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[導(dǎo)讀]為增進(jìn)大家對MEMS技術(shù)的了解,本文首先將對MEMS技術(shù)基礎(chǔ)予以介紹,然后小編將帶大家看看騎車上有哪些MEMS應(yīng)用。

對于MEMS技術(shù),很多朋友是比較熟悉的。但是,同樣有些朋友對MEMS技術(shù)并不了解。為增進(jìn)大家對MEMS技術(shù)的了解,本文首先將對MEMS技術(shù)基礎(chǔ)予以介紹,然后小編將帶大家看看騎車上有哪些MEMS應(yīng)用。如果你對MEMS相關(guān)內(nèi)容,不妨繼續(xù)往下閱讀哦。

一、MEMS技術(shù)基礎(chǔ)

MEMS技術(shù)的目標(biāo)是通過系統(tǒng)的微型化、集成化來探索具有新原理、新功能的元件和系統(tǒng)。MEMS技術(shù)是一種典型的多學(xué)科交叉的前沿性研究領(lǐng)域,幾乎涉及到自然及工程科學(xué)的所有領(lǐng)域,如電子技術(shù)、機(jī)械技術(shù)、物理學(xué)、化學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)、能源科學(xué)等。其研究內(nèi)容一般可以歸納為以下三個(gè)基本方面:

1.MEMS理論基礎(chǔ):

在當(dāng)前MEMS所能達(dá)到的尺度下,宏觀世界基本的物理規(guī)律仍然起作用,但由于尺寸縮小帶來的影響(Scaling Effects),許多物理現(xiàn)象與宏觀世界有很大區(qū)別,因此許多原來的理論基礎(chǔ)都會發(fā)生變化,如力的尺寸效應(yīng)、微結(jié)構(gòu)的表面效應(yīng)、微觀摩擦機(jī)理等,因此有必要對微動(dòng)力學(xué)、微流體力學(xué)、微熱力學(xué)、微摩擦學(xué)、微光學(xué)和微結(jié)構(gòu)學(xué)進(jìn)行深入的研究。這一方面的研究雖然受到重視,但難度較大,往往需要多學(xué)科的學(xué)者進(jìn)行基礎(chǔ)研究。

2.MEMS技術(shù)基礎(chǔ):

MEMS的技術(shù)基礎(chǔ)可以分為以下幾個(gè)方面:(1)設(shè)計(jì)與仿真技術(shù);(2)材料與加工技術(shù)(3)封裝與裝配技術(shù);(4)測量與測試技術(shù);(5)集成與系統(tǒng)技術(shù)等。

3.MEMS應(yīng)用研究:

人們不僅要開發(fā)各種制造MEMS的技術(shù),更重要的是如何將MEMS技術(shù)與航空航天、信息通信、生物化學(xué)、醫(yī)療、自動(dòng)控制、消費(fèi)電子以及兵器等應(yīng)用領(lǐng)域相結(jié)合,制作出符合各領(lǐng)域要求的微傳感器、微執(zhí)行器、微結(jié)構(gòu)等MEMS器件與系統(tǒng)。

二、汽車上的MEMS應(yīng)用

MEMS傳感器有三項(xiàng)MEMS技術(shù)產(chǎn)品:紅外傳感器、磁性傳感器、測角傳感器;在高檔汽車中,大約采用25至40只MEMS傳感器;

1)MEMS傳感器的大批量高精度生產(chǎn)和高可靠性及單價(jià)廉價(jià),特別適宜在汽車電控系統(tǒng)中應(yīng)用;

2)安全氣囊中的汽車安全氣囊感應(yīng)器;

3)MEMS汽車微加速度計(jì)正替代以往的機(jī)電式加速度傳感器

4)MEMS陀螺儀在高端汽車中的應(yīng)用包括:懸架控制、翻滾

5)汽車MEMS壓力傳感器和輪胎氣壓自動(dòng)監(jiān)測系統(tǒng),MEMS壓力傳感器適合于任何類型的輪胎,在輪胎胎壁埋設(shè)一小塊感壓力敏芯片,自動(dòng)測量輪胎氣壓、溫度、轉(zhuǎn)速和其它一些數(shù)據(jù),并用特定的代碼發(fā)送出來。

6)發(fā)動(dòng)機(jī)管理系統(tǒng)中的MEMS應(yīng)用

7)微機(jī)械陀螺是一種振動(dòng)式角速率傳感器,在汽車領(lǐng)域的應(yīng)用開發(fā)倍受關(guān)注,主要用于汽車導(dǎo)航的GPS信號補(bǔ)償和汽車底盤控制系統(tǒng);

8)汽車電控燃油噴射系統(tǒng)EFI要使用多重壓力MAP傳感器,監(jiān)測發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣歧絕對壓力,提高其動(dòng)力性能,降低油耗,減少廢氣排放。

9)微型硅壓阻式MEMS壓力傳感器可用于發(fā)動(dòng)機(jī)廢氣循環(huán)系統(tǒng),替代陶瓷電容式壓力傳感器;

10)汽車空調(diào)壓縮機(jī)中的壓力測量也是MEMS的一個(gè)很大市場。

11)氣缸內(nèi)氣壓測量,爆缸控制;

12)燃油噴射系統(tǒng),柴油共軌系統(tǒng);

13)傳動(dòng)油壓,變速自動(dòng)控制;

14)制動(dòng)油道油壓,制動(dòng)系統(tǒng);

15)懸掛液壓,懸掛系統(tǒng)。

以上便是此次小編帶來的“MEMS”相關(guān)內(nèi)容,通過本文,希望大家對MEMS基礎(chǔ)基礎(chǔ)和汽車上的MEMS應(yīng)用具備一定的了解。如果你喜歡本文,不妨持續(xù)關(guān)注我們網(wǎng)站哦,小編將于后期帶來更多精彩內(nèi)容。最后,十分感謝大家的閱讀,have a nice day!

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