MEMS是目前常提及的技術之一，在往期文章中，小編對MEMS也有所闡述。為增進大家對MEMS的了解，本文將基于兩點介紹MEMS：1.MEMS交換介紹，2.MEMS加速度計、MEMS陀螺儀區(qū)別介紹。如果你對MEMS相關內容，抑或對本文內容具有興趣，不妨繼續(xù)往下閱讀哦。

一、MEMS交換

采用微電子機械技術(MEMS)的光交換。這種光交換的結構實質上是一個二維易鏡片陣，當進行光交換時，通過移動光纖末端或改變鏡片角度，把光直接送到或反射到交換機的不同輸出端。采用微電子機械系統(tǒng)技術可以在極小的晶片上排列大規(guī)模機械矩陣，其響應速度和可靠性大大提高。

這種光交換實現(xiàn)起來比較容易，插入損耗低，串音低，消光比好，偏振和基于波長的損耗也非常低，對不同環(huán)境的適應能力良好，功率和控制電壓較低，并具有閉鎖功能，缺點是交換速度只能達到ms級。

微鏡陣列通過靜電或磁力控制微小鏡元，屬于微電機械系統(tǒng)(MEMS)技術。如果這些鏡元只能有開關兩種狀態(tài)，微鏡陣列被稱為二維MEMS，如果鏡元能繞兩個軸旋轉停在多個位置，則稱此微鏡陣列為三維MEMS。而二維微鏡陣列是最為常用的光交換方式。微小鏡元置于兩根光纖之間，當開關斷開時，微小鏡元不工作，讓光信號從一根光纖傳到另一根光纖，當開關閉合時，通過靜電場作用，將微小鏡元支起，使光信號被反射回去。通過光開關陣列即可實現(xiàn)交換。

3D MEMS 光交換單元主要由三部分組成：I/O光纖陣列、 MEMS微平面鏡陣列及一折疊平面鏡。其中，I/O陣列中每根光纖接有一個校準微透鏡。 當一束光進入光纖陣列時， 受微透鏡校準后照射到 MEMS 微平面鏡振列 中的一個平面鏡上。該鏡受控傾斜，將入射光反射到折疊平面鏡上。折疊平面鏡反過來又將光反射到MEMS另外一個微平面鏡上，由該平面鏡將光線反射到合適的輸出光纖/透鏡上，由此耦合到輸出單模光纖輸出。

MEMS技術除了用于光交換外，還可用于DGEF(動態(tài)增益均衡濾波器)，可變光衰減器，可編程光分插復用模塊，動態(tài)色散補償器件等。

廣泛的應用和不斷成熟的技術使得MEMS的制作成本有望在不久的將來大幅度降低。這將真正使得原來只能用于骨干通信領域的昂貴的全光交換系統(tǒng)走入高性能計算機系統(tǒng)內部，甚至走入尋常百姓家。

二、MEMS加速度計和MEMS陀螺儀的區(qū)別

1、MEMS陀螺儀測角速度的

2、MEMS加速度是測線性加速度的

MEMS陀螺儀?MEMS陀螺儀利用科里奧利力——旋轉物體在有徑向運動時所受到的切向力。假設旋轉物體有徑向速度Vr，那么將會產(chǎn)生切向科里奧利加速度。

MEMS加速度計在較長時間的測量值是正確的，而在較短時間內由于信號噪聲的存在，而有誤差。陀螺儀在較短時間內則比較準確而較長時間則會有與漂移而存有誤差。因此，需要兩者(相互調整)來確保航向的正確。

現(xiàn)在一般的姿態(tài)方面的慣性應用，如IMU(慣性測量單元)，由三軸陀螺儀和三軸加速度計組合而成。

詳解： MEMS加速度計原理?技術成熟的MEMS加速度計分為三種:壓電式、容感式、熱感式。

壓電式MEMS加速度計運用的是壓電效應，在其內部有一個剛體支撐的質量塊，有運動的情況下質量塊會產(chǎn)生壓力，剛體產(chǎn)生應變，把加速度轉變成電信號輸出。

容感式MEMS加速度計內部也存在一個質量塊，從單個單元來看，它是標準的平板電容器。加速度的變化帶動活動質量塊的移動從而改變平板電容兩極的間距和正對面積，通過測量電容變化量來計算加速度。

以上便是此次小編帶來的“MEMS”相關內容，通過本文，希望大家對MEMS交換、MEMS加速度計和陀螺儀的區(qū)別具備一定的了解。如果你喜歡本文，不妨持續(xù)關注我們網(wǎng)站哦，小編將于后期帶來更多精彩內容。最后，十分感謝大家的閱讀，have a nice day!