全面升級后，肖特FLEXINITY^®的產品范圍得到了進一步延伸，可以為不同行業(yè)的客戶提供定制化的解決方案。從玻璃類型到通孔方案，F(xiàn)LEXINITY^®結構化玻璃能在充分滿足客戶需求的同時，為客戶提供更多自由設計的空間。

FLEXINITY^®結構化玻璃解決方案中，客戶可對玻璃的厚度和寬度進行定制。最薄的玻璃晶圓厚度低至0.1mm，最小結構半徑僅100μm，滿足了電子設備微型化的需求。此外，F(xiàn)LEXINITY^®結構化玻璃可以提供直徑達到300mm甚至更大的超大玻璃晶圓。

除了物理形態(tài)的選擇，肖特還提供了多元的玻璃類型，包括中硼硅玻璃D 263^®系列、MEMpax^®、BOROFLOAT 33^®，以及無堿平板玻璃AF 32^® eco。用戶可以根據(jù)需求選擇不同的玻璃型號，以生產出符合期望的產品。

與此同時，SCHOTT依照玻璃基片中的通孔提供定制解決方案，在數(shù)量和幾何要求上，幾乎滿足無限的設計可能。

無論用戶的產品應用是什么，需要什么樣的物理特性、微結構設計、大小、表面或強度要求，肖特FLEXINITY^®都能夠提供適合的解決方案。

MEMS傳感器，大顯身手

FLEXINITY^®結構化玻璃解決方案誕生以來，已經在MEMS傳感器中的壓力傳感器、光學傳感器、微流體傳感器等領域提供了可行且極具競爭力等解決方案，推動了汽車電子行業(yè)、消費電子行業(yè)以及醫(yī)療行業(yè)發(fā)展。

在汽車壓力傳感器應用上，肖特結構玻璃晶圓具有火拋光表面，與硅的鍵合質量能夠達到更高，并且肖特還能提供比發(fā)絲還薄的玻璃晶圓，適用于超小型傳感器的設計與生產。

FLEXINITY^®結構化玻璃精準的幾何尺寸、優(yōu)異的光學性質和極高的表面質量，使得其在3D成像及傳感領域同樣大有建樹。根據(jù)結構化玻璃材料不同的厚度，F(xiàn)LEXINITY^®可以針對3D成像和傳感的飛行時間（ToF）、結構光、立體視覺等眾多應用提供定制解決方案。

（FLEXINITY^®結構化玻璃可作為玻璃墊片）

在微流控領域，F(xiàn)LEXINITY^®也能夠更好地幫助客戶實現(xiàn)更精準、更薄和更小的微流控解決方案。

具體而言，肖特提供的D 263^® bio可被加工成具有各種結構的玻片或晶圓，此外還能夠進行化學強化從而具有較高的機械強度，這些優(yōu)點使其成為對光學質量和化學穩(wěn)定性要求較高產品的理想選擇。

批量生產，助力技術革命

2020年，位于馬來西亞的工廠已投入量產，為全球客戶提供樣本以及量產。從產品開發(fā)到最終量產，肖特FLEXINITY^®都可以是高新科技行業(yè)理想的合作伙伴

“電子元器件生產商急需更精準的定制化解決方案。在肖特，我們具有領先的科研能力，并熟悉終端應用的需求，因此我們深刻理解客戶的不同需要。我們的聯(lián)合團隊包括R&D和技術服務的同事，能夠找到符合客戶需要的解決方案，實現(xiàn)客戶在科技創(chuàng)新的愿景。我們能夠成為客戶產品開發(fā)路線圖的一部分，幫助提升產品，助力革命性的未來新產品?！?/span>

——Dr. Ulrich Peuchert，肖特玻璃晶圓業(yè)務全球業(yè)務開發(fā)和產品經理

百年熱忱，#Glasslovers#貫穿始終

從1884到2020，#Glasslovers精神#貫穿在130余年的發(fā)展進程中，成為無數(shù)肖特人秉承始終的信條。憑借一份熱愛，肖特人一次次打破了技術與創(chuàng)造力的邊界，擴大了想象的疆土，探索了玻璃的無限可能。

從居家生活到醫(yī)療健康，從工業(yè)能源到航空航天……玻璃的用途隨處可見，而今天，迎著消費電子與互聯(lián)網的風口，玻璃已經與硅一樣，成為了高薪技術產業(yè)中不可或缺的一部分。

What is your next milestone？

所有過往，皆為序章，所有將來，皆是可盼。

肖特FLEXINITY^®將不斷創(chuàng)新并探索玻璃晶圓在未來科技革命中的可能性。