你知道TOPCon電池嗎?在科學技術高度發(fā)達的今天，各種各樣的高科技出現在我們的生活中，為我們的生活帶來便利，那么你知道這些高科技可能會含有的TOPCon電池嗎?

TOPCon是一種基于選擇性載流子原理的隧穿氧化層鈍化接觸(Tunnel Oxide Passivated Contact)太陽能電池技術，其電池結構為N型硅襯底電池，在電池背面制備一層超薄氧化硅，然后再沉積一層摻雜硅薄層，二者共同形成了鈍化接觸結構，有效降低表面復合和金屬接觸復合，為N-PERT電池轉換效率進一步提升提供了更大的空間。

TOPCon技術與n-PERT雙面電池產線相兼容，可以通過對n-PERT雙面電池產線簡單的改造實現N型單晶雙面TOPCon電池的規(guī)?；a。隧穿氧化層可通過熱氧法得到，降低氧氣分壓后，氧化速率緩慢，可得到厚度和均勻性可控的氧化硅膜層。poly層可通過高溫下硅烷的熱分解實現。

在電池背面制備一層超薄的隧穿氧化層和一層高摻雜的多晶硅薄層，二者共同形成了鈍化接觸結構，該結構為硅片的背面提供了良好的表面鈍化，超薄氧化層可以使多子電子隧穿進入多晶硅層同時阻擋少子空穴復合，進而電子在多晶硅層橫向傳輸被金屬收集，從而極大地降低了金屬接觸復合電流，提升了電池的開路電壓和短路電流。

TOPCon正面與常規(guī)N型太陽能電池或N-PERT太陽能電池沒有本質區(qū)別，電池核心技術是背面鈍化接觸，硅片背面由一層超薄氧化硅(1~2nm)與一層磷摻雜的微晶非晶混合Si薄膜組成。鈍化性能通過退火過程進行激活，Si薄膜在該退火過程中結晶性發(fā)生變化，由微晶非晶混合相轉變?yōu)槎嗑?。?50°C的退火溫度下退火，iVoc > 710 mV, J0在9-13 fA/cm2，顯示了鈍化接觸結構優(yōu)異的鈍化性能，所制備的電池效率超過23%。目前N型前結鈍化接觸太陽能電池世界紀錄(25.8%)由Fraunhofer-ISE研究所保持。

LPCVD設備可一站式完成隧穿氧化層和poly層的制備。熱氧和淀積poly層兩個工藝二合一能夠大幅提高產能，降低設備成本，相對于其他設備有較大優(yōu)勢。熱氧工藝完成后在低壓狀態(tài)下進行淀積poly層，除節(jié)約時間外，更重要的是能夠對超薄氧化硅層起到保護作用，一方面使氧化層不會在出舟過程中被進一步氧化，失去隧穿效應;另一方面氧化層也不會在空氣中被污染。

Poly層中摻雜磷有兩種方式，分別是原位摻雜和非原位摻雜。原位摻雜是在淀積poly過程中直接摻雜。非原位摻雜是淀積poly層完成后，再進行摻雜。可選用兩種方式，一是離子注入加退火，二是磷擴散。離子注入工藝單面性較好，但是設備昂貴，產能低，大規(guī)模量產設備成本較高。磷擴工藝單面性稍差，但可以通過工藝設計可以解決這個問題，并且磷擴散設備在光伏市場上已經十分成熟，價格較低，工藝也非常穩(wěn)定。綜合考慮，在TOPCon電池量產中，LPCVD完成隧穿氧化層和Poly層的制備，再進行磷擴散是性價比最優(yōu)選擇。

以上就是TOPCon電池的一些值得大家學習的詳細資料解析，希望在大家剛接觸的過程中，能夠給大家一定的幫助，如果有問題，也可以和小編一起探討。