取代光刻機，國產(chǎn)“冰刻”技術曝光

時間：2021-03-01 09:46:49

關鍵字：光刻機冰刻機

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[導讀]隨著國產(chǎn)科技實力的不斷提升，不管是5G通訊領域，還是在全球智能手機領域，中國電信巨頭華為可謂是一路凱歌，不僅在5G領域拿下了5G專利榜第一名，智能手機領域超越了蘋果，成為了全球第二大手機企業(yè)，更重要的是，華為在半導體領域的影響力正在威脅著西方半導體霸主的地位。

隨著國產(chǎn)科技實力的不斷提升，不管是5G通訊領域，還是在全球智能手機領域，中國電信巨頭華為可謂是一路凱歌，不僅在5G領域拿下了5G專利榜第一名，智能手機領域超越了蘋果，成為了全球第二大手機企業(yè)，更重要的是，華為在半導體領域的影響力正在威脅著西方半導體霸主的地位。

變幻莫測的國際環(huán)境，西方開始對華為、國產(chǎn)芯片企業(yè)進行技術封鎖，華為芯片供應鏈被切斷，國產(chǎn)芯片巨頭中芯也被“斷糧”，高端芯片制造能力的不足，讓我們嘗到了什么是“剔骨之痛”！然而，想要解決高端芯片制造問題，一方面要打破由西方國家主導的高端極紫外光光刻機的壁壘，另一方面要解決光刻材料光刻膠。

與我們平時所用到的膠水不同，光刻膠對感光性，抗蝕性、粘附性，表面張力等要求非常高。芯片制造過程中，光刻機將光刻膠均勻涂抹在晶片上，再用光源對晶片進行“照射”，將電路照射到晶片上，由于光刻膠對光源的敏感性，就形成了設計好的電路形狀的模具，再經(jīng)蝕刻、清洗最后形成芯片。

芯片制造新技術

而在這些過程中，光刻膠直接影響著芯片的光刻精度，更重要的是，在光刻膠領域，日本、美國、德國近乎壟斷了全球90%的市場份額，光刻膠也是阻止高端芯片制造“國產(chǎn)化”的一個壁壘。面對西方對高端芯片壟斷，浙江西湖高等研究院傳來消息，曝光了比肩光刻技術的“冰刻”技術。

冰刻，這是西湖大學副校長仇旻教授從2012年從海外回國后就開始開啟的一項基礎科學研究計劃。與光刻機不同，冰刻的做法是在-140°密閉真空的環(huán)境下，通過水蒸氣低溫結冰的特性，迅速在晶片上形成冰膜，然后用電子束在冰膜上進行刻錄，形成三維電路結構，之后在進行填充，常溫下冰干后自動揮發(fā)。

據(jù)消息稱，目前國產(chǎn)冰刻技術已經(jīng)能在光纖末端做出復雜的微納米冰雕，并且“產(chǎn)能”非常理想。不難發(fā)現(xiàn)，“冰刻機”完全有希望取代傳統(tǒng)的“光刻機”。

冰刻技術有什么優(yōu)勢？

冰刻技術的曝光，不少網(wǎng)友必然會拿冰刻機與光刻機進行對比，究竟冰刻機有什么優(yōu)勢？

首先，光刻芯片制造，需要將光刻膠均勻地涂抹在晶片上，不管是光刻膠質量，還是晶圓的質量，都影響到了芯片制造精度，完成后還需要除膠，而冰刻技術則不用考慮這一系列的問題。

其次，電子束與極紫外光相比，加工精度更高，效率也更高，芯片的集成度也更高，性能也更強。

冰刻技術，對推動國產(chǎn)高端芯片技術的制造起到了重要推動作用，也是為了應對高端芯片壟斷，為未來取代光刻機邁出的一大步！這對于陷入“芯片危機”的華為來說，也可能將迎來轉機？

千里之行始于足下，任何重大核心技術的突破，都是建立在許多重要的基礎科研之上，而打破高端芯片、光刻機的壟斷，我們一直沒有停止前進的腳步！

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